[發明專利]一種光刻機導正結構

在審

• 申請號: 201910866312.3
• 申請日: 2019-09-12
• 公開（公告）號: CN110577074A
• 公開（公告）日: 2019-12-17
• 發明（設計）人: 趙曉波;王永和;黃微益;錢坤
• 申請（專利權）人: 上海信耀電子有限公司
• 主分類號: B65G47/24
• 分類號: B65G47/24;G03F7/20
• 代理公司: 31272 上海申新律師事務所
• 代理人: 沈棟棟

1.一種光刻機導正結構，其特征在于，包括：

轉換機構，所述轉換機構包括：托板和第一氣缸，所述托板具備X軸方向和Y軸方向，所述第一氣缸與所述托板傳動連接，所述第一氣缸用于驅動所述托板上下移動；

第一輸送機構，所述第一輸送機構包括：一第一電機和若干滾輪軸，若干所述滾輪軸分別與所述第一電機傳動連接，所述托板供若干所述滾輪軸的上表面穿過，若干所述滾輪軸用于輸送產品沿X軸方向移動；

第二輸送機構，所述第二輸送機構包括：一第二氣缸、一第二電機和若干輸送組件，所述第二氣缸分別與若干所述輸送組件傳動連接，所述第二氣缸用于驅動若干所述輸送組件上下移動，所述托板供若干所述輸送組件的上表面穿過，所述第二電機分別與若干所述輸送組件傳動連接，所述第二電機用于驅動若干所述輸送組件運行，若干所述輸送組件用于輸送所述產品沿Y軸方向移動。

2.根據權利要求1所述光刻機導正結構，其特征在于，每一所述滾輪軸均包括：一滾軸和若干滾輪，所述第一電機與所述滾軸傳動連接，若干所述滾輪均設于所述滾軸上，若干所述滾輪分別與所述滾軸固定連接，且若干所述滾輪與所述滾軸同軸設置，若干所述滾輪的上表面均處于同一第一平面上，所述托板供若干所述滾輪的上表面穿過，若干所述滾輪用于輸送所述產品沿X軸方向移動。

3.根據權利要求2所述光刻機導正結構，其特征在于，每一所述輸送組件均包括：一主動輪、若干從動輪組和一輸送帶，所述第二電機與所述主動輪傳動連接，若干所述從動輪組、所述主動輪均與所述輸送帶傳動連接，若干所述輸送帶的上表面均處于同一第二平面上，所述托板分別供若干所述輸送帶的上表面穿過，若干所述輸送帶用于輸送所述產品沿Y軸方向移動。

4.根據權利要求3所述光刻機導正結構，其特征在于，每一所述從動輪組均包括：三從動輪，一所述從動輪的上表面高于另外兩所述從動輪的上表面，三所述從動輪均與所述輸送帶傳動連接。

5.根據權利要求3所述光刻機導正結構，其特征在于，每一所述輸送組件還包括：

一輸送帶安裝板，所述第二氣缸與所述輸送帶安裝板傳動連接，所述第二氣缸用于驅動所述輸送組件上下移動；

若干安裝架，若干所述安裝架均設于所述輸送帶安裝板上，若干所述從動輪、所述主動輪分別與若干所述安裝架轉動連接。

6.根據權利要求1所述光刻機導正結構，其特征在于，還包括：

第一擋板，所述第一擋板設于所述托板的上方，所述第一擋板用于限制所述產品在X軸方向上的移動位置；

第二檔板，所述第二擋板設于所述托板的上方，所述第二擋板用于限制所述產品在Y軸方向上的移動位置。

7.根據權利要求1所述光刻機導正結構，其特征在于，所述轉換機構還包括：若干托板連接桿和一動板，所述動板與所述第一氣缸傳動連接，所述動板通過若干所述托板連接桿與所述托板固定連接，若干所述托板連接桿均呈豎直設置。

8.根據權利要求3所述光刻機導正結構，其特征在于，所述托板上設有若干第一通槽和若干第二通槽，若干所述第一通槽分別供若干所述滾輪的上表面穿過，若干所述第二通槽分別供若干所述輸送帶的上表面穿過。

9.根據權利要求3所述光刻機導正結構，其特征在于，還包括：

滾輪軸承座安裝板，所述滾輪軸承安裝板設于所述托板的一端，若干所述滾軸的一端分別通過第一軸承座與所述滾輪軸承座安裝板轉動連接；

電機安裝板，所述電機安裝板設于所述托板的另一端，所述第一電機設于所述電機安裝板上，若干所述滾軸的另一端分別穿過所述電機安裝板；

滾輪支撐板，所述滾輪支撐板設于所述電機安裝板遠離所述滾輪軸承座安裝板的一側，若干所述滾軸的另一端分別通過第二軸承座與所述滾輪支撐板轉動連接；

固定板，所述固定板的兩端分別與所述滾輪軸承座安裝板的下端、所述電機安裝板的下端固定連接，所述動板活動設于所述固定板的下方，若干所述托板連接桿均穿過所述固定板；

若干支撐桿，若干所述支撐桿的兩端分別與所述滾輪軸承座安裝板、所述電機安裝板固定連接。

10.根據權利要求9所述光刻機導正結構，其特征在于，還包括：電機調速器，所述電機調速器設于所述電機安裝板上，所述電機調速器分別與所述第一電機、所述第二電機信號連接，所述電機調速器分別用于調節所述第一電機、所述第二電機的傳動速度。