[發(fā)明專(zhuān)利]一種無(wú)掩模激光直寫(xiě)光刻設(shè)備在生產(chǎn)片對(duì)卷時(shí)的對(duì)準(zhǔn)方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910815576.6
• 申請(qǐng)日: 2019-08-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110632826B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-12-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 董帥;謝傳明
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 合肥芯碁微電子裝備股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/20
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/20;G03F7/22
• 代理公司: 合肥天明專(zhuān)利事務(wù)所(普通合伙) 34115
• 代理人: 苗娟

1.一種無(wú)掩模激光直寫(xiě)光刻設(shè)備在生產(chǎn)片對(duì)卷時(shí)的對(duì)準(zhǔn)方法，基于卷對(duì)卷無(wú)掩模激光直寫(xiě)光刻設(shè)備，其特征在于，包括以下步驟：

在片對(duì)卷的生產(chǎn)模式下，自動(dòng)搜索對(duì)位靶標(biāo)后開(kāi)始對(duì)準(zhǔn)；

使用上一片的對(duì)準(zhǔn)結(jié)果，計(jì)算出累計(jì)進(jìn)板誤差，自動(dòng)修正下一片的對(duì)位參數(shù)后再執(zhí)行曝光過(guò)程；

所述步驟具體包括：

S100、基于片對(duì)卷生產(chǎn)模式，每片基板上設(shè)置四個(gè)對(duì)位靶標(biāo)，對(duì)位靶標(biāo)和曝光圖形資料已經(jīng)提前錄入到設(shè)備的料號(hào)數(shù)據(jù)庫(kù)中，每個(gè)對(duì)位靶標(biāo)的坐標(biāo)與曝光圖形在同一坐標(biāo)系中；

S200、搜索靶點(diǎn)，卷對(duì)卷無(wú)掩模激光直寫(xiě)光刻設(shè)備根據(jù)數(shù)據(jù)庫(kù)中所保存的靶點(diǎn)信息，用對(duì)準(zhǔn)相機(jī)依次搜索靶點(diǎn)的位置，如果是第一次曝光，則記n等于1，轉(zhuǎn)到步驟S300，否者執(zhí)行步驟S400進(jìn)行自動(dòng)搜索；

S300、使用對(duì)準(zhǔn)相機(jī)沿Y方向在設(shè)定范圍內(nèi)搜索第一個(gè)對(duì)位靶標(biāo)，搜索到第一個(gè)對(duì)位靶標(biāo)后，根據(jù)四個(gè)對(duì)位靶標(biāo)之間的相對(duì)位置關(guān)系計(jì)算出另外三個(gè)靶標(biāo)的估算位置，然后再將對(duì)準(zhǔn)相機(jī)移動(dòng)到相應(yīng)估算位置上抓取另外三個(gè)對(duì)位靶標(biāo)的精確位置；

最終得到B1n(X1,Y1)、B2n(X2,Y2)和B3n(X3,Y3)、An(X,Y)四個(gè)相對(duì)于吸盤(pán)坐標(biāo)系的精確靶點(diǎn)；

S400、根據(jù)上一次對(duì)準(zhǔn)時(shí)修改的參數(shù)，相機(jī)從坐標(biāo)(PanelLeft，PanelBottom)處沿Y方向直接移動(dòng)至左上角靶標(biāo)上提取坐標(biāo)值，最終依次得到B1n(X1,Y1)、B2n(X2,Y2)和B3n(X3,Y3)、An(X,Y)四個(gè)精確的坐標(biāo)值；

S500、自動(dòng)修改參數(shù)，記錄左下角的靶標(biāo)An(X,Y)，記左邊距為PanelLeft，底邊距為PanelBottom，令PanelLeft＝X；PanelBottom＝Y(jié)；

S600、開(kāi)始對(duì)準(zhǔn)，根據(jù)自動(dòng)搜索出來(lái)的各個(gè)靶標(biāo)，將曝光圖形定位于曝光片上；

S700、通過(guò)曝光部件執(zhí)行曝光過(guò)程，將圖形曝光至靶標(biāo)所定位的曝光片上；

S800、曝光完成后判斷此時(shí)底邊距PanelBottom是否超出一片板子本身的高度，如果未超出則曝光臺(tái)面收片Hn，進(jìn)片Ln，此時(shí)產(chǎn)生的進(jìn)片誤差sn和間隔誤差pn會(huì)在下次曝光進(jìn)行修正，如果已經(jīng)超出，將不再進(jìn)板，繼續(xù)執(zhí)行下一步S900；其中，收片Hn：是指上一次曝光完成后，收卷機(jī)可收進(jìn)的長(zhǎng)度Hn；進(jìn)片Ln：是指上一次曝光完成后，放卷機(jī)可放卷的長(zhǎng)度Ln；

S900、判定n是否為最后一片，若是最后一片則曝光結(jié)束，否則記n＝n+1，重復(fù)執(zhí)行S200至S800，直至用完整卷曝光板材或其他原因終止曝光。