[發(fā)明專利]一種用于大漏測(cè)量的檢漏裝置及檢漏方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910864038.6
• 申請(qǐng)日: 2019-09-12
• 公開（公告）號(hào): CN110553802B
• 公開（公告）日: 2022-01-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張果;藍(lán)峰;李健;瞿騎龍;雷福元;鐘林;王華仙
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 愛(ài)發(fā)科東方真空(成都)有限公司
• 主分類號(hào): G01M3/26
• 分類號(hào): G01M3/26
• 代理公司: 成都天既明專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 51259
• 代理人: 李欽;彭立瓊

本發(fā)明提供一種用于大漏測(cè)量的檢漏裝置，包括氣源、與氣源通過(guò)氣源管道連接的儲(chǔ)氣腔、與儲(chǔ)氣腔通過(guò)充氣管道連接的真空腔、與儲(chǔ)氣腔連接的壓力傳感器，所述真空腔與充氣管道連接的接口處設(shè)置充氣閥門，儲(chǔ)氣腔與氣源管道連接的接口處設(shè)置氣源閥門。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于大漏測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于大漏測(cè)量的檢漏裝置及檢漏方法。

背景技術(shù)

對(duì)于自閉工件進(jìn)行氦檢漏的方法，通常采用壓氦真空箱氦檢漏，即將工件放入壓氦腔內(nèi)，向壓氦腔充入設(shè)定壓力的氦氣，保持設(shè)定的時(shí)間，如果是有漏的工件，壓氦腔內(nèi)的氦氣將通過(guò)有漏工件的漏孔(有漏部位)進(jìn)入工件內(nèi)部。沒(méi)有漏的工件則不會(huì)有氦氣漏入工件。完成設(shè)定的壓氦時(shí)間后，將壓氦腔內(nèi)的氦氣排除，然后將工件取出，用氮?dú)獯祾吖ぜ砻妫宄ぜ砻娴母『ぃ髮⒐ぜ湃胝婵諜z測(cè)腔，對(duì)檢測(cè)腔抽真空，達(dá)到設(shè)定真空度后，接通氦質(zhì)譜檢漏儀，氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)到氦元素后，根據(jù)設(shè)定的報(bào)警線，判定產(chǎn)品是否合格。這種檢漏方式可以對(duì)非預(yù)充氦氣自閉體工件進(jìn)行高精度的真空箱氦泄漏檢測(cè)，但是如果工件上的漏孔很大時(shí)，工件在壓氦完成后，壓氦腔排氦、吹掃工件表面浮氦、放入檢測(cè)腔后對(duì)檢測(cè)腔抽真空以及工件在整個(gè)工藝流動(dòng)過(guò)程中，壓入的氦氣會(huì)大量的溢散，甚至散完。導(dǎo)致檢測(cè)結(jié)果偏差巨大，甚至出現(xiàn)有漏品判定為合格品的重大質(zhì)量問(wèn)題。因此在壓氦真空箱氦檢漏之前，對(duì)自閉體工件進(jìn)行大漏泄漏檢測(cè)是非常重要和必要的一個(gè)關(guān)鍵工藝。

發(fā)明內(nèi)容

基于以上問(wèn)題，本發(fā)明的目的在于提供一種用于大漏測(cè)量的檢漏裝置及檢漏方法。

為了實(shí)現(xiàn)以上目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為：一種用于大漏測(cè)量的檢漏裝置，包括氣源、與氣源通過(guò)氣源管道連接的儲(chǔ)氣腔、與儲(chǔ)氣腔通過(guò)充氣管道連接的真空腔、與儲(chǔ)氣腔連接的壓力傳感器，所述真空腔與充氣管道連接的接口處設(shè)置充氣閥門，儲(chǔ)氣腔與氣源管道連接的接口處設(shè)置氣源閥門。

將上述檢漏裝置用于進(jìn)行工件檢漏的方法，包括以下步驟：

步驟1、將待檢漏產(chǎn)品置于真空腔內(nèi)，將真空腔抽真空并密封，使充氣閥門與氣源閥門處于關(guān)閉狀態(tài)；

步驟2、打開氣源閥門，通過(guò)氣源向儲(chǔ)氣腔充壓縮氣體至壓力傳感器顯示儲(chǔ)氣腔內(nèi)達(dá)到設(shè)定壓力，關(guān)閉氣源閥門，打開充氣閥門，儲(chǔ)氣腔內(nèi)的壓縮氣體通過(guò)充氣管道進(jìn)入真空腔，待真空腔與儲(chǔ)氣腔內(nèi)的壓力平衡后通過(guò)壓力傳感器檢測(cè)儲(chǔ)氣腔內(nèi)壓力；通過(guò)壓力平衡后壓力傳感器上顯示的值判斷工件是否產(chǎn)生大漏；具體判斷原理為：

設(shè)定儲(chǔ)氣腔容積為V、真空腔容積為V₁、待檢漏產(chǎn)品容積為V₂，儲(chǔ)氣腔充氣后壓力為P；若產(chǎn)品無(wú)大漏，則步驟2中壓力平衡后儲(chǔ)氣腔內(nèi)氣體壓力理論值為P1：

P1＝PV/(V+V₁-V₂)

若產(chǎn)品有大漏，則步驟2中壓力平衡后儲(chǔ)氣腔內(nèi)氣體壓力實(shí)際值為P2：

P2＝PV/(V+V₁)

判定標(biāo)準(zhǔn)為：當(dāng)P₂＝P₁時(shí)，工件產(chǎn)品為非大漏品，當(dāng)P₂＜P₁時(shí)，工件產(chǎn)品為大漏品。

在上述檢漏方法中，設(shè)備實(shí)際控制體現(xiàn)為P₂＜(P1-FS*0.2％)*\U+3b2時(shí)為大漏品。FS為傳感器量程，\U+3b2為安全系數(shù)(安全系數(shù)主要影響因素為：溫度、濕度、產(chǎn)品一致性誤差等)。

優(yōu)化的，若干真空腔分別通過(guò)若干充氣管道與儲(chǔ)氣腔連接，檢測(cè)時(shí)，對(duì)每個(gè)與儲(chǔ)氣腔連接的真空腔內(nèi)的產(chǎn)品依次進(jìn)行步驟2的操作即可。

優(yōu)化的，若干儲(chǔ)氣腔分別通過(guò)氣源管道與氣源連接。

本發(fā)明的有益效果為：