[發明專利]金屬遮罩

有效

• 申請號: 201910921680.3
• 申請日: 2019-09-27
• 公開（公告）號: CN112575286B
• 公開（公告）日: 2022-09-23
• 發明（設計）人: 李仲仁;賴元章;蕭育展;盧世宗
• 申請（專利權）人: 旭暉應用材料股份有限公司;全洋（黃石）材料科技有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 劉金鳳;趙燕力

1.一種金屬遮罩，其包括一薄形的金屬板材，該金屬板材的相對兩側分別為沉積材迎接側與基材迎接側，且該金屬板材包括至少一鍍膜孔和對應連通所述鍍膜孔的凹槽，其特征在于：

所述鍍膜孔自該金屬板材的該沉積材迎接側朝該基材迎接側方向延伸，且所述鍍膜孔的孔徑自該沉積材迎接側朝該基材迎接側方向尺寸遞減；

所述凹槽形成于該金屬板材的基材迎接側，且所述凹槽的槽底面設有朝該沉積材迎接側方向延伸且連通所述鍍膜孔的鈍化孔，所述鈍化孔與所述鍍膜孔之間的連接部位形成預設形狀的鍍膜孔位，且所述鈍化孔的孔徑自該槽底面朝該鍍膜孔方向尺寸遞減，通過相異方向傾斜的所述鍍膜孔與所述鈍化孔結合而形成該鍍膜孔位；

所述凹槽的外周緣與所鍍膜孔的孔緣之間的寬度小于或等于0.5～5倍的金屬板材的板厚，所述凹槽的深度小于或等于5μm～15μm，且所述凹槽的深度的最大值小于或等于該金屬板材的板厚的二分之一。

2.根據權利要求1所述的金屬遮罩，其特征在于，該金屬板材的板厚為15μm～300μm，所述鍍膜孔的斜向的孔壁與該沉積材迎接側的斜角小于或等于55度，所述鈍化孔的深度小于或等于15μm。