[發明專利]一種原子力顯微鏡探針針尖的修銳方法

有效

• 申請號: 201910940906.4
• 申請日: 2019-09-30
• 公開（公告）號: CN110531121B
• 公開（公告）日: 2020-05-29
• 發明（設計）人: 陳建超;吳敬鑫;安小廣;宋光明
• 申請（專利權）人: 燕山大學
• 主分類號: G01Q60/38
• 分類號: G01Q60/38
• 代理公司: 北京高沃律師事務所 11569
• 代理人: 劉鳳玲

1.一種原子力顯微鏡探針針尖的修銳方法，其特征在于，包括：

將配制好的溶液滴在原子力顯微鏡工作臺上的載玻片上，以在所述載玻片上形成液滴；所述配制好的溶液的溶質為金剛石粉末；

用所述配制好的溶液浸潤待磨探針針尖；

將原子力顯微鏡工作模式設置為液下輕敲模式，控制待磨探針逼近載玻片表面直至待磨探針懸臂梁完全浸沒于所述載玻片表面上的液滴中；

設置探針振動參數、探針掃描參數以及修銳時間，開始待磨探針針尖修銳；

評定修銳后的探針針尖，完成修銳。

2.根據權利要求1所述的原子力顯微鏡探針針尖的修銳方法，其特征在于，所述配制好的溶液的溶質為直徑15nm～25nm的金剛石粉末，所述配制好的溶液的溶劑為去離子水，所述配制好的溶液的濃度為0.5vol.conc％。

3.根據權利要求1所述的原子力顯微鏡探針針尖的修銳方法，其特征在于，所述將配制好的溶液滴在原子力顯微鏡工作臺上的載玻片上，以在所述載玻片上形成液滴，具體包括：

先將載玻片作為樣品放置于原子力顯微鏡工作臺上，然后用玻璃棒將配制好的溶液攪拌均勻，接著采用注射器將攪拌均勻的溶液滴于所述載玻片的中心處，滴入的溶液量為1mL～2mL 。

4.根據權利要求1所述的原子力顯微鏡探針針尖的修銳方法，其特征在于，所述用所述配制好的溶液浸潤待磨探針針尖，具體包括：

首先將待磨探針安裝在液下探針夾上，然后用注射器將配制好的溶液滴于待磨探針針尖處，滴入的溶液量為1mL ～2mL ，接著將安裝有待磨探針的液下探針夾安裝于原子力顯微鏡掃描頭上。

5.根據權利要求1所述的原子力顯微鏡探針針尖的修銳方法，其特征在于，所述設置探針振動參數、探針掃描參數以及修銳時間，開始待磨探針針尖修銳，具體包括：

首先設置探針振動參數和修銳時間，然后設置探針掃描參數，并通過Z向移動原子力顯微鏡工作臺，調整待磨探針針尖與載玻片表面距離，使得原子力顯微鏡engage指令發出后，待磨探針針尖與載玻片表面距離大于200nm，接著將掃描范圍設置為0，待磨探針處于自激震蕩狀態，開始待磨探針針尖修銳。

6.根據權利要求1所述的原子力顯微鏡探針針尖的修銳方法，其特征在于，探針的振動頻率為12KHz，探針的振幅為100nm。

7.根據權利要求1所述的原子力顯微鏡探針針尖的修銳方法，其特征在于，探針的修銳時間為5min。

8.根據權利要求1所述的原子力顯微鏡探針針尖的修銳方法，其特征在于，所述評定修銳后的探針針尖，具體包括：

采用掃描電子顯微鏡對待磨探針針尖和修銳完成后的探針針尖進行圖像采集，得到第一圖像和第二圖像；所述第一圖像為待磨探針針尖圖像，所述第二圖像為修銳完成后的探針針尖圖像；

對比所述第一圖像和所述第二圖像，若所述第二圖像中探針針尖鈍圓半徑小于所述第一圖像中探針針尖鈍圓半徑，則評定探針針尖修銳有效。