[發明專利]用于增加懸架沖程的多層PZT電極構型

有效

• 申請號: 201910869268.1
• 申請日: 2019-09-16
• 公開（公告）號: CN110895949B
• 公開（公告）日: 2023-02-28
• 發明（設計）人: 張瀧;余坤祺;D·格萊斯;P·哈恩;J·蒲
• 申請（專利權）人: 馬格內康普公司
• 主分類號: G11B5/48
• 分類號: G11B5/48
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 蔡洪貴

1.一種具有第一端和第二端的壓電致動器組件，包括：

第一層，所述第一層包括單個有源壓電層，所述第一層包括頂表面和底表面；

第二層，所述第二層包括單個有源壓電層，所述第二層具有頂表面和底表面，所述第二層的底表面布置在所述第一層的頂表面上；

第三層，所述第三層包括單個有源壓電層，所述第三層具有頂表面和底表面，所述第三層的底表面布置在所述第二層的頂表面上；以及

布置在所述第一層的底表面的至少一部分上的第一電極、布置在所述第一層的至少一部分和所述第二層之間的第二電極、布置在所述第二層的至少一部分和所述第三層之間的第三電極、布置在所述第三層的頂表面的至少一部分上的第四電極，

其中，所述第三電極被構造成比所述第二電極短，使得所述第二層的有源PZT長度和所述第三層的有源PZT長度短于所述第一層的有源PZT長度，借此：

在PZT擴展模式下，所述第二層和所述第三層的擴展小于所述第一層，導致所述壓電致動器組件彎曲成凹形形狀并且產生沖程量的增加；以及

在PZT收縮模式下，所述第二層和所述第三層的收縮小于所述第一層，導致所述壓電致動器組件彎曲成凸形形狀并且產生沖程量的增加。

2.根據權利要求1所述的壓電致動器組件，其特征在于，所述第三電極被構造成比所述第二電極短0.05mm到0.15mm。

3.根據權利要求2所述的壓電致動器組件，其特征在于，所述第三電極被構造成比所述第二電極短0.12mm。

4.根據權利要求1所述的壓電致動器組件，其特征在于：

所述第四電極被構造成比所述第三電極短0.10mm到0.30mm。

5.根據權利要求4所述的壓電致動器組件，其特征在于，所述第四電極被構造成比所述第三電極短0.20mm。

6.根據權利要求4所述的壓電致動器組件，其特征在于，所述第一層的單個有源壓電層和所述第二層的單個有源壓電層的有源長度比所述第三層的單個有源壓電層的有源長度長0.10mm到0.30mm。

7.根據權利要求6所述的壓電致動器組件，其特征在于，所述第一層的單個有源壓電層和所述第二層的單個有源壓電層的有源長度比所述第三層的單個有源壓電層的有源長度長0.20mm。

8.一種微致動器，包括：

第一層，所述第一層包括單個有源壓電層，所述第一層具有頂表面和底表面；

第二層，所述第二層包括單個有源壓電層，所述第二層具有頂表面和底表面，所述第二層的底表面布置在所述第一層的頂表面上；

第三層，所述第三層包括單個有源壓電層，所述第三層具有頂表面和底表面，所述第三層的底表面布置在所述第二層的頂表面上；以及

布置在所述第一層的底表面的至少一部分上的第一電極、布置在所述第一層的至少一部分和所述第二層之間的第二電極、布置在所述第二層的至少一部分和所述第三層之間的第三電極、布置在所述第三層的頂表面的至少一部分上的第四電極，

其中，所述第三電極被構造成比所述第二電極短，使得所述第二層的有源PZT長度和所述第三層的有源PZT長度短于所述第一層的有源PZT長度，借此：

在PZT擴展模式下，所述第二層和所述第三層的擴展小于所述第一層，導致所述微致動器彎曲成凹形形狀并且產生沖程量的增加；以及

在PZT收縮模式下，所述第二層和所述第三層的收縮小于所述第一層，導致所述微致動器彎曲成凸形形狀并且產生沖程量的增加。

9.根據權利要求8所述的微致動器，其特征在于，所述第三電極被構造成比所述第二電極短0.05mm到0.15mm。

10.根據權利要求8所述的微致動器，其特征在于，所述第三電極被構造成比所述第二電極短0.12mm。