[發(fā)明專利]一種金屬鎢的沉積方法以及金屬鎢的沉積結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910945179.0
• 申請(qǐng)日: 2019-09-30
• 公開（公告）號(hào): CN110714189B
• 公開（公告）日: 2022-01-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 熊少游;程磊;詹侃;周烽;左明光
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 長(zhǎng)江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): C23C16/14
• 分類號(hào): C23C16/14;C23C16/56;H01L21/768;H01L23/532
• 代理公司: 北京派特恩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11270
• 代理人: 李梅香;張穎玲

1.一種金屬鎢的沉積方法，其特征在于，所述方法包括：

形成鎢形核層；

基于所述鎢形核層沉積第一鎢生長(zhǎng)層；

對(duì)所述第一鎢生長(zhǎng)層執(zhí)行退火工藝；其中，所述退火工藝是穿插在所述金屬鎢的沉積過程中的，并且是在所述金屬鎢的沉積腔室內(nèi)直接執(zhí)行的；

在退火后的所述第一鎢生長(zhǎng)層上沉積第二鎢生長(zhǎng)層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一鎢生長(zhǎng)層在第一溫度下沉積形成，所述第二鎢生長(zhǎng)層在第二溫度下沉積形成，所述第二溫度高于所述第一溫度。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述執(zhí)行退火工藝在第二溫度下進(jìn)行。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的方法，其特征在于，所述第二溫度在420℃以上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述執(zhí)行退火工藝在氫氣氣氛下進(jìn)行。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在沉積所述第二鎢生長(zhǎng)層后，所述方法還包括：

對(duì)所述第二鎢生長(zhǎng)層執(zhí)行退火工藝；

在退火后的所述第二鎢生長(zhǎng)層上沉積第三鎢生長(zhǎng)層。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述第三鎢生長(zhǎng)層與所述第二鎢生長(zhǎng)層在相同的溫度下沉積形成。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述金屬鎢的沉積方法在一化學(xué)氣相沉積裝置內(nèi)的多個(gè)沉積位置上執(zhí)行，所述多個(gè)沉積位置分布在所述裝置內(nèi)的多個(gè)不同空間位置上，所述裝置在所述多個(gè)沉積位置上能夠分別獨(dú)立執(zhí)行化學(xué)氣相沉積工藝；所述退火工藝與所述沉積第二鎢生長(zhǎng)層在所述裝置的同一沉積位置上執(zhí)行。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，所述沉積第一鎢生長(zhǎng)層的部分過程與所述形成鎢形核層在所述裝置的同一沉積位置上執(zhí)行。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在所述金屬鎢的沉積方法中采用的反應(yīng)氣體包括：六氟化鎢。

11.一種金屬鎢的沉積結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述金屬鎢的沉積結(jié)構(gòu)通過權(quán)利要求1至10中任意一項(xiàng)所述的方法沉積形成。