[發明專利]一種超聲換能器及其參數配置方法

有效

• 申請號: 201910907186.1
• 申請日: 2019-09-24
• 公開（公告）號: CN112620057B
• 公開（公告）日: 2022-02-22
• 發明（設計）人: 彭本賢;劉嘉俊;于峰崎
• 申請（專利權）人: 中國科學院深圳先進技術研究院
• 主分類號: B06B1/02
• 分類號: B06B1/02
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強

1.一種超聲換能器的參數配置方法，其特征在于，所述方法包括：

提供一個超聲換能器，所述超聲換能器包括：上電極、振膜、絕緣層、襯底，所述襯底摻雜預設物質形成具有導電特性的下電極，所述絕緣層由具有電荷存儲能力的預設材料制成；

所述上電極設置于所述振膜的外表面，所述絕緣層相對于所述振膜的內表面進行設置，且所述振膜與所述絕緣層之間形成空腔，所述絕緣層設置于所述襯底的第一表面，所述第一表面為所述襯底的靠近所述振膜的表面；

在所述襯底施加預設電壓，所述襯底的電荷在所述預設電壓的作用下隧穿至所述絕緣層，使得所述絕緣層存儲有預設數量的電荷，所述預設數量的電荷用于配置所述超聲換能器的帶寬分數增大為預設帶寬分數，和配置所述超聲換能器的共振頻率為預設頻率；

其中，所述絕緣層存儲的電荷的數量與所述超聲換能器的帶寬分數之間的關系為正比例關系，所述絕緣層存儲的電荷的數量與所述超聲換能器的共振頻率之間的關系為反比例關系；所述方法還包括：調整所述預設電壓以調整所述絕緣層存儲的電荷的數量，使得所述超聲換能器的帶寬分數和共振頻率發生變化；其中，所述電荷產生靜電場，通過所述電荷形成的靜電力調整所述帶寬分數和共振頻率。