[發(fā)明專(zhuān)利]摻氟石英套管及制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910936147.4
• 申請(qǐng)日: 2019-09-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112573816B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-09-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 仇春雷;周建峰;錢(qián)宜剛;沈一春;薛馳;薛濟(jì)萍
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中天科技精密材料有限公司;江蘇中天科技股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C03B37/018
• 分類(lèi)號(hào): C03B37/018
• 代理公司: 深圳市賽恩倍吉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44334
• 代理人: 陳海云

一種摻氟石英套管及制造方法：提供一種第一石英件，所述第一石英件包括尾柄、連接桿及插銷(xiāo)，所述尾柄一端凹設(shè)有腔體，所述連接桿一端伸入所述腔體內(nèi)，所述腔體管壁與所述連接桿上均設(shè)有銷(xiāo)孔，所述插銷(xiāo)插入所述銷(xiāo)孔內(nèi)以連接所述尾柄及所述連接桿；在連接桿上沉積形成與尾柄連接的粉末體；抽出連接桿，在粉末體上形成與腔體貫通的中心孔，所述粉末體套接于所述尾柄外組成石英套管預(yù)制件；將石英套管預(yù)制件放入加熱爐中，在加熱爐中及中心孔內(nèi)通入脫水氣體，使粉末體加熱脫水；在加熱爐中及中心孔內(nèi)通入摻氟氣體，使粉末體在摻氟氣氛中加熱浸泡以形成摻氟石英套管。上述摻氟石英套管及制造方法中摻氟均勻，材料利用率高。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及光纖預(yù)制棒制造領(lǐng)域，尤其涉及一種摻氟石英套管及制造方法。

背景技術(shù)

隨著光通信技術(shù)的快速發(fā)展，損耗低、有效面積大的光纖及抗彎曲敏感光纖等會(huì)逐漸成為主流。對(duì)于這類(lèi)光纖的生產(chǎn)都需要有深摻氟層的光纖預(yù)制棒。目前，較好的方法就是采套管法制造深摻氟層的光纖預(yù)制棒。具體的，套管法是將芯棒及摻氟石英套管相互套接在一起，組裝成用于制備光纖的光棒，進(jìn)行高溫拉絲以制備光纖。所述摻氟石英套管包括套接的摻氟石英管和高純石英件?，F(xiàn)有技術(shù)中制造摻氟石英套管通常采用由石英棒預(yù)制體外側(cè)向內(nèi)側(cè)的摻氟滲透工藝，摻氟效率低，且石英棒預(yù)制體由外向內(nèi)的摻氟量逐漸變小，實(shí)際摻氟徑向均勻性差?，F(xiàn)有的石英套管由燒結(jié)制備石英棒或等離子臥式固相外沉積制成，再通過(guò)對(duì)石英棒中心套孔、內(nèi)外壁進(jìn)行珩磨冷加工處理，實(shí)際材料利用率低，相應(yīng)的增加了生產(chǎn)成本。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，有必要提供一種摻氟均勻，材料利用率高的摻氟石英套管的制造方法

本發(fā)明一實(shí)施方式中提供一種摻氟石英套管的制造方法，所述制造方法包括以下步驟：

步驟1，提供一種第一石英件，所述第一石英件包括尾柄、連接桿及插銷(xiāo)，所述尾柄一端凹設(shè)有腔體，所述連接桿一端伸入所述腔體內(nèi)，所述腔體管壁與所述連接桿上均設(shè)有銷(xiāo)孔，所述銷(xiāo)孔貫穿所述腔體管壁與所述連接桿，所述插銷(xiāo)插入所述銷(xiāo)孔內(nèi)以連接所述尾柄及所述連接桿；

步驟2，在連接桿上沉積形成與尾柄連接的粉末體；

步驟3，抽出連接桿，在粉末體上形成與腔體貫通的中心孔，所述粉末體套接于所述尾柄外組成石英套管預(yù)制件；

步驟4，將石英套管預(yù)制件放入加熱爐中，在加熱爐中及中心孔內(nèi)通入脫水氣體，使粉末體加熱脫水；

步驟5，在加熱爐中及中心孔內(nèi)通入摻氟氣體，使粉末體在摻氟氣氛中加熱浸泡以形成摻氟石英套管。

進(jìn)一步的，所述制造方法還包括以下步驟：通過(guò)打磨設(shè)備打磨摻氟石英套管制成設(shè)定的內(nèi)徑及外徑。

進(jìn)一步的，所述加熱爐包括爐體，加熱區(qū)、進(jìn)氣管及導(dǎo)氣管，所述加熱區(qū)安裝于所述爐體周側(cè)，所述進(jìn)氣管及導(dǎo)氣管安裝于所述爐體一端，所述導(dǎo)氣管伸入所述中心孔中向所述中心孔內(nèi)通入氣體。

進(jìn)一步的，所述脫水氣體包括氯氣及氦氣，所述氯氣的流量范圍為500ml/min至1500ml/min，脫水溫度的范圍為900℃至1150℃，脫水時(shí)長(zhǎng)范圍為1h至2h。

進(jìn)一步的，所述摻氟氣體包括含氟氣體及氦氣，所述含氟氣體的流量范圍為10ml/min至2000ml/min，摻氟溫度的范圍為900℃至1150℃，摻氟時(shí)長(zhǎng)范圍為1h至2h。

進(jìn)一步的，通過(guò)化學(xué)氣相沉積設(shè)備進(jìn)行沉積，所述化學(xué)氣相沉積設(shè)備包括第一噴燈及第二噴燈，所述第一噴燈及所述第二噴燈設(shè)置于所述連接桿周側(cè)。

進(jìn)一步的，所述第一噴燈燈口的中心點(diǎn)與所述第二噴燈燈口的中心點(diǎn)的連線的距離為70mm至120mm。

進(jìn)一步的，所述第一噴燈沉積粉末密度范圍為0.25g/cm3至0.35g/cm3，所述第二噴燈沉積粉末密度范圍為0.28至0.38g/cm3。