[發明專利]硅微陀螺敏感信號讀出電路在審
| 申請號： | 201910896807.0 | 申請日： | 2019-09-20 |
| 公開（公告）號： | CN112539744A | 公開（公告）日： | 2021-03-23 |
| 發明（設計）人： | 暢璇;張興成;孟真;劉謀;鐘燕清 | 申請（專利權）人： | 中國科學院微電子研究所 |
| 主分類號： | G01C19/5776 | 分類號： | G01C19/5776 |
| 代理公司： | 北京蘭亭信通知識產權代理有限公司 11667 | 代理人： | 趙永剛 |
| 地址： | 100029 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 陀螺 敏感 信號 讀出 電路 | ||
1.一種硅微陀螺敏感信號讀出電路，其特征在于：包括：
差分調制模塊，包括單載波調制的電荷放大器，所述差分調制模塊用于讀出陀螺電容變化量并將電容變化量轉換為電壓信號；
信號解調模塊，所述信號解調模塊的輸入接口與所述差分調制模塊的輸出接口連接，用于將所述差分調制模塊輸出的信號進行解調；
放大電路模塊，所述放大電路模塊的輸入接口與所述信號解調模塊的輸出接口連接，用于將所述信號解調模塊輸出的信號進行放大；
濾波電路模塊，所述濾波電路模塊的輸入接口與所述放大電路模塊的輸出接口連接，用于抑制放大電路模塊輸出的信號中的噪聲。
2.如權利要求1所述硅微陀螺敏感信號讀出電路，其特征在于：所述濾波電路模塊包括壓控電壓源二階低通濾波電路；所述壓控電壓源二階低通濾波電路中的電阻為可變電阻，所述壓控電壓源二階低通濾波電路中的電容為可變電容。
3.如權利要求1所述硅微陀螺敏感信號讀出電路，其特征在于：所述差分調制模塊包括單載波調制的電荷放大器。
4.如權利要求1所述硅微陀螺敏感信號讀出電路，其特征在于：所述信號解調模塊包括雙通道單刀雙擲模擬開關調制解調器。
5.如權利要求1所述硅微陀螺敏感信號讀出電路，其特征在于：所述放大電路模塊包括差分放大電路。
6.如權利要求5所述硅微陀螺敏感信號讀出電路，其特征在于：所述差分放大電路為雙端輸入，單端輸出的差分放大電路。
7.如權利要求5所述硅微陀螺敏感信號讀出電路，其特征在于：所述差分放大電路中的電阻為可變電阻。
8.如權利要求1所述硅微陀螺敏感信號讀出電路，其特征在于：所述信號解調模塊包括相敏檢波電路。
9.如權利要求4所述硅微陀螺敏感信號讀出電路，其特征在于：所述信號解調模塊的模擬開關控制信號與所述信號解調模塊的輸入信號同頻同相。
10.如權利要求1所述硅微陀螺敏感信號讀出電路，其特征在于：所述信號解調模塊采用單載波進行解調。
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