[發(fā)明專利]基于模壓成形的曲面仿生復(fù)眼加工方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910856777.0 | 申請日： | 2019-09-11 |
| 公開（公告）號： | CN110568530A | 公開（公告）日： | 2019-12-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 周天豐;許汝真;阮本帥;顏培;梁志強(qiáng);劉志兵;焦黎;解麗靜;王西彬 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京理工大學(xué) |
| 主分類號： | G02B3/00 | 分類號： | G02B3/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 100081 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 復(fù)眼 二氧化硅微球 模具 復(fù)眼透鏡 凹透鏡模具 光刻膠 加工 微透鏡陣列圖案 等離子體刻蝕 凹透鏡陣列 表面涂覆光 表面自組裝 光刻膠掩膜 模壓成形法 氫氟酸溶液 仿生復(fù)眼 光學(xué)材料 模壓成形 制備工藝 批量化 基底 涂覆 剝離 殘留 腐蝕 暴露 生產(chǎn) | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種基于模壓成形的曲面仿生復(fù)眼加工方法，其特征在于，包括以下步驟：
步驟110：在凹透鏡模具表面自組裝二氧化硅微球陣列；
步驟120：在所述凹透鏡模具表面涂覆光刻膠，控制涂覆厚度使得所述二氧化硅微球部分暴露；
步驟130：利用氫氟酸溶液腐蝕剝離所述二氧化硅微球，獲得具有凹透鏡陣列的光刻膠掩膜；并利用等離子體刻蝕實(shí)現(xiàn)光刻膠上的微透鏡陣列圖案向基底模具轉(zhuǎn)移；
步驟140：洗去殘留光刻膠，獲得復(fù)眼模具；
步驟150：利用所述復(fù)眼模具通過模壓成形法加工出復(fù)眼透鏡。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于模壓成形的曲面仿生復(fù)眼加工方法，其特征在于，所述凹透鏡模具為切削/磨削加工而成，所述凹透鏡模具為球面凹透鏡模具或非球面凹透鏡模具。
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