[發(fā)明專利]一種酸性蝕刻液循環(huán)再生系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910853656.0
• 申請(qǐng)日: 2019-09-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111394727A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-07-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳仁華;聶國(guó)勇;李建立
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 長(zhǎng)沙利潔環(huán)保科技有限公司
• 主分類號(hào): C23F1/46
• 分類號(hào): C23F1/46;C23F1/18;C25C1/12;C25C7/06;C25B1/26;C25B15/08;B01D53/18
• 代理公司: 長(zhǎng)沙優(yōu)企知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 43243
• 代理人: 劉佳芳

本發(fā)明公開(kāi)了一種酸性蝕刻液循環(huán)再生系統(tǒng)，包括電解槽（30）、循環(huán)槽（20）、氯氣吸收回用塔（10）；所述電解槽（30）內(nèi)設(shè)有陽(yáng)極區(qū)（301）和陰極區(qū)（302）；所述循環(huán)槽（20）分為陽(yáng)極循環(huán)區(qū)（229）、蝕刻循環(huán)區(qū)（230）和陰極循環(huán)區(qū)（231）；所述電解槽的陽(yáng)極區(qū)（301）分別與循環(huán)槽的陽(yáng)極循環(huán)區(qū)（229）和蝕刻循環(huán)區(qū)（230）連通；所述電解槽的陰極區(qū)（302）與陰極循環(huán)區(qū)（231）相互連通；所述電解槽的陽(yáng)極區(qū)（301）和陰極區(qū)（302）以及所述循環(huán)槽（20）的蝕刻循環(huán)區(qū)（230）、陰極循環(huán)區(qū)（231）與氯氣吸收回用塔（10）連通；所述氯氣吸收回用塔（10）與陽(yáng)極循環(huán)區(qū)（229）連通。該再生系統(tǒng)可以將酸性蝕刻液在線循環(huán)再生直接利用，節(jié)約成本，且氯氣零排放，保護(hù)環(huán)境。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及蝕刻技術(shù)領(lǐng)域，具體公開(kāi)了一種酸性蝕刻液循環(huán)再生系統(tǒng)。

背景技術(shù)

由于蝕刻精度要求越來(lái)越高，環(huán)境保護(hù)壓力逐年增大，到目前，絕大多數(shù)PCB生產(chǎn)企業(yè)均選擇使用酸性或堿性氯化銅蝕刻液。酸性氯化銅蝕刻液主要成分為氯化鈉、HCl和氯化銅，堿性氯化銅蝕刻液的主要成分為氯化銨，氨水和氯化銅。

酸性氯化銅蝕刻液因具有蝕刻速率快，穩(wěn)定、易控制及再生等特點(diǎn)，普遍應(yīng)用于目前的印刷線路板的蝕刻工序中。酸性蝕刻液在蝕刻銅箔的過(guò)程中會(huì)發(fā)生Cu+ Cu²⁺ →2CuCl的反應(yīng)。隨著反應(yīng)的進(jìn)行，蝕刻液中Cu²⁺離子的濃度減小，而Cu⁺離子的濃度不斷增大，蝕刻能力隨之降低。當(dāng)Cu²⁺離子消耗至一定程度后，蝕刻液的蝕刻能力將無(wú)法滿足生產(chǎn)需求而需再生處理。酸性蝕刻液再生主要有化學(xué)再生法和電解再生法。化學(xué)再生法如氯酸鈉氧化法、雙氧水再生法等，需加入氧化劑等物質(zhì)，最終會(huì)對(duì)外排出一部分酸性蝕刻液，不僅污染壞境，還會(huì)造成大量銅和酸的浪費(fèi)。電解再生法是一種在線再生方法，可以實(shí)現(xiàn)蝕刻工作與蝕刻液再生在一個(gè)體系中連續(xù)運(yùn)行，即陽(yáng)極再生蝕刻液的同時(shí)，還可以在陰極沉積回收銅，使蝕刻過(guò)程中增加的銅得以回收，為線路板企業(yè)增加額外的收入。而現(xiàn)已經(jīng)報(bào)道的電解處理酸性氯化銅蝕刻液方法，有大量氯氣、氫氣等有害危險(xiǎn)氣體析出，不僅污染壞境，而且也浪費(fèi)資源。

關(guān)于酸性蝕刻液的循環(huán)再生裝置已有很多人研究，例如：201610646322.2 公開(kāi)了一種高含銅蝕刻液再生循環(huán)系統(tǒng)，它包括蝕刻線，溶解再生缸、過(guò)濾器，蝕刻線與溶解再生缸通過(guò)管道連接，且在該管道上設(shè)置有廢液提升泵，溶解再生缸與過(guò)濾器通過(guò)管道連接，且在該管道上設(shè)置有蝕刻液提升泵，過(guò)濾器與蝕刻線連通。

公開(kāi)號(hào)為CN106119853A的中國(guó)專利申請(qǐng)公開(kāi)了一種“高效零排放廢酸性銅蝕刻液

回收及再生系統(tǒng)”，由銅電解回收裝置和再生裝置兩部分組成，但是該系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)間冗長(zhǎng)，一個(gè)循環(huán)周期約為20～100小時(shí)，而且銅片的回收效率較低。

發(fā)明內(nèi)容

為解決背景技術(shù)中存在的技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提出一種酸性蝕刻液循環(huán)再生系統(tǒng)。該裝置直接與蝕刻線連通，可以將酸性蝕刻液實(shí)現(xiàn)在線循環(huán)再生直接利用，節(jié)約成本，且氯氣零排放，保護(hù)環(huán)境。

一種酸性蝕刻液循環(huán)再生系統(tǒng)，包括蝕刻線和電解槽，還包括循環(huán)槽、氯氣吸收回用塔、母液儲(chǔ)備桶和再生液儲(chǔ)備桶；

所述電解槽內(nèi)設(shè)有陽(yáng)極區(qū)和陰極區(qū)；

所述循環(huán)槽包括槽體，所述槽體的底部通過(guò)隔板分割為陽(yáng)極循環(huán)區(qū)、蝕刻循環(huán)區(qū)和陰極循環(huán)區(qū)，其中蝕刻循環(huán)區(qū)和陽(yáng)極循環(huán)區(qū)頂部相通；

所述電解槽的陽(yáng)極區(qū)分別與循環(huán)槽的陽(yáng)極循環(huán)區(qū)和蝕刻循環(huán)區(qū)連通；所述電解槽的陰極區(qū)與陰極循環(huán)區(qū)相互連通；所述電解槽的陽(yáng)極區(qū)和陰極區(qū)以及所述循環(huán)槽的蝕刻循環(huán)區(qū)、陰極循環(huán)區(qū)與氯氣吸收回用塔連通；所述氯氣吸收回用塔與循環(huán)槽的陽(yáng)極循環(huán)區(qū)連通；

所述母液儲(chǔ)備桶與陽(yáng)極循環(huán)區(qū)、蝕刻循環(huán)區(qū)和陰極循環(huán)區(qū)連通；

所述再生液儲(chǔ)備桶與陽(yáng)極循環(huán)區(qū)和陰極循環(huán)區(qū)連通；