[發(fā)明專利]氣體流量控制器的校準(zhǔn)方法、校準(zhǔn)系統(tǒng)及進(jìn)氣裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910828034.2
• 申請日: 2019-09-03
• 公開（公告）號: CN110571171B
• 公開（公告）日: 2022-05-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 韓笑娜;姜宏偉;陳慶
• 申請（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;G05D7/06
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張?zhí)焓?/td>

1.一種氣體流量控制器的校準(zhǔn)方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟：

S1，接收用戶輸入的所述氣體流量控制器的氣體流量設(shè)定值，向所述氣體流量控制器輸出所述氣體流量設(shè)定值；

S2，通過氣體流量傳感器檢測所述氣體流量控制器所在管路的實(shí)際氣體流量值；

S3，判斷所述氣體流量設(shè)定值與所述實(shí)際氣體流量值的差值的絕對值是否小于或等于預(yù)設(shè)閾值；若是，根據(jù)預(yù)先建立的補(bǔ)償關(guān)系獲取與所述氣體流量設(shè)定值對應(yīng)的氣體流量補(bǔ)償值，并向所述氣體流量控制器輸出所述氣體流量補(bǔ)償值；若否，進(jìn)行報(bào)警；

其中，所述補(bǔ)償關(guān)系用于表示所述氣體流量控制器在其量程范圍內(nèi)的不同氣體流量設(shè)定值和與之一一對應(yīng)地氣體流量補(bǔ)償值的對應(yīng)關(guān)系；每個(gè)所述氣體流量補(bǔ)償值為使所述氣體流量控制器所在管路的實(shí)際氣體流量值等于所述氣體流量設(shè)定值時(shí)，向所述氣體流量控制器輸出的實(shí)際氣體流量值。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體流量控制器的校準(zhǔn)方法，其特征在于，所述步驟S1，進(jìn)一步包括以下步驟：

S11，接收到用戶輸入的所述氣體流量控制器的所述氣體流量設(shè)定值，判斷所述氣體流量設(shè)定值是否在所述氣體流量控制器的量程范圍內(nèi)；若是，執(zhí)行步驟S12；若否，結(jié)束流程；

S12：向所述氣體流量控制器輸出所述氣體流量設(shè)定值，執(zhí)行步驟S2。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的氣體流量控制器的校準(zhǔn)方法，其特征在于，通過以下步驟建立所述補(bǔ)償關(guān)系：

S01，按從小到大的順序依次在所述氣體流量控制器的量程范圍內(nèi)選取N個(gè)所述氣體流量設(shè)定值；

S02，通過所述氣體流量傳感器檢測與第i個(gè)所述氣體流量設(shè)定值相對應(yīng)的所述氣體流量控制器所在管路的實(shí)際氣體流量值，i＝1,2,...,N，N為所述氣體流量設(shè)定值的總數(shù)；

S03，計(jì)算第i個(gè)所述氣體流量設(shè)定值和與其對應(yīng)的所述實(shí)際氣體流量值的差值的絕對值，并判斷該差值的絕對值是否超過誤差允許范圍，若否，則調(diào)整所述氣體流量控制器輸出的氣體流量值，直至所述氣體流量控制器所在管路的實(shí)際氣體流量值等于第i個(gè)所述氣體流量設(shè)定值，并將此時(shí)所述氣體流量控制器輸出的氣體流量值設(shè)置為與第i個(gè)所述氣體流量設(shè)定值對應(yīng)的所述氣體流量補(bǔ)償值，且記錄；

S04，判斷i是否等于N，若是，則進(jìn)行步驟S05；若否，則使i＝i+1，并返回所述步驟S02；

S05，根據(jù)N個(gè)所述氣體流量設(shè)定值和與之一一對應(yīng)的所述氣體流量補(bǔ)償值進(jìn)行線性擬合，獲得所述N個(gè)所述氣體流量設(shè)定值和與之一一對應(yīng)的所述氣體流量補(bǔ)償值之間的函數(shù)關(guān)系，將所述函數(shù)關(guān)系作為所述補(bǔ)償關(guān)系。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的氣體流量控制器的校準(zhǔn)方法，其特征在于，在所述步驟S05中，采用最小二乘法的方式進(jìn)行線性擬合。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣體流量控制器的校準(zhǔn)方法，其特征在于，第i個(gè)所述流量設(shè)定值的大小滿足以下公式：

S_(i)＝S_max*i/10

其中，S_(i)為第i個(gè)所述流量設(shè)定值；S_max為所述氣體流量控制器的量程的最大流量值。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的氣體流量控制器的校準(zhǔn)方法，其特征在于，在所述步驟S2之后，且所述步驟S3之前，還包括步驟S4：

S4：向所述氣體流量控制器輸出取值為0的氣體流量值。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的氣體流量控制器的校準(zhǔn)方法，其特征在于，在所述步驟S03中，若第i個(gè)所述氣體流量設(shè)定值和與其對應(yīng)的所述實(shí)際氣體流量值的差值的絕對值超過誤差允許范圍，則進(jìn)行報(bào)警。