[發(fā)明專(zhuān)利]一種可形成液態(tài)金屬液滴的微流控芯片及其制備方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201910861630.0 | 申請(qǐng)日: | 2019-09-11 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN110496657B | 公開(kāi)(公告)日: | 2022-04-22 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 楊浩;蔡逸凡;程亮;李相鵬;朱姝燚;仇銘劼;蘇焱;孫飛 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 蘇州大學(xué) |
| 主分類(lèi)號(hào): | B01L3/00 | 分類(lèi)號(hào): | B01L3/00 |
| 代理公司: | 寧波高新區(qū)核心力專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙) 33273 | 代理人: | 袁麗花 |
| 地址: | 215000 *** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 形成 液態(tài) 金屬 微流控 芯片 及其 制備 方法 | ||
本發(fā)明涉及一種形成液態(tài)金屬微米尺度液滴的微流控芯片。包括:基底;在所述基底上設(shè)置有微流道層;所述微流道層包含有第一微流道、第二微流道、窄口和第三微流道;所述第一微流道與第二微流道通過(guò)所述窄口連通;所述第一微流道與所述第二微流道的寬度遠(yuǎn)大于所述窄口寬度;所述第一微流道與所述第二微流道的長(zhǎng)度方向的中軸線在同一直線上;所述第三微流道與所述第一微流道之間夾角為30°;所述第一微流道、所述第二微流道和所述第三微流道分別用于液態(tài)金屬、產(chǎn)生的液態(tài)金屬液滴和溶液的流動(dòng)。本發(fā)明提供的微流控芯片及液態(tài)金屬液滴生成方法操作簡(jiǎn)便,生成液滴尺寸便于控制,成本低。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及電毛細(xì)技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種可形成液態(tài)金屬液滴的微流控芯片及其制備方法。
背景技術(shù)
目前,制作液態(tài)金屬液滴主要是使用微流聚焦裝置制造液滴的方法。此方法制造液滴有許多優(yōu)點(diǎn),但制作工藝相對(duì)繁瑣,操作較復(fù)雜。由于現(xiàn)有技術(shù)主要是運(yùn)用流體剪切力的方式用來(lái)制作液態(tài)金屬液滴,這需要另一種與液態(tài)金屬不相溶并粘度較大的液體(大部分使用甘油與NaOH的混合溶液)用于剪切液態(tài)金屬。并且需要兩個(gè)微流泵控制液態(tài)金屬和甘油-NaOH溶液的流速比,操作較為繁瑣。
發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此,本發(fā)明提供一種可形成液態(tài)金屬液滴的制作方法以及可形成液態(tài)金屬液滴的微流控芯片,不需調(diào)節(jié)控制液態(tài)金屬與甘油-NaOH溶液的流速比,使簡(jiǎn)化操作和工藝。
為了解決上述問(wèn)題,本發(fā)明提供一種可形成液態(tài)金屬液滴的微流控芯片,包括:
基底;
在所述基底上設(shè)置有微流道層;
所述微流道層上包含有第一微流道、第二微流道、窄口和第三微流道;所述第一微流道與第二微流道通過(guò)窄口連通;所述第一微流道與所述第二微流道的寬度遠(yuǎn)大于所述窄口寬度;所述第一微流道與所述第二微流道的長(zhǎng)度方向的中軸線在同一直線上;所述第三微流道與所述第一微流道之間夾角為30°;所述第一微流道、所述第二微流道和所述第三微流道分別用于液態(tài)金屬、產(chǎn)生的液態(tài)金屬液滴和溶液的流動(dòng);
在所述微流道層還設(shè)置有通孔,分別用于所述第一微流道、所述第二微流道和第三微流道中液體的注入和流出。
優(yōu)選的,所述微流道層由聚二甲基硅氧烷(PDMS)形成。
優(yōu)選的,所述基底為玻璃片或石英片。
一種可形成液態(tài)金屬液滴的微流控芯片的制備方法,包括:
提供基底;
提供微流道層,所述微流道層包含有第一微流道、第二微流道、窄口和第三微流道;所述第一微流道與第二微流道通過(guò)窄口連通;所述第一微流道與所述第二微流道的寬度遠(yuǎn)大于所述窄口寬度;所述第一微流道與所述第二微流道的長(zhǎng)度方向的中軸線在同一直線上;所述第三微流道與所述第一微流道之間夾角為30°;所述第一微流道、所述第二微流道和所述第三微流道分別用于液態(tài)金屬、產(chǎn)生的液態(tài)金屬液滴和溶液的流動(dòng);
在所述微流道層還設(shè)置有通孔,分別用于所述第一微流道、所述第二微流道和所述第三微流道中液體的注入和流出;
將所述的基底與所述設(shè)置有第一微流道、第二微流道、窄口和第三微流道和通孔的微流道層對(duì)準(zhǔn)、密封,得到微流控芯片。
優(yōu)選的,制作所述含有第一微流道、第二微流道、窄口和第三微流道的具體方法為:
在硅片上涂覆光刻膠;
將涂覆好光刻膠的硅片進(jìn)行烘烤;
將烘烤后的硅片通過(guò)預(yù)設(shè)的掩膜版進(jìn)行光刻工藝得到微流道的模具;
將所述硅片四周?chē)鹦纬珊袪钋惑w;
在所述盒狀腔體中倒入樹(shù)脂溶液;
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