[發明專利]電氣隔離的銷舉升裝置

有效

• 申請號: 201910814277.0
• 申請日: 2019-08-30
• 公開（公告）號: CN110875236B
• 公開（公告）日: 2023-03-31
• 發明（設計）人: M·杜爾;R·羅納;A·施恩莫塞爾;M·阿波洛尼
• 申請（專利權）人: VAT控股公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/68
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 王小東;黃綸偉

1.一種銷舉升裝置(10,40,50,60)，該銷舉升裝置被設計成在可由真空工藝室(4)提供的工藝氣氛區(P)內運動和定位待加工的基片(1)，該銷舉升裝置具有：

? 連接部(31)，該連接部具有設計用于容納設計成接觸并支承所述基片(1)的托銷(7,59)的接合器(32,58,68)，和

? 驅動部(11)，該驅動部具有驅動單元(12)，該驅動單元如此設計且借助移動件(14,44,54)如此與所述接合器(32,58,68)合作，即所述接合器(32,58,68)能從降低的正常位置被受控地移動至移出的承托位置并且能反向移動，在所述降低的正常位置中，所述托銷(7,59)在裝載狀態中處于就其按規定的作用而言基本不起效的狀態，在所述移出的承托位置中，所述托銷(7,59)在裝載狀態中提供其按規定的容納和/或供應所述基片(1)的作用，

其特征是，設有布置在所述驅動部(11)和所述連接部(31)之間且提供在所述驅動部(11)與所述連接部(31)之間的安全電氣隔離的絕緣組件(20)，

所述絕緣組件(20)具有

? 剛性連接至所述驅動部(11)和所述連接部(31)的固定件(22,42,52,62)和

? 能相對于所述驅動部(11)和所述連接部(31)運動的連接件(21,41,51,61)。

2.根據權利要求1所述的銷舉升裝置(10,40,50,60)，

其特征是，

? 所述驅動部(11)和所述連接部(31)分別連接至所述絕緣組件(20)，

? 所述驅動部(11)借助所述絕緣組件(20)處于相對于所述連接部(31)的固定位置，

? 所述驅動部(11)和所述連接部(31)通過由所述絕緣組件(20)提供的實體分隔開而非接觸存在，并且

? 所述驅動部(11)和所述連接部(31)之間的導電通過所述絕緣組件(20)被中斷。

3.根據權利要求1所述的銷舉升裝置(10,40,50,60)，

其特征是，

所述固定件(22,42,52,62)和所述連接件(21,41,51,61)由不導電材料制造。

4.根據權利要求3所述的銷舉升裝置(10,40,50,60)，

其特征是，

所述連接件(21,41,51,61)提供

? 所述移動件(14,44,54)與所述接合器(32,58,68)的合作，或者

? 所述連接件提供所述驅動單元(12)與所述移動件(14,44,54)的間接或直接連接。

5.根據權利要求1所述的銷舉升裝置(10,40,50,60)，

其特征是，

所述連接件(21,41,51,61)能在由所述連接部(31)限定的內腔體(V_i)中通過所述驅動單元(12)沿移動軸線(A)運動。

6.根據權利要求1所述的銷舉升裝置(10,40,50,60)，

其特征是，

所述連接件(21,41,51,61)在所述降低的正常位置中接觸所述固定件(22,42,52,62)并且在所述移出的承托位置中相對于所述固定件(22,42,52,62)處于非接觸狀態。

7.根據權利要求5所述的銷舉升裝置(10,40,50,60)，

其特征是，

所述連接件以接合套(21,51,61)的形式形成，其中，所述移動件(14,54)至少部分容納在所述接合套中，并且所述接合套(21,51,61)至少部分延伸入所述接合器(32,58,68)的接合凹口中并與所述接合凹口連接。

8.根據權利要求7所述的銷舉升裝置(10,40,50,60)，

其特征是，

所述移動件以滑塊(14,54)形式構成，該滑塊與所述驅動單元的絲杠(13,53)相連并且能沿所述絲杠(13,53)線性運動，其中，所述絲杠(13,53)延伸入所述連接部(31)的所述內腔體(V_i)中。