[發明專利]微透鏡單元及其制作方法、微透鏡光學組件

在審

• 申請號: 201910829488.1
• 申請日: 2019-09-03
• 公開（公告）號: CN110531450A
• 公開（公告）日: 2019-12-03
• 發明（設計）人: 張如慧;秦毅;林桂鋒
• 申請（專利權）人: 豪威光電子科技(上海)有限公司
• 主分類號: G02B3/00
• 分類號: G02B3/00;H01S5/00
• 代理公司: 31237 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 曹廷廷<國際申請>=<國際公布>=<進入

1.一種微透鏡單元，其特征在于，包括：

基板、位于所述基板上同一側的導電膜層和第一焊盤、位于所述導電膜層上的微透鏡陣列，所述第一焊盤與所述導電膜層電連接，所述微透鏡陣列暴露出所述第一焊盤。

2.如權利要求1所述的微透鏡單元，其特征在于，所述導電膜層包括：ITO，所述基板的材質為玻璃。

3.如權利要求1所述的微透鏡單元，其特征在于，所述第一焊盤位于所述導電膜層的兩側。

4.如權利要求1所述的微透鏡單元，其特征在于，所述微透鏡陣列相對的兩個面中，一個面為平面，另一個面為陣列球狀。

5.一種微透鏡單元的制作方法，其特征在于，包括：

提供鏡頭模具，所述鏡頭模具的壓印側上形成多個與微透鏡形狀匹配的間隔分布的圖形陣列；

提供基板，所述基板上形成多個間隔分布的導電膜層，所述導電膜層與所述圖形陣列對應分布；

在所述鏡頭模具的壓印側涂敷膠體；

將所述鏡頭模具和所述基板壓合，并固化所述膠體；

將所述鏡頭模具從所述膠體上分離；

形成第一焊盤，所述第一焊盤位于所述基板上且與所述導電膜層電連接。

6.如權利要求5所述的微透鏡單元的制作方法，其特征在于，采用晶圓級制備方法，所述鏡頭模具為圓級鏡頭模具，所述基板為晶圓級基板。

7.如權利要求5或6所述的微透鏡單元的制作方法，其特征在于，所述鏡頭模具的材質包括：UV膠或PDMS。

8.如權利要求5或6所述的微透鏡單元的制作方法，其特征在于，圖形陣列包括：凹陷陣列或凸起陣列。

9.一種微透鏡光學組件，其特征在于，包括：

權利要求1至4任意一項所述的微透鏡單元；

垂直腔面發射激光器；

所述微透鏡陣列具有陣列球狀光學表面，所述陣列球狀光學表面面向所述垂直腔面發射激光器的出光口；

所述垂直腔面發射激光器通過所述第一焊盤與所述導電膜層電連接。

10.如權利要求9所述的微透鏡光學組件，其特征在于，還包括：底板和支架，所述垂直腔面發射激光器固定在所述底板上，所述微透鏡單元固定在所述支架上，所述底板上位于所述垂直腔面發射激光器的兩側分布有第二焊盤，所述垂直腔面發射激光器與所述導電膜層通過所述第二焊盤和所述第一焊盤電連接。