[發(fā)明專利]碘鎓鹽、抗蝕劑組合物和圖案形成方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910856590.0
• 申請日: 2019-09-11
• 公開（公告）號: CN110885282B
• 公開（公告）日: 2023-04-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 藤原敬之;大橋正樹;片山和弘;山田健司
• 申請（專利權(quán)）人: 信越化學(xué)工業(yè)株式會社
• 主分類號: C07C25/18
• 分類號: C07C25/18;C07C59/115;C07C51/41;C07C43/225;C07D207/27;G03F7/004;G03F7/039;G03F7/32
• 代理公司: 中國貿(mào)促會專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 11038
• 代理人: 杜麗利

1.抗蝕劑組合物，其包含

猝滅劑，所述猝滅劑包含具有式(1)的碘鎓鹽，

含有聚合物的基礎(chǔ)樹脂，所述聚合物由具有式(a)的重復(fù)單元、具有式(b)的重復(fù)單元和衍生自被取代的丙烯酸酯、不飽和羧酸、環(huán)狀烯烴、不飽和酸酐和乙烯基芳族化合物的任選的重復(fù)單元組成，

有機(jī)溶劑，

光致產(chǎn)酸劑，所述光致產(chǎn)酸劑由具有式(2)的锍鹽或具有式(3)的化合物組成：

其中，R^f1和R^f2各自獨立地為氫、氟或可以含有氟的C₁-C₄直鏈或支鏈的一價烴基，R^f1和R^f2的至少一個為氟或可以含有氟的C₁-C₄直鏈或支鏈的一價烴基，

Ar¹和Ar²各自獨立地為可以含有雜原子的C₆-C₄₀芳基，或者Ar¹和Ar²可以鍵合在一起以與它們所連接的碘原子形成環(huán)，

其中，R^A為氫、氟、甲基或三氟甲基，Z^A為單鍵、亞苯基、亞萘基或(骨架)-C(＝O)-O-Z’-，Z’為可以含有羥基結(jié)構(gòu)部分、醚鍵、酯鍵或內(nèi)酯環(huán)的C₁-C₁₀烷烴二基，或者為亞苯基或亞萘基，X^A為酸不穩(wěn)定性基團(tuán)，Y^A為氫或含有選自羥基、氰基、羰基、羧基、醚鍵、酯鍵、磺酸酯鍵、碳酸酯鍵、內(nèi)酯環(huán)、磺內(nèi)酯環(huán)和羧酸酐中的至少一個結(jié)構(gòu)的極性基團(tuán)，

其中，R¹⁰¹、R¹⁰²和R¹⁰³各自獨立地為可以含有雜原子的C₁-C₂₀一價烴基，R¹⁰¹、R¹⁰²和R¹⁰³中的任意兩個可以鍵合在一起以與它們所連接的硫原子形成環(huán)，X^-為選自下述式(2A)至(2D)的陰離子：

其中R^fa、R^fb1、R^fb2、R^fc1、R^fc2和R^fc3各自獨立地為氟或可以含有雜原子的C₁-C₄₀一價烴基，或者R^fb1與R^fb2或R^fc1與R^fc2一對可以鍵合在一起以與它們所連接的碳原子和任意插入的原子形成環(huán)，R^fd為可以含有雜原子的C₁-C₄₀一價烴基，

其中R²⁰¹和R²⁰²各自獨立地為可以含有雜原子的C₁-C₃₀一價烴基，R²⁰³為可以含有雜原子的C₁-C₃₀二價烴基，R²⁰¹、R²⁰²和R²⁰³中的任意兩個可以鍵合在一起以與它們所連接的硫原子形成環(huán)，L^A為單鍵、醚鍵或可以含有雜原子的C₁-C₂₀二價烴基，X¹、X²、X³和X⁴各自獨立地為氫、氟或三氟甲基，X¹、X²、X³和X⁴中的至少一個為氟或三氟甲基。