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[發明專利]一種靜電設備期間核查的方法在審

專利信息
申請號: 201910851176.0 申請日: 2019-09-10
公開(公告)號: CN110632414A 公開(公告)日: 2019-12-31
發明(設計)人: 林俊龍 申請(專利權)人: 歌爾股份有限公司
主分類號: G01R31/00 分類號: G01R31/00
代理公司: 37255 濰坊正信致遠知識產權代理有限公司 代理人: 石譽虎
地址: 261031 山東省濰*** 國省代碼: 山東;37
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 靜電設備 電流波形 核查 電流探頭 衰減器 放電電流波形 放電 捕捉 放電電流 導線電連接 導線穿過 顯示放電 儀器分析 儀器連接 接地 校準 感應口 接地端 輸出端 傳輸 輸出 記錄
【權利要求書】:

1.一種靜電設備期間核查的方法,其特征在于,包括以下步驟:

步驟一、將待核查靜電設備的接地端接地,輸出端與導線電連接;

步驟二、將導線穿過一電流探頭的感應口;

步驟三、所述電流探頭的輸出端經過衰減器與電流波形捕捉儀器的輸入端連接;

步驟四、啟動所述待核查靜電設備放電,放電電流流過所述導線,所述電流探頭感應并輸出放電電流至所述衰減器,所述衰減器傳輸給所述電流波形捕捉儀器,所述電流波形捕捉儀器分析并顯示放電電流波形;

步驟五、記錄各放電等級的放電電流波形,通過各放電電流波形核查靜電設備。

2.根據權利要求1所述的靜電設備期間核查的方法,其特征在于,所述電流波形捕捉儀器為示波器,則,在步驟四之前,

還根據所述待核查靜電設備的放電等級設定所述示波器工作參數,使所述示波器可捕捉對應放電等級的放電電流波形。

3.根據權利要求2所述的靜電設備期間核查的方法,其特征在于,將捕捉各放電等級對應的所述示波器工作參數存入所述示波器,使用時調取。

4.根據權利要求2所述的靜電設備期間核查的方法,其特征在于,所述示波器耦合參數為直流DC阻抗,50Ω探頭,0.5V/A。

5.根據權利要求1至4任一項所述的靜電設備期間核查的方法,其特征在于,所述待核查靜電設備為HBM放電模式靜電設備;則,所述通過各放電電流波形核查靜電設備,包括以下步驟:

根據放電電流波形,獲取放電電流的峰值電流、上升時間和延遲時間;所述上升時間為放電電流從峰值電流的10%上升到峰值電流的90%的時間;所述延遲時間為放電電流從峰值電流下降到峰值電流36.8%的時間;

判斷峰值電流與對應的標準峰值電流的誤差是否在±10%范圍內、上升時間是否在(2~10)ns范圍內、延遲時間是否在(150-20,150+20)范圍內;

如果是,核查合格;

否則,不合格。

6.根據權利要求1至4任一項所述的靜電設備期間核查的方法,其特征在于,所述待核查靜電設備為MM放電模式靜電設備;則,所述通過各放電電流波形核查靜電設備,包括以下步驟:

根據放電電流波形,獲取放電電流的第一波峰電流值、第一波谷電流值和周期;所述周期為放電電流從第一波峰處放電電流降到零起,到第一波谷處放電電流上升到零為止;

判斷第一波峰電流值與對應的標準第一波峰電流值的誤差是否在±10%或±20%范圍內、第一波谷電流值占第一波峰電流值的百分數是否在67%~90%范圍內、周期是否在(66~90)ns范圍內;

如果是,則核查合格;

否則,不合格。

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