[發明專利]一種用于線路板測試的主副室結構靶室系統及其使用方法

有效

• 申請號: 201910863652.0
• 申請日: 2019-09-12
• 公開（公告）號: CN110618377B
• 公開（公告）日: 2020-08-11
• 發明（設計）人: 劉杰;孫友梅;段敬來;姚會軍;莫丹;羅捷;翟鵬飛;劉建德;曹殿亮;曾健
• 申請（專利權）人: 中國科學院近代物理研究所
• 主分類號: G01R31/307
• 分類號: G01R31/307;G01R31/28
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司 11245
• 代理人: 李曉紅

1.一種用于線路板測試的主副室結構靶室系統，其特征在于，包括：

系統架臺(1)；

主靶室(2)，固定在系統架臺(1)上，所述主靶室(2)內具有滿足線路板測試時所需的真空度，所述主靶室(2)的下底板(20)上設置四維定位臺(21)，所述四維定位臺(21)上設置有線路板接收架(22)；

至少一個副室(3)，通過氣動閥(30)與所述主靶室(2)上留有的副室接口(23)相連接，所述副室(3)的底部設置有與其內腔連通的抽真空裝置(31)；

線路板傳遞機構(4)，連接在所述副室(3)上，其包括分布于所述副室(3)內的線路板固定架(41)，以及固定設置在所述副室(3)上的傳遞組件(42)；所述線路板固定架(41)上裝有待測線路板，所述傳遞組件(42)的一端伸入所述副室(3)內，并與所述線路板固定架(41)連接，所述傳遞組件(42)用于在測試前后將裝有待測線路板的所述線路板固定架(41)在所述主靶室(2)和副室(3)之間進行傳遞和交接；

可編程邏輯控制器控制箱，與所述抽真空裝置(31)以及傳遞組件(42)連接。

2.如權利要求1所述的一種用于線路板測試的主副室結構靶室系統，其特征在于：在所述主靶室(2)的一側設置兩副室(3)，兩所述副室(3)的幾何中心之間呈90°角分布，其中一所述副室(3)的幾何中心與所述主靶室(2)內的束流方向呈45°角，另一所述副室(3)的幾何中心與所述主靶室(2)內的束流方向呈135°角，每一所述副室(3)對應與一所述線路板傳遞機構(4)連接。

3.如權利要求1或2所述的一種用于線路板測試的主副室結構靶室系統，其特征在于：所述主靶室(2)的頂部設置有操作門(200)，在所述操作門(200)上間隔設置多個照明窗(201)，每一所述照明窗(201)上安裝有照明燈；在所述主靶室(2)的頂部以及側壁上開設有多個觀察窗(202)，在所述主靶室(2)設置觀測攝像頭(203)；所述主靶室(2)的側壁上開設有與所述副室(3)連通的副室接口(23)；在所述主靶室(2)的側壁上開設供束流穿過的束流管道接口(204)和束流引出窗(205)；在所述主靶室(2)的底部設置分子泵(206)，在所述主靶室(2)的下底板(20)上開設有分子泵接口，所述分子泵(206)通過分子泵閥門連接在所述分子泵接口上；在所述主靶室(2)內且對應于所述四維定位臺(21)的兩側設置兩探測器(207)，在所述主靶室(2)的外部設置與兩所述探測器(207)對應連接的兩驅動機構(208)，所述驅動機構(208)用于在測試時驅動對應的所述探測器(207)分布在束流方向上。

4.如權利要求1或2所述的一種用于線路板測試的主副室結構靶室系統，其特征在于：所述副室(3)呈方形結構，所述副室(3)的頂壁上設有接線法蘭(301)，所述副室(3)的底壁四角設置有支撐腳(302)；在所述副室(3)的四個側壁上分別設有帶有正面觀察窗(303)的換樣門(304)、主靶室接口(305)、側面觀察窗(306)和傳遞機構接口(307)，在所述副室(3)的與所述側面觀察窗(306)同側的側壁上還設置有真空規管(307)；在所述副室(3)的與所述傳遞機構接口(308)同側的側壁上還設有放氣閥(309)；所述抽真空裝置(31)為分子泵(310)，在所述副室(3)的底部開設分子泵接口(311)，所述分子泵(310)通過分子泵閘板閥(312)連接在所述副室(3)上的所述分子泵接口(311)上。