[發明專利]復合式基板的制造方法有效
| 申請號： | 201910906376.1 | 申請日： | 2019-09-24 |
| 公開（公告）號： | CN112624786B | 公開（公告）日： | 2022-08-30 |
| 發明（設計）人： | 曾繼立;李茂昌;蕭明陽;葉自立 | 申請（專利權）人： | 佳總興業股份有限公司 |
| 主分類號： | C04B37/02 | 分類號： | C04B37/02 |
| 代理公司： | 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司 11139 | 代理人： | 馬鑫 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 復合 式基板 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種復合式基板的制造方法，其特征在于，包含有下列步驟：
將銅箔的表面進行清洗，去除表面油污或污垢；清洗完畢后，于銅箔表面設置遮蔽區；
以pH小于3的藥水對銅箔表面進行處理，讓銅箔表面受藥水蝕刻粗糙化以及于銅箔表面形成有碎石狀微觀結構的有機金屬復合物的氧化銅膜層，氧化銅膜層不會形成于遮蔽區，使氧化銅膜層內形成有逃氣空間；
將銅箔的氧化銅膜層與陶瓷基板表面貼合，并將銅箔加熱至共晶溫度，使銅箔與其表面的氧化銅膜層產生共晶反應，進而鍵合銅箔與陶瓷基板。
2.如權利要求1所述的復合式基板的制造方法，其特征在于，該藥水至少包含有含量介于2％～20％重量比的過氧化氫、2％～20％重量比的硫酸以及0.5％～5％重量比的含氮雜環化合物的促進劑，促進劑是用以增強氧化銅膜層結合力。
3.如權利要求2所述的復合式基板的制造方法，其特征在于，該促進劑含有烷基、苯基、氨基或羥基。
4.如權利要求1所述的復合式基板的制造方法，其特征在于，該陶瓷基板為氮化鋁陶瓷基板、氧化鋁陶瓷基板或氮化硅陶瓷基板。
5.如權利要求1所述的復合式基板的制造方法，其特征在于，該銅箔表面的遮蔽區為復數設置。
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