[發明專利]一種光束整形裝置

有效

• 申請號: 201910851059.4
• 申請日: 2019-09-10
• 公開（公告）號: CN110568622B
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發明（設計）人: 林學春;林谷宜;趙鵬飛;常亮;于海娟
• 申請（專利權）人: 中國科學院半導體研究所
• 主分類號: G02B27/09
• 分類號: G02B27/09
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 吳夢圓

1.一種光束整形裝置，其特征在于，包括：第一藍光光源模塊、第一整形模塊和第一支撐模塊；所述第一藍光光源模塊包括M×N個第一藍光單管，所述M表示沿慢軸方向上設置的所述第一藍光單管的個數，所述N表示沿快軸方向上設置的所述第一藍光單管的個數，所述M為偶數；所述第一整形模塊包括第一快軸方向移動子模塊和第一慢軸方向移動子模塊；所述第一整形模塊設置在所述第一支撐模塊上；

所述第一藍光光源模塊用于輸出第一原始光束集；

所述第一快軸方向移動子模塊用于使所述第一原始光束集中沿快軸方向上的各光束沿快軸方向移動，以減小所述第一原始光束集中沿快軸方向上的各光束之間的距離，得到第一中間光束集，所述第一中間光束集中沿快軸方向上的各光束交錯排列；

所述第一慢軸方向移動子模塊用于使所述第一中間光束集中沿慢軸方向上的各光束沿慢軸方向移動，以減小所述第一中間光束集中沿慢軸方向上的各光束之間的距離，得到第一目標光束集，所述第一目標光束集為沿快軸方向和沿慢軸方向上的各光束之間的距離小于等于第一距離閾值的光束集；

所述第一快軸方向移動子模塊包括第一快軸方向移動單元和第二快軸方向移動單元；所述第一快軸方向移動單元設置在所述第一支撐模塊上與所述第一藍光光源模塊相對的側面，所述第二快軸方向移動單元設置在所述第一支撐模塊上；

所述第一快軸方向移動單元用于使所述第一原始光束集中沿快軸方向上的各光束沿快軸方向移動，以減小所述第一原始光束集中沿快軸方向上的各光束之間的距離，得到第一處理光束集；

所述第二快軸方向移動單元用于使所述第一處理光束集中沿快軸方向上的各光束沿快軸方向移動，得到第二處理光束集，所述第二處理光束集中沿快軸方向上的各光束交錯排列，并將所述第二處理光束集作為第一中間光束集；

所述第一慢軸方向移動子模塊包括第一慢軸方向移動單元和第二慢軸方向移動單元；所述第一慢軸方向移動單元和所述第二慢軸方向移動單元設置在所述第一支撐模塊上，所述第一慢軸方向移動單元設置在所述第二快軸方向移動單元和所述第二慢軸方向移動單元之間；所述第二快軸方向移動單元距所述第一快軸方向移動單元的距離小于所述第二慢軸方向移動單元距所述第一快軸方向移動單元的距離；

所述第一慢軸方向移動單元用于使所述第一中間光束集中沿慢軸方向上的各光束沿慢軸方向移動，以減小所述第一中間光束集中沿快軸方向上的各光束之間的距離，得到第三處理光束集，所述第三處理光束集為沿快軸方向上的各光束之間的距離小于等于第一距離閾值的光束集；

所述第二慢軸方向移動單元用于使所述第三處理光束集中沿慢軸方向上的各光束沿慢軸方向移動，以減小所述第三處理光束集中沿慢軸方向上的各光束之間的距離，得到第一目標光束集，所述第一目標光束集為沿快軸方向和沿慢軸方向上的各光束之間的距離小于等于所述第一距離閾值的光束集；

所述第二快軸方向移動單元用于改變除位于所述第一處理光束集中沿快軸方向上的中間兩光束外其余光束的位置，得到第二處理光束集，所述第二處理光束集中沿快軸方向上的各光束交錯排列，并將所述第二處理光束集作為第一中間光束集；

所述第一快軸方向移動單元包括N-1個第一平行平板；所述第二快軸方向移動單元包括M-2個第二平行平板；所述第一慢軸方向移動單元包括M-2個第一整形鏡片組，每個所述第一整形鏡片組包括第一斜方棱鏡、第二斜方棱鏡和第三平行平板，所述第三平行平板設置在所述第一斜方棱鏡和所述第二斜方棱鏡之間；所述第二慢軸方向移動單元包括M-2個第一反射鏡。