[發(fā)明專利]基于輔助曝光結(jié)構(gòu)的超導(dǎo)納米線單光子探測器光對準(zhǔn)方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910877513.3
• 申請日: 2019-09-17
• 公開（公告）號(hào): CN110631717B
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 尤立星;張成俊;張偉君;孫興渠;李浩;王鎮(zhèn)
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
• 主分類號(hào): G01J11/00
• 分類號(hào): G01J11/00
• 代理公司: 上海泰能知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31233
• 代理人: 宋纓

1.一種基于輔助曝光結(jié)構(gòu)的超導(dǎo)納米線單光子探測器，其特征在于，包括：

超導(dǎo)納米線單光子探測器；

若干個(gè)輔助曝光納米線結(jié)構(gòu)，位于所述超導(dǎo)納米線單光子探測器外圍，且貼置于所述超導(dǎo)納米線單光子探測器的光敏面外邊緣，且所述輔助曝光納米線結(jié)構(gòu)臨近所述超導(dǎo)納米線單光子探測器的一側(cè)與所述超導(dǎo)納米線單光子探測器的光敏面的邊緣無縫接觸；所述超導(dǎo)納米線單光子探測器的光敏面的外圍與所述超導(dǎo)納米線單光子探測器的光敏面的結(jié)構(gòu)相同，在使用電子束曝光技術(shù)曝光形成所述超導(dǎo)納米線單光子探測器中的超導(dǎo)納米線時(shí)，避免臨近效應(yīng)的影響，確保所述超導(dǎo)納米線單光子探測器的光敏面邊緣的所述超導(dǎo)納米線的線寬與光敏面中心的所述超導(dǎo)納米線的線寬相同，確保所述超導(dǎo)納米線單光子探測器中所述超導(dǎo)納米線的線寬均勻，提高所述超導(dǎo)納米線單光子探測器的性能，且所述輔助曝光納米線結(jié)構(gòu)用于入射光與所述超導(dǎo)納米線單光子探測器的光敏面的光對準(zhǔn)，包括將入射光投射于所述超導(dǎo)納米線單光子探測器上，使用所述超導(dǎo)納米線單光子探測器對所述入射光進(jìn)行光探測，同時(shí)使用所述輔助曝光納米線結(jié)構(gòu)判斷所述入射光的光斑是否偏離所述超導(dǎo)納米線單光子探測器的光敏面，并于所述入射光的光斑偏離所述超導(dǎo)納米線單光子探測器的光敏面時(shí)對所述入射光的入射方向進(jìn)行調(diào)整。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于輔助曝光結(jié)構(gòu)的超導(dǎo)納米線單光子探測器，其特征在于，所述超導(dǎo)納米線單光子探測器包括多根超導(dǎo)納米線；各所述輔助曝光納米線結(jié)構(gòu)均包括單根超導(dǎo)納米線。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于輔助曝光結(jié)構(gòu)的超導(dǎo)納米線單光子探測器，其特征在于，所述超導(dǎo)納米線單光子探測器中的多根所述超導(dǎo)納米線沿相同方向延伸構(gòu)成互嵌式多像素結(jié)構(gòu)；所述輔助曝光納米線結(jié)構(gòu)貼置于所述互嵌式多像素結(jié)構(gòu)的側(cè)面。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于輔助曝光結(jié)構(gòu)的超導(dǎo)納米線單光子探測器，其特征在于，所述輔助曝光結(jié)構(gòu)中的所述超導(dǎo)納米線沿所述超導(dǎo)納米線單光子探測器的光敏面的周向呈曲折蜿蜒狀延伸。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于輔助曝光結(jié)構(gòu)的超導(dǎo)納米線單光子探測器，其特征在于，所述輔助曝光納米線結(jié)構(gòu)中的超導(dǎo)納米線的線寬與所述超導(dǎo)納米線單光子探測器中的超導(dǎo)納米線的線寬相同。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的基于輔助曝光結(jié)構(gòu)的超導(dǎo)納米線單光子探測器，其特征在于，所述輔助曝光納米線結(jié)構(gòu)的數(shù)量為多個(gè)，多個(gè)所述輔助曝光納米線結(jié)構(gòu)分布于所述超導(dǎo)納米線單光子探測的光敏面相對的兩側(cè)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于輔助曝光結(jié)構(gòu)的超導(dǎo)納米線單光子探測器，其特征在于，使用所述輔助曝光納米線結(jié)構(gòu)判斷所述入射光的光斑是否偏離所述超導(dǎo)納米線單光子探測器的光敏面，并于所述入射光的光斑偏離所述超導(dǎo)納米線單光子探測器的光敏面時(shí)對所述入射光的入射方向進(jìn)行調(diào)整包括如下步驟：

將所述輔助曝光納米線結(jié)構(gòu)與多通道計(jì)數(shù)器相連接；

依據(jù)所述多通道計(jì)數(shù)器顯示的各所述輔助曝光納米線結(jié)構(gòu)探測到的光計(jì)數(shù)的大小判斷所述光斑是否偏離所述超導(dǎo)納米線單光子探測器的光敏面；在所述光斑偏離所述超導(dǎo)納米線單光子探測器的光敏面時(shí)判斷所述光斑的偏離位置，依據(jù)所述光斑的偏離位置調(diào)整所述入射光的入射方向直至各所述輔助曝光納米線結(jié)構(gòu)探測到的光計(jì)數(shù)相同。