[發明專利]基于模壓成形的曲面仿生復眼加工方法在審
| 申請號： | 201910856777.0 | 申請日： | 2019-09-11 |
| 公開（公告）號： | CN110568530A | 公開（公告）日： | 2019-12-13 |
| 發明（設計）人： | 周天豐;許汝真;阮本帥;顏培;梁志強;劉志兵;焦黎;解麗靜;王西彬 | 申請（專利權）人： | 北京理工大學 |
| 主分類號： | G02B3/00 | 分類號： | G02B3/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 100081 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 復眼 二氧化硅微球 模具 復眼透鏡 凹透鏡模具 光刻膠 加工 微透鏡陣列圖案 等離子體刻蝕 凹透鏡陣列 表面涂覆光 表面自組裝 光刻膠掩膜 模壓成形法 氫氟酸溶液 仿生復眼 光學材料 模壓成形 制備工藝 批量化 基底 涂覆 剝離 殘留 腐蝕 暴露 生產 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于模壓成形的曲面仿生復眼加工方法，其特征在于，包括以下步驟：
步驟110：在凹透鏡模具表面自組裝二氧化硅微球陣列；
步驟120：在所述凹透鏡模具表面涂覆光刻膠，控制涂覆厚度使得所述二氧化硅微球部分暴露；
步驟130：利用氫氟酸溶液腐蝕剝離所述二氧化硅微球，獲得具有凹透鏡陣列的光刻膠掩膜；并利用等離子體刻蝕實現光刻膠上的微透鏡陣列圖案向基底模具轉移；
步驟140：洗去殘留光刻膠，獲得復眼模具；
步驟150：利用所述復眼模具通過模壓成形法加工出復眼透鏡。
2.根據權利要求1所述的基于模壓成形的曲面仿生復眼加工方法，其特征在于，所述凹透鏡模具為切削/磨削加工而成，所述凹透鏡模具為球面凹透鏡模具或非球面凹透鏡模具。
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