[發明專利]一種納米金剛石涂層硬質合金材料的制備方法

在審

• 申請號: 201910838040.6
• 申請日: 2019-09-05
• 公開（公告）號: CN110387534A
• 公開（公告）日: 2019-10-29
• 發明（設計）人: 孫浩斌;張華;姚海濱;司守佶;李昌業;劉欣;付道龍;李曉艷;常江;王煥濤
• 申請（專利權）人: 蓬萊市超硬復合材料有限公司
• 主分類號: C23C16/27
• 分類號: C23C16/27;C23C16/455;C23C16/50
• 代理公司: 北京盛凡智榮知識產權代理有限公司 11616
• 代理人: 任娜娜

1.一種納米金剛石涂層硬質合金材料的制備方法，其特征在于：包括以下步驟：

(1)硬質合金基體前處理：將硬質合金基體置于納米金剛石懸浮液中進行超聲清洗30～60min，經干燥處理后獲得硬質合金基體前處理體；

(2)沉積納米金剛石涂層：采用化學氣相沉積法在上述硬質合金基體前處理體表面沉積納米金剛石層，制得納米金剛石涂層，具體工藝為：在壓力為2～15kPa，溫度為600℃～2500℃條件下，以H₂、CH₄或H₂、C₂H₆和Ar為反應氣體源在硬質合金基體前處理體上反應5～10小時形成納米金剛石涂層，其中，CH₄和C₂H₆氣體體積分別占總反應氣體源體積的1％～5％；所述納米金剛石涂層中的納米金剛石顆粒的平均粒徑小于100nm；所述納米金剛石厚度達到6μm以上。

2.根據權利要求1所述的納米金剛石涂層硬質合金材料的制備方法，其特征在于：混合氣體中氫、碳、氬各元素的比例范圍為100∶1～5∶0.5～1。

3.根據權利要求1所述的納米金剛石涂層硬質合金材料的制備方法，其特征在于：所述化學氣相沉積法為熱絲化學氣相沉積法或微波等離子體化學氣相沉積法。

4.根據權利要求1所述的納米金剛石涂層硬質合金材料的制備方法，其特征在于：所述納米金剛石涂層的表面粗糙度為50～100nm。