[發(fā)明專(zhuān)利]推斷裝置以及閥控制裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910911072.4
• 申請(qǐng)日: 2019-09-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111007885B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-05-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 小崎純一郎
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 株式會(huì)社島津制作所
• 主分類(lèi)號(hào): G05D7/06
• 分類(lèi)號(hào): G05D7/06;H01L21/67
• 代理公司: 北京派特恩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11270
• 代理人: 薛恒;王琳

1.一種推斷裝置，其特征在于，包括：

激振部，使開(kāi)度信號(hào)與激振信號(hào)重疊，所述開(kāi)度信號(hào)用于驅(qū)動(dòng)真空閥的閥體，所述激振信號(hào)用于對(duì)所述閥體進(jìn)行激振，所述真空閥設(shè)置在對(duì)腔室進(jìn)行排氣的真空泵與所述腔室之間；以及

推斷部，根據(jù)激振時(shí)的腔室內(nèi)壓力的壓力響應(yīng)，推斷與經(jīng)由所述真空閥而被排氣的氣體相關(guān)的排氣特性。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的推斷裝置，其中所述推斷部根據(jù)所述激振信號(hào)的激振振幅、所述壓力響應(yīng)、以及表示所述閥體的開(kāi)度變化與腔室內(nèi)壓力的變化的關(guān)系的設(shè)備增益，推斷與經(jīng)由所述真空閥而被排氣的氣體相關(guān)的實(shí)效排氣速度。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的推斷裝置，其中所述激振部以表示所述閥體的開(kāi)度變化與腔室內(nèi)壓力的變化的關(guān)系的設(shè)備增益與所述激振信號(hào)的激振振幅的積為固定的方式，設(shè)定所述激振振幅。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的推斷裝置，其中所述排氣特性是與經(jīng)由所述真空閥而被排氣的氣體相關(guān)的實(shí)效排氣速度，且

當(dāng)將所述腔室的容積設(shè)為V，將所述實(shí)效排氣速度的推斷開(kāi)度范圍的上限開(kāi)度的實(shí)效排氣速度設(shè)為Semax，將所述激振信號(hào)的角頻率設(shè)為ω時(shí)，所述激振部以ω＞Semax/V的方式設(shè)定所述激振信號(hào)的角頻率。

5.一種閥控制裝置，其特征在于，包括生成真空閥的閥體的開(kāi)度信號(hào)的調(diào)壓部，且

所述調(diào)壓部根據(jù)由根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的推斷裝置所推斷的所述排氣特性，生成所述開(kāi)度信號(hào)。

6.一種閥控制裝置，其特征在于，包括：

存儲(chǔ)部，存儲(chǔ)與經(jīng)由安裝在腔室的真空閥而被排氣的氣體相關(guān)的實(shí)效排氣速度及腔室容積；

調(diào)壓部，根據(jù)已被存儲(chǔ)在所述存儲(chǔ)部的實(shí)效排氣速度及腔室容積，生成所述真空閥的閥體的開(kāi)度信號(hào)；

校正部，根據(jù)將安裝在導(dǎo)入有規(guī)定分子量及規(guī)定流量的氣體的所述腔室的所述真空閥控制成多個(gè)開(kāi)度時(shí)的腔室內(nèi)壓力，校正已被存儲(chǔ)在所述存儲(chǔ)部的實(shí)效排氣速度及腔室容積；以及

判定部，根據(jù)由根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的推斷裝置所推斷的所述排氣特性，判定所述氣體的分子量及流量是否與所述規(guī)定分子量及所述規(guī)定流量一致。