[發明專利]超高真空樣品轉移設備及轉移方法

有效

• 申請號: 201910872736.0
• 申請日: 2019-09-16
• 公開（公告）號: CN112505336B
• 公開（公告）日: 2022-12-13
• 發明（設計）人: 陳志敏;丁孫安;李坊森;陸曉鳴;芮芳;凌小倫;王利;陳愛喜
• 申請（專利權）人: 中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所
• 主分類號: G01N35/00
• 分類號: G01N35/00
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種超高真空樣品轉移設備，其特征在于，包括可拆卸連接的轉移主體和輔助裝置，

所述轉移主體包括用于放置樣品的進樣室和用于對所述進樣室進行抽真空的真空裝置，所述進樣室兩端分別安裝有第一閥門（4）和第二閥門（5）；

所述輔助裝置包括第一冷卻波紋管（7）、第二冷卻波紋管（8）和傳樣裝置，所述第一冷卻波紋管（7）的一端與所述傳樣裝置連通，另一端與所述進樣室通過所述第一閥門（4）連通或斷開，所述第二冷卻波紋管（8）的一端與所述進樣室通過所述第二閥門（5）連通或斷開，另一端能夠與目標腔室連通，與所述傳樣裝置連通，與移動泵組通過第三閥門（13）連通，所述第一冷卻波紋管（7）和所述第二冷卻波紋管（8）外周均設置有冷卻部件（702），用于對所述進樣室冷卻，所述傳樣裝置能夠抓取所述進樣室內的樣品并送至所述目標腔室內；

所述輔助裝置還包括連接管道（12）、三通（10）和四通（11），所述三通（10）分別連接所述傳樣裝置、所述第一冷卻波紋管（7）和所述連接管道（12）的一端，所述四通（11）分別連接所述第二冷卻波紋管（8）、所述連接管道（12）的另一端、所述移動泵組以及所述目標腔室；

所述冷卻部件（702）為纏繞在所述第一冷卻波紋管（7）和所述第二冷卻波紋管（8）外周的水管。

2.根據權利要求1所述的超高真空樣品轉移設備，其特征在于，所述進樣室包括主腔室（1）和伸入所述主腔室（1）內的進樣臺（6），所述進樣臺（6）用于存放樣品，所述進樣臺（6）能夠在所述主腔室（1）內上下移動。

3.根據權利要求1所述的超高真空樣品轉移設備，其特征在于，所述第一冷卻波紋管（7）和所述第二冷卻波紋管（8）外部沿其軸線方向均設有三個調節螺桿（701），三個所述調節螺桿（701）能夠選擇性地調節相應的冷卻波紋管的軸線方向。

4.根據權利要求1所述的超高真空樣品轉移設備，其特征在于，所述第一閥門（4）、所述第二閥門（5）及所述第三閥門（13）為手閥。

5.根據權利要求1所述的超高真空樣品轉移設備，其特征在于，所述真空裝置包括吸附泵（2）和離子泵（3），所述吸附泵（2）與所述進樣室連通，所述離子泵（3）與所述吸附泵（2）連通。

6.根據權利要求1所述的超高真空樣品轉移設備，其特征在于，所述傳樣裝置包括一從所述進樣室外部伸入所述進樣室的磁力桿（9），所述磁力桿（9）能夠夾緊所述進樣室內的樣品并控制樣品移動和轉動。

7.根據權利要求1所述的超高真空樣品轉移設備，其特征在于，所述進樣室兩邊分別設置觀察窗。

8.一種利用如權利要求1-7任一項所述的超高真空樣品轉移設備進行樣品轉移的方法，其特征在于，所述方法包括如下步驟：

S1、關閉第一閥門（4）和第二閥門（5），使用真空裝置對進樣室抽真空；

S2、將輔助裝置的第一冷卻波紋管（7）和第二冷卻波紋管（8）分別連接到進樣室的第一閥門（4）和第二閥門（5）上；

S3、打開第三閥門（13），使用移動泵組對輔助裝置進行抽真空，開啟兩個冷卻波紋管外周的冷卻部件（702），對輔助裝置上兩個冷卻波紋管以外的部分進行烘烤，烘烤溫度為100-130℃，烘烤兩天以上；

S4、停止烘烤，輔助裝置自然冷卻至室溫，關閉第三閥門（13），將第二冷卻波紋管（8）與目標腔室連通，打開第一閥門（4）和第二閥門（5）；

S5、調整第一冷卻波紋管（7），傳樣裝置進入進樣室內進行取樣，調整第二冷卻波紋管（8），傳樣裝置將樣品推送至目標腔室；

S6、工藝完成后，將樣品取出，放置到進樣室內，先切斷第二冷卻波紋管（8）與目標腔室的連通，再關閉第一閥門（4）和第二閥門（5），將輔助裝置取下。