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[發明專利]真空室懸掛式自動平移門在審

專利信息
申請號: 201910866903.0 申請日: 2019-09-12
公開(公告)號: CN112482942A 公開(公告)日: 2021-03-12
發明(設計)人: 許忠政;張志平;張黎源 申請(專利權)人: 核工業理化工程研究院
主分類號: E06B3/50 分類號: E06B3/50;E05D15/06;E05F15/638;E05F15/60;E05F15/77;E05D3/12
代理公司: 天津創智天誠知識產權代理事務所(普通合伙) 12214 代理人: 李薇
地址: 300180 *** 國省代碼: 天津;12
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 真空 懸掛 自動 平移
【說明書】:

發明公開了一種真空室懸掛式自動平移門,包括真空室門板、位于所述真空室門板頂部的橫梁、將所述真空室門板懸掛在所述橫梁上并驅動所述真空室門板沿所述橫梁做直線運動的行走小車、設置在所述真空室門板底部且在所述直線運動方向進行導向的支撐導向機構和鎖緊機構。與現有技術相比,本發明采取的是電機驅動和電缸配合的方式,能夠實現門體平移和預緊動作。解決了傳統真空室鉸鏈門占用空間大的問題,能夠實現自動化操作。

技術領域

本發明涉及真空腔室門技術領域,特別是涉及一種真空室懸掛式自動平移門。

背景技術

真空腔室廣泛應用于真空領域中,而真空室門則是影響真空室內真空度和漏率的重點部位。傳統的真空腔室采用鉸鏈結構,配合密封條密封,然而這種鉸鏈門旋轉時占空間較大,而且不易實現自動化控制,真空室開閉需要人工開閉,費時費力,而且存在一定的安全問題,因此有必要設計一種自動平移門結構,空間緊湊、運行穩定,能夠實現遠程自動化控制。

發明內容

本發明的目的是針對現有技術中存在的真空室門開關費時費力、不能實現自動化控制的問題,而提供一種真空室懸掛式自動平移門。

為實現本發明的目的所采用的技術方案是:

一種真空室懸掛式自動平移門,其特征在于,包括真空室門板、位于所述真空室門板頂部的橫梁、將所述真空室門板懸掛在所述橫梁上并驅動所述真空室門板沿所述橫梁做直線運動的行走小車、設置在所述真空室門板底部且在所述直線運動方向進行導向的支撐導向機構、和鎖緊機構,其中:所述真空室門板的頂部通過鉸鏈組件固定在所述行走小車的底部,開門時所述真空室門板與所述真空室之間留有間隙,關門時所述鎖緊機構驅動真空室門板向內貼合在真空室上形成密封。

在上述技術方案中,所述行走小車包括受電機驅動沿所述橫梁上的軌槽移動的傳動齒輪副和由所述齒輪副帶動平移的組合板;所述真空室門板通過鉸鏈組件連接在所述組合板上。

在上述技術方案中,所述組合板的剖面呈直角“U”字形,傳動齒輪副包括電機驅動的主齒輪和所述主齒輪嚙合連接的第一副齒輪,所述電機固定在所述組合板的一側板上,所述主齒輪和第一副齒輪轉動連接在該側板上,所述傳動齒輪副還包括第二副齒輪,所述第二副齒輪轉動連接在所述組合板的另一側板上。

在上述技術方案中,所述橫梁為工字形鋼導軌或倒置的T形鋼導軌,所述橫梁由立柱支撐。

在上述技術方案中,所述鎖緊機構包括固定在真空室上的電缸、受電缸驅動的內外移動的拉桿、固定在所述拉桿端部的擋塊以及固定在所述真空室門板上的導向過渡板,所述導向過渡板上形成有開槽,所述開槽供所述拉桿穿過且限制所述擋塊穿過,所述開槽和所述拉桿在水平方向對齊。

在上述技術方案中,所述鎖緊機構的個數至少為兩個,更優選的所述鎖緊機構對稱設置在所述真空室門板的左右兩側。

在上述技術方案中,所述鎖緊機構包括左鎖緊機構和右鎖緊機構,所述左鎖緊機構的導向過渡板為平板結構,其開槽為左開口槽,所述右鎖緊機構的導向過渡板為回折形板,其開槽形成在位于回折形板靠近真空室一側的回折板上且為右開口槽。

在上述技術方案中,所述鉸鏈組件設有兩個,且兩個對稱設置,所述鉸鏈組件包括連桿,所述連桿的一端通過第一軸與固定在所述組合板上的下固定端轉動連接,所述連桿的另一端通過第二軸與固定在所述真空室門板上的上固定端轉動連接。

在上述技術方案中,所述支撐導向機構包括固定在所述真空室門板底部的滑塊和用于為所述滑塊提供導向的導軌,所述導軌上設有朝向所述真空室的供所述滑塊進入的內開槽。

在上述技術方案中,所述滑塊包括定在所述真空室門板底部的導向柱和轉動連接在所述導向柱底部的滾輪,所述滾輪在所述導軌內滾動。

在上述技術方案中,所述導軌的一端固定有用于防止所述滑塊從端部脫出的限位組件,所述限位組件上朝向所述滑塊的一側設有緩沖件。

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