[發明專利]一種微流控基板、微流控芯片、微流控系統及檢測方法

有效

• 申請號: 201910941103.0
• 申請日: 2019-09-30
• 公開（公告）號: CN110523450B
• 公開（公告）日: 2022-01-25
• 發明（設計）人: 樊博麟;趙瑩瑩;古樂;姚文亮;廖輝;趙楠;高涌佳
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方傳感技術有限公司
• 主分類號: B01L3/00
• 分類號: B01L3/00
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 姚楠

本發明公開了一種微流控基板、微流控芯片、微流控系統及檢測方法，以改善現有技術的微流控基板存在控制精度受限的問題，無法操控比像素電極尺寸更小的液滴的問題。所述微流控基板，包括：透明襯底基板，位于所述透明襯底基板一面的光敏薄膜，位于所述光敏薄膜背離所述透明襯底基板一面的電控制層；所述電控制層包括：多個呈陣列排布的控制電極，位于相鄰所述控制電極行間隙處的柵線，以及位于相鄰所述控制電極列間隙處的數據線；每一所述控制電極通過一晶體管與一所述柵線、一所述數據線電連接；所述光敏薄膜被配置為在由所述透明襯底基板側入射的光照射時，產生光生內建電場。

技術領域

本發明涉及微流控技術領域，尤其涉及一種微流控基板、微流控芯片、微流控系統及檢測方法。

背景技術

微流控技術(Microfluidics)是一種精確控制和操控微尺度流體的技術，通過此技術，研究人員可以把樣品制備、反應、分離、檢測等基本操作單元集成到一塊厘米級芯片上。此技術一般應用于生物、化學、制藥等領域的微量藥品的分析過程，它主要涉及微量試劑的輸運、混合等。此技術對于生物醫療、藥物診斷、食品衛生、環境監測及分子生物學等領域的發展具有重要的意義。

但現有技術的微流控基板存在控制精度受限的問題，無法操控比像素電極尺寸更小的液滴。

發明內容

本發明提供一種微流控基板、微流控芯片、微流控系統及檢測方法，以改善現有技術的微流控基板存在控制精度受限的問題，無法操控比像素電極尺寸更小的液滴的問題。

本發明實施例提供一種微流控基板，包括：透明襯底基板，位于所述透明襯底基板一面的光敏薄膜，位于所述光敏薄膜背離所述透明襯底基板一面的電控制層；

所述電控制層包括：多個呈陣列排布的控制電極，位于相鄰所述控制電極行間隙處的柵線，以及位于相鄰所述控制電極列間隙處的數據線；每一所述控制電極通過一晶體管與一所述柵線、一所述數據線電連接；

所述光敏薄膜被配置為在由所述透明襯底基板側入射的光照射時，產生光生內建電場。

在一種可能的實施方式中，所述電控制層的背離所述透明襯底基板的一面還具有疏水層；

所述疏水層與所述電控制層之間還具有介質層。

在一種可能的實施方式中，所述電控制層在背離所述光敏薄膜的一面依次包括：柵極層、柵極絕緣層、有源層、源漏極層、平坦層和控制電極層；

所述柵線位于所述柵極層，所述數據線位于所述源漏極層，所述控制電極位于所述控制電極層。

在一種可能的實施方式中，所述平坦層包括：第一平坦層，以及位于所述第一平坦層的面向所述控制電極層的第二平坦層；

所述第一平坦層與所述第二平坦層之間還具有遮光層，所述遮光層在所述透明襯底基板的正投影覆蓋所述有源層在所述透明襯底基板的正投影。

在一種可能的實施方式中，所述光敏薄膜的材質為鈮酸鋰。

本發明實施例還提供一種微流控芯片，包括如本發明實施例提供的所述微流控基板，還包括與所述微流控基板相對的對向基板，所述微流控基板與所述對向基板之間形成微流通道。

本發明實施例還提供一種微流控系統，包括：如本發明實施例提供的所述微流控基板，或者，包括如本發明實施例提供的所述微流控芯片；還包括激光照射設備；

所述激光照射設備被配置為在進行光控制時，由所述透明襯底基板的一側照射所述光敏薄膜，以使所述光敏薄膜產生內建電場。