[發(fā)明專利]垂向運(yùn)動(dòng)裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910831534.1
• 申請(qǐng)日: 2019-09-04
• 公開（公告）號(hào): CN110440112A
• 公開（公告）日: 2019-11-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳火亮;孟輝;瞿曉晨;黃傳;王越
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海隱冠半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): F16M11/18
• 分類號(hào): F16M11/18;F16M11/24;F16M11/08;F16M11/04;G01B11/02
• 代理公司: 上海上谷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31342
• 代理人: 蔡繼清;姜龍

1.一種垂向運(yùn)動(dòng)裝置，其特征在于，所述垂向運(yùn)動(dòng)裝置包括絲桿組件、電機(jī)組件、以及運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，所述絲桿組件包括絲桿和絲桿螺母，所述絲桿與所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)連接，所述絲桿螺母與所述電機(jī)組件連接，通過(guò)所述電機(jī)組件的運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)所述絲桿螺母轉(zhuǎn)動(dòng)，從而通過(guò)所述絲桿驅(qū)動(dòng)所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)進(jìn)行垂向運(yùn)動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的垂向運(yùn)動(dòng)裝置，其特征在于，所述垂向運(yùn)動(dòng)裝置還包括底座，所述電機(jī)組件包括電機(jī)定子和電機(jī)動(dòng)子，所述電機(jī)定子與所述底座固定連接，所述電機(jī)動(dòng)子與所述電機(jī)定子配合并與所述絲桿螺母固定連接，所述電機(jī)動(dòng)子轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)帶動(dòng)所述絲桿螺母轉(zhuǎn)動(dòng)從而驅(qū)動(dòng)所述絲桿帶動(dòng)所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)進(jìn)行垂向運(yùn)動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的垂向運(yùn)動(dòng)裝置，其特征在于，所述垂向運(yùn)動(dòng)裝置還包括軸承組件，所述軸承組件包括軸承座、第一軸承和第二軸承，所述軸承座安裝于所述底座上并與所述電機(jī)動(dòng)子固定連接，所述第一軸承和所述第二軸承安裝于所述軸承座與所述底座之間；

在一個(gè)實(shí)施例中，所述軸承座整體上呈圓筒狀并在下部整體沿周向向外凸出形成第一凸臺(tái)，通過(guò)所述第一凸臺(tái)與電機(jī)動(dòng)子固定連接，以及所述軸承座的上表面向上凸出形成半徑較小的第二凸臺(tái)，所述第二凸臺(tái)的內(nèi)壁向內(nèi)凸出形成臺(tái)階，通過(guò)所述臺(tái)階與所述底座的筒體以及絲桿螺母固定連接；

在一個(gè)實(shí)施例中，所述軸承組件還包括軸承外環(huán)端和軸承內(nèi)環(huán)端蓋，所述底座的筒體伸入軸承座的內(nèi)部，在軸承座的內(nèi)壁與筒體的外壁之間設(shè)置所述第一軸承和第二軸承，并通過(guò)所述軸承外環(huán)端蓋和軸承內(nèi)環(huán)端蓋分別從上下將所述第一軸承和第二軸承封住。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的垂向運(yùn)動(dòng)裝置，其特征在于，所述垂向運(yùn)動(dòng)裝置還包括導(dǎo)向組件，所述導(dǎo)向組件連接在所述底座與所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)之間，以使所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)沿垂向運(yùn)動(dòng)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的垂向運(yùn)動(dòng)裝置，其特征在于，所述導(dǎo)向組件包括導(dǎo)向板、導(dǎo)向柱和導(dǎo)向座，所述導(dǎo)向板安裝在所述底座上，所述導(dǎo)向座安裝在所述導(dǎo)向板或所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上，所述導(dǎo)向柱的一端安裝于所述導(dǎo)向座內(nèi)并能夠在所述導(dǎo)向座內(nèi)滑動(dòng)，所述導(dǎo)向柱的另一端與所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)或所述導(dǎo)向板固定連接；在一個(gè)實(shí)施例中，所述垂向運(yùn)動(dòng)裝置還包括多個(gè)導(dǎo)向組件，所述多個(gè)導(dǎo)向組件沿導(dǎo)向板的周向等距布置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的垂向運(yùn)動(dòng)裝置，其特征在于，所述垂向運(yùn)動(dòng)裝置還包括測(cè)量組件，通過(guò)所述測(cè)量組件測(cè)量所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的垂向位移；在一個(gè)實(shí)施例中，所述測(cè)量組件為光柵尺，通過(guò)所述光柵尺為所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)提供垂向位置的信號(hào)反饋。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的垂向運(yùn)動(dòng)裝置，其特征在于，所述垂向運(yùn)動(dòng)裝置還包括自鎖組件，當(dāng)有突發(fā)情況發(fā)生時(shí)，所述自鎖組件動(dòng)作以將所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)鎖定；在一個(gè)實(shí)施例中，所述垂向運(yùn)動(dòng)裝置包括多個(gè)自鎖組件，所述多個(gè)自鎖組件沿所述導(dǎo)向板的圓周均勻布置在所述導(dǎo)向板上。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的垂向運(yùn)動(dòng)裝置，其特征在于，所述自鎖組件包括氣缸、剎片以及氣缸座，所述氣缸座安裝于所述導(dǎo)向板上，所述氣缸安裝于所述氣缸座上，以及所述氣缸的活塞桿與所述剎片連接；

在一個(gè)實(shí)施例中，所述氣缸座整體上形成“L”形并包括水平部分和垂直部分，所述水平部分上設(shè)有水平安裝孔，所述垂直部分設(shè)有活塞桿安裝孔，所述氣缸座通過(guò)所述水平安裝孔固定安裝于所述導(dǎo)向板上，所述氣缸安裝于氣缸座的垂直部分上且所述活塞桿穿過(guò)所述活塞桿安裝孔并連接在剎片上；

在一個(gè)實(shí)施例中，所述剎片的形狀與軸承座的外周面的形狀配合以增大剎片與軸承座的外周面的接觸面積。

9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的垂向運(yùn)動(dòng)裝置，其特征在于，所述垂向運(yùn)動(dòng)裝置還包括導(dǎo)向柱支撐板，所述導(dǎo)向柱支撐板安裝于所述底座的下方，以及所述導(dǎo)向組件包括導(dǎo)向柱、導(dǎo)向座以及連接件，所述導(dǎo)向柱安裝在所述導(dǎo)向柱支撐板的中部并通過(guò)連接件和絲桿連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的垂向運(yùn)動(dòng)裝置，其特征在于，所述導(dǎo)向座安裝于所述連接件上，所述導(dǎo)向柱的下端固定安裝于所述導(dǎo)向柱支撐板上，所述導(dǎo)向柱的上端可滑動(dòng)地伸入所述導(dǎo)向座內(nèi)，當(dāng)電機(jī)動(dòng)子帶動(dòng)絲桿螺母轉(zhuǎn)動(dòng)使得絲桿帶動(dòng)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)垂向運(yùn)動(dòng)時(shí)，所述導(dǎo)向柱沿所述導(dǎo)向座的內(nèi)部滑動(dòng)從而起到導(dǎo)向作用。