[發明專利]一種高效異質結電池片的制備方法在審
| 申請號: | 201910864848.1 | 申請日: | 2019-09-12 |
| 公開(公告)號: | CN110649128A | 公開(公告)日: | 2020-01-03 |
| 發明(設計)人: | 王麗婷;周肅;黃惜惜;邱家梁;白玲玲;賈佳;黃國平;李菁楠;曹華斌;姜利凱;楊忠緒;勾憲芳 | 申請(專利權)人: | 中節能太陽能科技(鎮江)有限公司;中節能太陽能科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L31/20 | 分類號: | H01L31/20;B23K26/364 |
| 代理公司: | 32204 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) | 代理人: | 湯磊 |
| 地址: | 212132 *** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 異質結電池 電池片 預切割 制備 切割槽 切割 背面 硅片 表面鈍化 硅片正面 效率損失 效率影響 印刷電極 非晶硅 熱影響 損傷層 鈍化 分選 切片 制絨 固化 清洗 激光 損傷 測試 | ||
本發明公開了一種高效異質結電池片的制備方法,在制備電池片的硅片正面先進行激光預切割,形成切割槽,然后依次進行以下步驟:制絨,在正面和背面形成特定的非晶硅,在正面和背面鍍TCO膜,在正面和背面印刷電極,固化,測試分選,得到異質結電池片。本發明通過對制備異質結電池片的硅片首先進行預切割,再進行后續步驟,大幅度降低了電池片在切片過程中由于切割引起的切割損傷和熱影響,可降低異質結電池片切割后的效率損失50%以上;硅片在預切割時的切割槽損傷層可在制備電池片的后續制絨和表面鈍化等步驟中消除,并可進行充分清洗和鈍化,即將預切割的切割槽表面對電池片的效率影響降至最低。
技術領域
本發明涉及一種異質結電池片的制備方法。
背景技術
目前,在追求太陽能電池度電成本的背景下,在電池端異質結(HJT)電池技術由于其低制程溫度、低溫度系數、無光致衰減和電致衰減等優勢,得到行業青睞,在組件端半片、疊瓦組件由于功率密度高和功耗低,成為行業追求的方向,因此需要將高效異質結電池與半片和疊瓦組件相結合,可得到更高功率的組件。現階段主要使用的技術為將制備好的異質結電池片采用激光切割成半片或更小的電池片,使用切割后的電池片制備半片組件和疊瓦組件,但是現在存在的問題是,異質結電池片切割后的效率降檔嚴重,現有的電池片切割技術所帶來的效率損失如下表所示:
切割激光類型 效率損失 Ns激光器 0.8% Ps激光器 0.8% 綠光 0.7% 紫光 0.8% 低溫切割 1.1%
從上表可知,采用不用類型激光切割異質結電池片的效率損失都比較嚴重,因此如何將高效的異質結電池片與半片和疊瓦結合起來,成為現階段的難題。
發明內容
發明目的:針對上述問題,本發明的目的是提供一種異質結電池片的制備方法,降低其切割后的效率損失。
技術方案:一種高效異質結電池片的制備方法,在制備電池片的硅片正面先進行激光預切割,形成切割槽,然后依次進行以下步驟:制絨,在正面和背面形成特定的非晶硅,在正面和背面鍍TCO膜,在正面和背面印刷電極,固化,測試分選,得到異質結電池片。
進一步的,所述切割槽與電池片的細柵線平行,所述切割槽的兩端直至硅片邊緣,或與硅片邊緣保留至少1mm的間距。
進一步的,所述切割槽在長度方向上為通長結構或分段結構。
進一步的,所述切割槽的深度為硅片厚度的15~30%。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件;專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發光光源在結構上相連的,并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的





