[發明專利]一種消除光柵光譜儀高級衍射影響的方法在審
| 申請號: | 201910910879.6 | 申請日: | 2019-09-25 |
| 公開(公告)號: | CN110487404A | 公開(公告)日: | 2019-11-22 |
| 發明(設計)人: | 葉高翱;江文濤;林新苗 | 申請(專利權)人: | 臺州市維譜智能科技有限公司 |
| 主分類號: | G01J3/28 | 分類號: | G01J3/28;G01J3/02 |
| 代理公司: | 33101 杭州九洲專利事務所有限公司 | 代理人: | 沈建琴<國際申請>=<國際公布>=<進入 |
| 地址: | 317500 浙江省臺州市溫嶺*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 衍射 光柵光譜儀 成像傳感器 波長 標定過程 衍射光 實測 原始光譜數據 讀取 一級衍射光 成像位置 待測物體 光譜數據 校正處理 校正系數 一級衍射 增加系統 窄帶光源 不重疊 復雜度 標定 照射 存儲 響應 重復 | ||
1.一種消除光柵光譜儀高級衍射影響的方法,其特征在于:包括標定過程和實測過程,其中標定過程包括:
步驟A1:根據光柵光譜儀的響應波長范圍,確定光柵光譜儀的成像傳感器上接收到的衍射級次m的范圍;
步驟A2:從m最大的衍射級次mmax開始向最小的衍射級次mmin依次進行標定,重復下列步驟:
(1)選擇窄帶光源照射,使得其波長范圍光的m級衍射落在成像傳感器上,且與一級衍射的成像位置不發生重疊;
(2)讀取成像傳感器的一級衍射光區域,獲得每一個波長λ的一級衍射光的光強I1(λ)=Iraw(λ),其中Iraw為成像傳感器上讀取的原始數據;
(3)讀取成像傳感器的高級衍射區域,獲取每一個波長λ的m級衍射光的光強其中,n為該區域內存在的所有比m更高的衍射級次,且mλ/n在窄帶光源的波長范圍內,Rn(mλ/n)為該區域存在的所有比m更高的衍射級次的校正系數;
(4)根據m級衍射的光強與其對應的一級衍射的光強數據,計算窄帶光源波長范圍內的校正系數Rm(λ);
(5)將Rm(λ)的值儲存于計算機中作為校正系數表;
實測過程包括:
步驟B1:使用光柵光譜儀測量待測物體的光譜,獲得待測物體原始數據;
步驟B2:調用校正系數表,對待測物體原始數據進行校正處理,得到物體真實的光譜強度。
2.根據權利要求1所述的消除光柵光譜儀高級衍射影響的方法,其特征在于:在步驟(4)中,校正系數的計算公式為
3.根據權利要求1所述的消除光柵光譜儀高級衍射影響的方法,其特征在于:所述實測過程中,待測物體光譜的校正處理公式為:
4.根據權利要求1或2或3所述的消除光柵光譜儀高級衍射影響的方法,其特征在于:當光柵光譜儀的響應波長范圍λlow從到λhigh,m的最大值mmax為λhigh/λlow的整數部分。
5.根據權利要求1或2或3所述的消除光柵光譜儀高級衍射影響的方法,其特征在于:所述窄帶光源選用寬帶光源和窄帶濾波片組合而成。
6.根據權利要求1或2或3所述的消除光柵光譜儀高級衍射影響的方法,其特征在于:所述標定過程和實測過程的光路均包括響應波長濾光片、狹縫、準直光學系統、光柵、成像光學系統、成像傳感器。
7.根據權利要求1所述的消除光柵光譜儀高級衍射影響的方法,其特征在于:所述標定過程在標準實驗室環境條件下進行。
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