[發(fā)明專利]一種用于擴散爐的稱重恒溫槽及其參數(shù)自動調整方法

有效

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• 申請日: 2019-09-17
• 公開（公告）號: CN110531796B
• 公開（公告）日: 2020-12-11
• 發(fā)明（設計）人: 田杰成;徐有根
• 申請（專利權）人: 湖南艾科威智能裝備有限公司
• 主分類號: G05D21/02
• 分類號: G05D21/02
• 代理公司: 長沙心智力知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 43233
• 代理人: 謝如意

1.一種用于擴散爐的稱重恒溫槽，其特征在于：包括對源液冷卻控溫的溫控平臺(1)、罩設在所述溫控平臺上方的隔熱外殼(2)，以及設置在所述溫控平臺(1)上方且用于放置源液的源瓶托盤(3)，所述源瓶托盤(3)上設有用于實時計算源液重量的稱重單元(4)，所述稱重單元(4)連接有總控制器(5)，所述總控制器(5)通訊連接有氣流通量單元(6)，所述總控制器(5)根據(jù)所述稱重單元(4)得到的源液重量，計算所述氣流通量單元(6)的氧氣需求量和所述溫控平臺(1)的制冷條件；

所述溫控平臺(1)包括設置在源瓶托盤(3)下方的空腔立體盒(101)，以及安裝在所述空腔立體盒(101)內部的半導體制冷器(102)，所述半導體制冷器(102)的制冷端朝向所述源瓶托盤(3)，所述半導體制冷器(102)的制熱端朝向所述空腔立體盒(101)的表面，所述空腔立體盒(101)在所述半導體制冷器(102)的制熱端和制冷端之間設有隔熱板(103)，所述空腔立體盒(101)的側平面下端設有用于對半導體制冷器(102)制熱端降溫的散熱通孔(7)，并且所述空腔立體盒(101)的下表面設有散熱風扇(8)；

所述源瓶托盤(3)通過螺紋安裝在空腔立體盒(101)的上端，所述源瓶托盤(3)的中心位置設有用于放置源瓶的下沉凹槽(9)，所述下沉凹槽(9)的邊緣設有環(huán)形加高臺(14)，所述環(huán)形加高臺(14)的上表面設有緊貼所述下沉凹槽(9)內壁的聚冷罩(11)，所述稱重單元(4)的稱重位置安裝在下沉凹槽(9)表面，所述下沉凹槽(9)的下表面設有若干均勻分布的貫通通孔(10)。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種用于擴散爐的稱重恒溫槽，其特征在于：所述隔熱板(103)包括固定安裝在空腔立體盒(101)內壁中心位置的中心板(1031)，以及鉸接在所述中心板(1031)兩平行側邊的活動板(1032)，所述空腔立體盒(101)的內壁在所述活動板(1032)的下方設有用于限制所述活動板(1032)水平放置的邊緣擋條(15)，所述空腔立體盒(101)的兩個平行內表面上設有驅動電機(12)，所述驅動電機(12)的輸出軸上安裝有用于推動所述活動板(1032)旋轉的梭形推板(13)。

3.根據(jù)權利要求2所述的一種用于擴散爐的稱重恒溫槽，其特征在于：所述溫控平臺(1)還包括用于接收并處理所述稱重單元(4)數(shù)據(jù)的第一控制器(104)，所述半導體制冷器(102)與所述第一控制器(104)的輸出單元連接，所述環(huán)形加高臺(14)的內壁上安裝有溫度傳感器(105)，所述溫度傳感器(105)與第一控制器(104)的輸入端連接，所述第一控制器(104)接收所述總控制器(5)的制冷溫度調控定時器對源液制冷工作。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種用于擴散爐的稱重恒溫槽，其特征在于：所述氣流通量單元(6)包括第二控制器(601)、氧氣罐(602)、氮氣罐(608)以及與氧氣罐(602)連接的總輸出管(603)，所述總輸出管(603)與所述源瓶出氣管之間設有混合分氣管(604)，所述總輸出管(603)與擴散爐進氣口之間安裝有預通氣分管(605)，所述總輸出管(603)上設有與所述第二控制器(601)輸出端連接的流量計電磁閥(606)。

5.根據(jù)權利要求4所述的一種用于擴散爐的稱重恒溫槽，其特征在于：所述氮氣罐(608)的出氣管分別與所述混合分氣管(604)和所述預通氣分管(605)的末端連接，所述氮氣罐(608)、源瓶出氣管、混合分氣管(604)和所述預通氣分管(605)上分別設有單向閥門(607)，所述第二控制器(601)接收所述總控制器(5)的氧氣需求量控制所述流量計電磁閥(606)和單向閥門(607)的開關。