[發明專利]一種導向件及坩堝安裝導向裝置

在審

• 申請號: 201910847815.6
• 申請日: 2019-09-09
• 公開（公告）號: CN110541201A
• 公開（公告）日: 2019-12-06
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 西安奕斯偉硅片技術有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00;C30B29/06
• 代理公司: 11243 北京銀龍知識產權代理有限公司
• 代理人: 許靜;胡影<國際申請>=<國際公布>=<

本發明提供一種導向件及坩堝安裝導向裝置，其中，導向件包括：固定環；設置于所述固定環上的至少兩個伸縮限位器，所述伸縮限位器包括伸縮調整單元和伸縮尺，所述伸縮調整單元用于控制所述伸縮尺的伸縮量，所述伸縮尺的一端與所述伸縮調整單元相連，另一端指向所述固定環的圓心；坩堝安裝導向裝置包括：爐筒，所述爐筒的頂部開設有供坩堝進出的開口；導向件。根據本發明實施例的導向件及坩堝安裝導向裝置，通過精確控制伸縮尺的伸縮量，可以準確控制坩堝與爐筒開口邊緣的距離，從而引導坩堝準確安裝到正確位置，避免了安裝過程中坩堝磕碰到其它設備。

技術領域

本發明涉及單晶生產設備領域,具體涉及一種導向件及坩堝安裝導向裝置。

背景技術

生長單晶晶棒的過程中，晶棒的尺寸與裝入坩堝中的多晶硅的量是成正比的，也就是說裝入量越多，晶棒的尺寸也就越大，那么對于坩堝的尺寸要求也越來越高。由于大容量的坩堝很重，需要用坩堝移動工具來移動坩堝，但是在移動、安裝過程中，坩堝會發生搖晃，要把坩堝正確安裝在底部支架上是很困難的，如果安裝不準確，會容易與其他設備發生碰撞，對坩堝造成沖擊，繼而造成損傷。

發明內容

有鑒于此，本發明提供一種導向件及坩堝安裝導向裝置，以解決坩堝移動過程中發生碰撞繼而造成損傷的問題。

為解決上述技術問題，本發明采用以下技術方案：

本發明一方面實施例提供了一種導向件，包括：

固定環；

設置于所述固定環上的至少兩個伸縮限位器，所述伸縮限位器包括伸縮調整單元和伸縮尺，所述伸縮調整單元用于控制所述伸縮尺的伸縮量，所述伸縮尺的一端與所述伸縮調整單元相連，另一端指向所述固定環的圓心。

進一步地，所述伸縮尺指向所述固定環的圓心的一端端面上安裝有防震墊。

本發明另一方面實施例提供了一種坩堝安裝導向裝置，包括：

爐筒，所述爐筒的頂部開設有供坩堝進出的開口；

如上所述的導向件，所述導向件的固定環設置于所述爐筒的開口邊緣。

進一步地，所述伸縮限位器的數量為兩個，且兩個所述伸縮限位器位于所述固定環的同一直徑方向上。

進一步地，所述伸縮限位器的數量為四個，且四個所述伸縮限位器間隔設置在所述固定環上。

進一步地，所述坩堝安裝導向裝置還包括：

下端支架，所述下端支架設置于所述爐筒內部中央，所述下端支架的上端部與所述坩堝的底部呈凹凸配合。

進一步地，所述坩堝安裝導向裝置還包括：

加熱器，所述加熱器環設在所述下端支架的上端部外圍。

進一步地，所述坩堝安裝導向裝置還包括：

隔熱層，所述隔熱層設置于所述加熱器與所述爐筒內壁之間。

本發明上述技術方案的有益效果如下：

根據本發明實施例的導向件及坩堝安裝導向裝置，通過精確控制伸縮尺的伸縮量，可以準確控制坩堝與爐筒開口邊緣的距離，從而引導坩堝準確安裝到正確位置，避免了安裝過程中坩堝磕碰到其它設備。

附圖說明

圖1為本發明實施例中導向件的結構示意圖之一；

圖2為本發明實施例中導向件的結構示意圖之二；

圖3為本發明實施例中坩堝安裝導向裝置的結構示意圖。

具體實施方式