[發明專利]一種X射線熒光光譜儀

在審

• 申請號: 201910943540.6
• 申請日: 2019-09-30
• 公開（公告）號: CN110514684A
• 公開（公告）日: 2019-11-29
• 發明（設計）人: 劉維
• 申請（專利權）人: 長沙開元儀器有限公司
• 主分類號: G01N23/2202
• 分類號: G01N23/2202;G01N23/223
• 代理公司: 11227 北京集佳知識產權代理有限公司
• 代理人: 李寧<國際申請>=<國際公布>=<進入國

1.一種X射線熒光光譜儀，其特征在于，包括：

可開閉的測量腔，所述測量腔關閉時與外界密封隔離，所述測量腔內設置有樣品盤、濾光板以及位移裝置，所述濾光板上設置有多個安裝位以安裝不同的濾光片，所述驅動裝置用于驅動所述樣品盤以及所述濾光板中的一個相對于另一個移動以使所述樣品盤與所述濾光板上的濾光片對齊；

分析模塊，包括X射線發生器以及探測器，所述X射線發生器產生的X射線經過所述濾光片后照射所述樣品盤中樣品，所述探測器用于接收樣品受激發產生的熒光X射線形成熒光光譜圖。

2.根據權利要求1所述的X射線熒光光譜儀，其特征在于，還包括旋轉裝置，所述樣品盤為偏心盤，所述旋轉裝置帶動所述偏心盤上的樣品繞所述旋轉裝置的輸出軸周向轉動。

3.根據權利要求1所述的X射線熒光光譜儀，其特征在于，所述分析模塊還包括氦氣填充裝置，所述氦氣填充裝置用于向所述測量腔充注氦氣。

4.根據權利要求3所述的X射線熒光光譜儀，其特征在于，所述氦氣填充裝置包括充氣裝置以及壓力檢測裝置，所述充氣裝置用于向所述測量腔供氣，所述壓力檢測裝置用于檢測所述測量腔內的壓力，且所述壓力檢測裝置在所述測量腔內的壓力達到預設值時關閉所述充氣裝置。

5.根據權利要求1-4任意一項所述的X射線熒光光譜儀，其特征在于，所述分析模塊還包括抽真空裝置，所述抽真空裝置用于使所述測量腔形成真空環境。

6.根據權利要求1-4任意一項所述的X射線熒光光譜儀，其特征在于，所述驅動裝置為轉動驅動裝置和/或平移驅動裝置。

7.根據權利要求1-4任意一項所述的X射線熒光光譜儀，其特征在于，還包括控制系統，所述控制系統用于接收操作人員控制指令并控制所述測量腔以及所述分析模塊按照預定指令動作。

8.根據權利要求7所述的X射線熒光光譜儀，其特征在于，所述X射線發生器包括X射線管和為所述X射線管提供電源的電氣元件。

9.根據權利要求8所述的X射線熒光光譜儀，其特征在于，還包括光譜儀主體，所述控制系統以及所述電氣元件設置于所述光譜儀內部一側，所述測量腔、所述X射線發生器以及所述探測器設置于所述光譜儀內部的另一側。

10.根據權利要求9所述的X射線熒光光譜儀，其特征在于，所述光譜儀主體設置有散熱裝置。