[發明專利]一種在石英玻璃上制備復雜電路圖案的方法

在審

• 申請號: 201910860836.1
• 申請日: 2019-09-11
• 公開（公告）號: CN110708880A
• 公開（公告）日: 2020-01-17
• 發明（設計）人: 謝小柱;周文倩;龍江游;李儉國;李苗妮
• 申請（專利權）人: 廣東工業大學
• 主分類號: H05K3/18
• 分類號: H05K3/18;H05K1/03;C03C17/10
• 代理公司: 44102 廣州粵高專利商標代理有限公司
• 代理人: 林麗明

1.一種在石英玻璃上制備復雜電路圖案的方法，其特征在于，包括以下步驟：

S10.在石英玻璃表面制備吸光層得到待加工石英玻璃；

S20.飛秒激光加工控制系統根據待加工的電路圖案設置飛秒激光器的加工參數，將步驟S10所述待加工石英玻璃加載于XYZ運動平臺，飛秒激光加工控制系統控制XYZ運動平臺運動及控制飛秒激光器工作，實現飛秒激光加工，在待加工石英玻璃表面誘導加工規則的微納結構；

S30.取下飛秒激光加工完成的石英玻璃，清洗去除吸光層，并進行干燥，得到待鍍石英玻璃；

S40.將步驟S30中所述待鍍石英玻璃沒入化學鍍液中，并在60℃～80℃條件下加熱化鍍15min～30min，在所述微納結構處鍍上導電層得到導電石英玻璃，所述電路圖案的寬度為7μm～9μm；

S50.取出步驟S40中所述導電石英玻璃，清洗干燥。

2.根據權利要求1所述的在石英玻璃上制備復雜電路圖案的方法，其特征在于，步驟S10中，所述吸光層為采用油墨筆在需要加工的區域涂寫得到或采用液態油墨在需要加工的區域噴涂得到。

3.根據權利要求2所述的在石英玻璃上制備復雜電路圖案的方法，其特征在于，步驟S20中，設置飛秒激光器參數為：激光波長為515nm，功率為1.04W，能量密度為2.079J/cm²，掃描速度為350mm/s，加工次數為1次。

4.根據權利要求3所述的在石英玻璃上制備復雜電路圖案的方法，其特征在于，步驟S30中，加工完成的石英玻璃經酒精超聲清洗3min～5min去除油墨。

5.根據權利要求1至3任一項所述的在石英玻璃上制備復雜電路圖案的方法，其特征在于，步驟S40中，所述導電層選自銅層、鎳層、錫層中的一種或幾種的組合。

6.根據權利要求5所述的在石英玻璃上制備復雜電路圖案的方法，其特征在于，步驟S40中，所述導電層為銅層。

7.根據權利要求6所述的在石英玻璃上制備復雜電路圖案的方法，其特征在于，步驟S40中，所述化學鍍液包括：0.2mg/ml～0.4mg/ml的氧化石墨烯水溶液，3mg/L～5mg/L的亞鐵氰化鉀，40g/L～50g/L的次磷酸鈉，0.8g/L～1g/L的硫酸鎳，20g/L～40g/L的硼酸，0.3mol/L～0.5mol/L的甘氨酸，6g/L～10g/L的無水硫酸銅，4mol/L～6mol/L的氫氧化鈉溶液調節化學鍍液的pH至9～10。

8.根據權利要求7所述的在石英玻璃上制備復雜電路圖案的方法，其特征在于，步驟S40中，所述化學鍍液包括：0.3mg/ml的氧化石墨烯水溶液，4mg/L的亞鐵氰化鉀，45g/L的次磷酸鈉，0.9g/L的硫酸鎳，30g/L的硼酸，0.4mol/L的甘氨酸，8g/L的無水硫酸銅，5mol/L的氫氧化鈉溶液調節化學鍍液的pH＝9.5。

9.根據權利要求6至8任一項所述的在石英玻璃上制備復雜電路圖案的方法，其特征在于，步驟S40中，待鍍石英玻璃與化學鍍液的化鍍反應溫度為恒溫70℃，反應時間為20min。

10.根據權利要求1所述的在石英玻璃上制備復雜電路圖案的方法，其特征在于，步驟S50中，所述導電石英玻璃置入酒精溶液中，超聲清洗5min～8min。