[發明專利]光電晶體管及其制作方法

在審

• 申請號: 201910817838.2
• 申請日: 2019-08-30
• 公開（公告）號: CN111883598A
• 公開（公告）日: 2020-11-03
• 發明（設計）人: 柯秋壇
• 申請（專利權）人: 廣東聚華印刷顯示技術有限公司
• 主分類號: H01L31/0224
• 分類號: H01L31/0224;H01L31/0232;H01L31/101;H01L31/18;H01L51/44
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 杜寒宇

1.一種光電晶體管，其特征在于，包括基板、柵極層、柵極絕緣層以及有源層；所述柵極層設置在所述基板上，所述柵極絕緣層設置在所述柵極層遠離所述基板的一側，所述柵極絕緣層含有絕緣材料和光致變色材料，所述有源層設置在所述柵極絕緣層遠離所述柵極層的一側。

2.如權利要求1所述的光電晶體管，其特征在于，所述柵極絕緣層包括以所述絕緣材料為基體、并摻雜有所述光致變色材料的混合材料層。

3.如權利要求2所述的光電晶體管，其特征在于，在所述混合材料層中，所述絕緣材料和所述光致變色材料的質量之比為1:1～19:1。

4.如權利要求1所述的光電晶體管，其特征在于，所述柵極絕緣層包括絕緣材料層和光致變色材料層，所述光致變色材料層設置在所述有源層與所述絕緣材料層之間。

5.如權利要求1所述的光電晶體管，其特征在于，所述柵極絕緣層包括絕緣材料層和光致變色材料層，所述光致變色材料層設置在所述絕緣材料層與所述柵極層之間。

6.如權利要求4或5所述的光電晶體管，其特征在于，所述光致變色材料層的厚度為10nm～50nm。

7.如權利要求1～5任一項所述的光電晶體管，其特征在于，還包括網狀源極和漏極，所述網狀源極設置在所述有源層和所述柵極絕緣層之間，所述漏極設置在所述有源層的遠離所述柵極絕緣層的一側。

8.如權利要求1～5任一項所述的光電晶體管，其特征在于，所述光致變色材料選自螺吡喃類化合物、螺惡嗪類化合物、偶氮化合物、二芳基乙烯類化合物和多環醌類化合物中的一種或多種。

9.如權利要求1～5任一項所述的光電晶體管，其特征在于，所述絕緣材料選自有機聚合物材料、無機氧化物材料和鐵電材料中的一種或多種。

10.一種光電晶體管的制作方法，其特征在于，包括以下步驟：

提供或制備表面設有柵極層的基板；

在所述柵極層遠離所述基板的一側制作柵極絕緣層，所述柵極絕緣層含有絕緣材料和光致變色材料；

在所述柵極絕緣層遠離所述柵極層的一側制作有源層。

11.如權利要求10所述的制作方法，其特征在于，在所述柵極層遠離所述基板的一側制作柵極絕緣層包括：

將所述絕緣材料和所述光致變色材料一同溶解于溶劑中形成混合液；

將所述混合液涂布于所述柵極層上，干燥形成混合材料層。

12.如權利要求10所述的制作方法，其特征在于，所述在所述柵極層遠離所述基板的一側制作柵極絕緣層包括：

在所述柵極層上采用絕緣材料制作絕緣材料層；

在所述絕緣材料層上采用光致變色材料制作光致變色材料層。

13.如權利要求10所述的制作方法，其特征在于，所述在所述柵極層遠離所述基板的一側制作柵極絕緣層包括：

在所述柵極層上采用光致變色材料制作光致變色材料層；

在光致變色材料層上采用絕緣材料制作絕緣材料層。