[發明專利]剝離液儲罐、光阻剝離設備及方法

在審

• 申請號: 201910909382.2
• 申請日: 2019-09-25
• 公開（公告）號: CN110639274A
• 公開（公告）日: 2020-01-03
• 發明（設計）人: 李洋;王云志;羅云
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: B01D36/00
• 分類號: B01D36/00;B08B1/02;B08B3/02;B08B3/08
• 代理公司: 11138 北京三高永信知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 楊廣宇

1.一種剝離液儲罐，其特征在于，所述剝離液儲罐包括：

罐體，以及，固定在所述罐體內的吸附過濾組件，所述罐體上設置有進液口和出液口，所述吸附過濾組件位于所述進液口與所述出液口之間；

所述吸附過濾組件包括吸附層，所述吸附層用于對從所述進液口進入所述罐體并流向所述出液口的剝離液中的光阻碎片進行吸附。

2.根據權利要求1所述的剝離液儲罐，其特征在于，

所述吸附層的材料為大孔吸附樹脂。

3.根據權利要求2所述的剝離液儲罐，其特征在于，

所述大孔吸附樹脂的孔尺寸為0.5微米～1.5微米。

4.根據權利要求1所述的剝離液儲罐，其特征在于，

所述吸附過濾組件還包括：至少兩層過濾層，所述至少兩層過濾層中每相鄰的兩層過濾層之間設置有所述吸附層。

5.根據權利要求4所述的剝離液儲罐，其特征在于，

所述過濾層的濾孔的形狀包括：圓形或多邊形中的至少一種。

6.根據權利要求5所述的剝離液儲罐，其特征在于，

所述過濾層的濾孔的尺寸為0.5毫米～1.5毫米。

7.根據權利要求4所述的剝離液儲罐，其特征在于，

所述吸附過濾組件包括：兩層所述過濾層，所述過濾層為過濾網。

8.根據權利要求1至7任一所述的剝離液儲罐，其特征在于，

所述進液口位于所述罐體的側壁上，所述出液口位于所述罐體的頂面上，所述吸附過濾組件固定在所述罐體的內壁上，且所述吸附過濾組件與所述罐體的底面平行。

9.一種光阻剝離設備，其特征在于，所述光阻剝離設備包括：剝離機構、清洗機構和風干機構，所述剝離機構包括權利要求1至8任一所述的剝離液儲罐，

所述剝離機構用于使用所述剝離液儲罐中的剝離液對待剝離基板上的光阻進行剝離，其中，所述吸附過濾組件用于在剝離液經過所述吸附過濾組件時對所述剝離液中的光阻碎片進行吸附過濾；

所述清洗機構用于在所述剝離機構對所述待剝離基板上的光阻進行剝離后，對所述待剝離基板進行清洗，去除所述待剝離基板上殘留的光阻和剝離液；

所述風干機構用于在所述清洗機構對所述待剝離基板進行清洗之后，對所述待剝離基板進行風干。

10.根據權利要求9所述的光阻剝離設備，其特征在于，

所述剝離機構、所述清洗機構和所述風干機構沿目標方向排布，

所述剝離機構包括：m個過濾器、m+1個所述剝離液儲罐、m+1個抽液泵和沿所述目標方向排布的m+1個剝離室，所述m為大于或等于1的整數，

m+1個所述剝離液儲罐的出液口與m+1個所述抽液泵的進液口一一對應連通，m+1個所述抽液泵的出液口一一對應位于m+1個所述剝離室內，m個所述過濾器的進液口一一對應位于沿所述目標方向排布的后m個所述剝離室內，m個所述過濾器的出液口與m+1個所述剝離液儲罐中，與沿所述目標方向排布的前m個所述剝離室對應的所述剝離液儲罐的進液口一一對應連通；

每個所述過濾器用于對相應的所述剝離室內流向所述過濾器的剝離液進行過濾，并將過濾后的所述剝離液導入相應的所述剝離液儲罐；

每個所述抽液泵用于將相應的所述剝離液儲罐中的剝離液抽出并向相應的所述剝離室內噴灑所述剝離液，每個所述剝離液儲罐中的吸附過濾組件用于在相應的抽液泵從所述剝離液儲罐抽取剝離液的過程中對所述剝離液中的光阻碎片進行吸附過濾。

11.一種光阻剝離方法，其特征在于，用于權利要求9或10所述的光阻剝離設備，所述方法包括：

通過剝離機構使用所述剝離機構的剝離液儲罐中的剝離液對待剝離基板上的光阻進行剝離，其中，所述剝離液儲罐中的吸附過濾組件用于在剝離液經過所述吸附過濾組件時對所述剝離液中的光阻碎片進行吸附過濾；

通過清洗機構對所述待剝離基板進行清洗，去除所述待剝離基板上殘留的光阻和剝離液；

通過風干機構對所述待剝離基板進行風干。