[發(fā)明專(zhuān)利]一種多工況氬氣回收裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910812047.0
• 申請(qǐng)日: 2019-08-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110451467B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-09-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊開(kāi)喬;劉欣;衛(wèi)育;楊娟
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 蘇州成于思?xì)怏w科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C01B23/00
• 分類(lèi)號(hào): C01B23/00
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種多工況氬氣回收裝置，其特征在于：它包含客戶(hù)設(shè)備(1)、前級(jí)增壓裝置(2)、純化裝置(3)、后級(jí)增壓裝置(4)、一號(hào)氣動(dòng)閥(V1)、二號(hào)氣動(dòng)閥(V2)、一號(hào)球閥(V3)、三號(hào)氣動(dòng)閥(V4)、壓力調(diào)節(jié)閥(V5)、二號(hào)球閥(V6)、四號(hào)氣動(dòng)閥(V7)；客戶(hù)設(shè)備(1)的出氣端與前級(jí)增壓裝置(2)的進(jìn)氣端連接，且該連接管路上串聯(lián)有二號(hào)氣動(dòng)閥(V2)，前級(jí)增壓裝置(2)的出氣端與純化裝置(3)的進(jìn)氣端連接，純化裝置(3)的出氣端與后級(jí)增壓裝置(4)的進(jìn)氣端連接，后級(jí)增壓裝置(4)的出氣端與客戶(hù)設(shè)備的進(jìn)氣端連接，且該連接管路上串聯(lián)有一號(hào)氣動(dòng)閥(V1)；上述一號(hào)氣動(dòng)閥(V1)的進(jìn)氣端與純化裝置(3)的出氣端之間利用管路連接有四號(hào)氣動(dòng)閥(V7)，二號(hào)氣動(dòng)閥(V2)的出氣端與四號(hào)氣動(dòng)閥(V7)的進(jìn)氣端之間利用管道從左至右依次串聯(lián)有一號(hào)球閥(V3)、三號(hào)氣動(dòng)閥(V4)、壓力調(diào)節(jié)閥(V5)和二號(hào)球閥(V6)；

上述前級(jí)增壓裝置(2)包含一號(hào)過(guò)濾器(5)、回收氬氣儲(chǔ)罐(6)、前級(jí)變頻增壓機(jī)(7)、前級(jí)定頻增壓機(jī)(8)、氬氣緩沖罐(9)；其中一號(hào)過(guò)濾器(5)的進(jìn)氣端與二號(hào)氣動(dòng)閥(V2)的出氣端連接，一號(hào)過(guò)濾器(5)的出氣端與回收氬氣儲(chǔ)罐(6)的進(jìn)氣端連接，回收氬氣儲(chǔ)罐(6)的出氣端分別與前級(jí)變頻增壓機(jī)(7)和前級(jí)定頻增壓機(jī)(8)的進(jìn)氣端連接，且連接管路上均串聯(lián)有球閥，前級(jí)變頻增壓機(jī)(7)的出氣端以及前級(jí)定頻增壓機(jī)(8)的出氣端均與氬氣緩沖罐(9)的進(jìn)氣端連接，且連接管路上均串聯(lián)有球閥；

上述純化裝置(3)包含換熱器(10)、除氧器(11)、冷卻器(12)、一號(hào)干燥塔(13)、二號(hào)干燥塔(14)、二號(hào)過(guò)濾器(15)；換熱器(10)的一進(jìn)氣端與氬氣緩沖罐(9)的出氣端連接，且連接管路上串聯(lián)有球閥，換熱器(10)的一出氣端與除氧器(11)的進(jìn)氣端連接，除氧器(11)的出氣端與換熱器(10)的另一進(jìn)氣端連接，換熱器(10)的另一出氣端與冷卻器(12)的進(jìn)氣端連接，冷卻器(12)的出氣端與分別與一號(hào)干燥塔(13)和二號(hào)干燥塔(14)的進(jìn)氣端連接，且連接管路上均串聯(lián)有氣動(dòng)閥；一號(hào)干燥塔(13)和二號(hào)干燥塔(14)的出氣端均與二號(hào)過(guò)濾器(15)的進(jìn)氣端連接，且連接管路上均串聯(lián)有氣動(dòng)閥；

上述后級(jí)增壓裝置(4)包含高純氬緩沖罐(16)、三號(hào)過(guò)濾器(17)、后級(jí)變頻增壓機(jī)(18)、后級(jí)定頻增壓機(jī)(19)、高壓緩沖罐(20)、四號(hào)過(guò)濾器(21)；上述二號(hào)過(guò)濾器(15)出氣端與高純氬緩沖罐(16)的進(jìn)氣端連接，其該連接管路上串聯(lián)有氣動(dòng)閥和球閥，高純氬緩沖罐(16)的出氣端與三號(hào)過(guò)濾器(17)的進(jìn)氣端連接，三號(hào)過(guò)濾器(17)的出氣端分別與后級(jí)變頻增壓機(jī)(18)的進(jìn)氣端和后級(jí)定頻增壓機(jī)(19)的進(jìn)氣端連接，且連接管路上均串聯(lián)有球閥，后級(jí)變頻增壓機(jī)(18)的出氣端和后級(jí)定頻增壓機(jī)(19)的出氣端均與高壓緩沖罐(20)的進(jìn)氣端連接，且連接管路上均串聯(lián)有球閥，高壓緩沖罐(20)的出氣端與四號(hào)過(guò)濾器(21)的進(jìn)氣端連接，四號(hào)過(guò)濾器(21)的出氣端與客戶(hù)設(shè)備(1)的進(jìn)氣端連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多工況氬氣回收裝置，其特征在于：所述的客戶(hù)設(shè)備(1)的進(jìn)氣端與外部補(bǔ)氣設(shè)備出氣端連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多工況氬氣回收裝置，其特征在于：所述的一號(hào)干燥塔(13)和二號(hào)干燥塔(14)的進(jìn)氣端均利用管道與連接在二號(hào)過(guò)濾器(15)出氣端上的放空管連接，且連接管路上均串聯(lián)有氣動(dòng)閥。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多工況氬氣回收裝置，其特征在于：所述的二號(hào)過(guò)濾器(15)的出氣端利用管道分別與一號(hào)干燥塔(13)和二號(hào)干燥塔(14)出氣端連接，且連接管路上均串聯(lián)有氣動(dòng)閥。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多工況氬氣回收裝置，其特征在于：它的工作原理：

客戶(hù)設(shè)備(1)正常運(yùn)行用氣的情況下：一號(hào)氣動(dòng)閥(V1)和二號(hào)氣動(dòng)閥(V2)開(kāi)啟，排放的氬氣經(jīng)過(guò)前級(jí)增壓裝置(2)初步過(guò)濾、增壓至0.8MPa緩存，隨后進(jìn)入純化裝置(3)除去氬氣中雜質(zhì)氣體，再由后級(jí)增壓裝置(4)增壓到5MPa，這時(shí)高壓高純度的氬氣經(jīng)一號(hào)氣動(dòng)閥(V1)進(jìn)入客戶(hù)設(shè)備(1)，以供使用；

當(dāng)客戶(hù)設(shè)備(1)正常運(yùn)行，但短時(shí)換料不用氣時(shí)：這時(shí)將一號(hào)氣動(dòng)閥(V1)和二號(hào)氣動(dòng)閥(V2)關(guān)閉，打開(kāi)三號(hào)氣動(dòng)閥(V4)，氬氣經(jīng)過(guò)壓力調(diào)節(jié)閥(V5)調(diào)節(jié)壓力至常壓，然后再一次經(jīng)過(guò)前級(jí)增壓裝置(2)、純化裝置(3)、后級(jí)增壓裝置(4)進(jìn)行氣體自循環(huán)；同時(shí)將前級(jí)變頻增壓機(jī)(7)和后級(jí)變頻增壓機(jī)(18)頻率調(diào)至50％；

當(dāng)操作人員午休，客戶(hù)設(shè)備(1)停機(jī)，2小時(shí)內(nèi)不用氣時(shí)：一號(hào)氣動(dòng)閥(V1)和二號(hào)氣動(dòng)閥(V2)關(guān)閉，同時(shí)打開(kāi)三號(hào)氣動(dòng)閥(V4)，氬氣經(jīng)過(guò)壓力調(diào)節(jié)閥(V5)調(diào)節(jié)壓力至常壓，然后再一次經(jīng)過(guò)前級(jí)增壓裝置(2)、純化裝置(3)、后級(jí)增壓裝置(4)進(jìn)行氣體自循環(huán)；同時(shí)關(guān)閉前級(jí)變頻增壓機(jī)(7)和后級(jí)變頻增壓機(jī)(18)，并開(kāi)啟前級(jí)定頻增壓機(jī)(8)和后級(jí)定頻增壓機(jī)(19)；

當(dāng)操作人員夜間休息，客戶(hù)設(shè)備(1)需停機(jī)8小時(shí)不用氣時(shí)：一號(hào)氣動(dòng)閥(V1)和二號(hào)氣動(dòng)閥(V2)關(guān)閉，同時(shí)打開(kāi)三號(hào)氣動(dòng)閥(V4)和四號(hào)氣動(dòng)閥(V7)，后級(jí)增壓裝置(4)停機(jī)，氬氣經(jīng)過(guò)壓力調(diào)節(jié)閥(V5)調(diào)節(jié)壓力至常壓，然后再一次經(jīng)過(guò)前級(jí)增壓裝置(2)和純化裝置(3)進(jìn)行氣體自循環(huán)；同時(shí)關(guān)閉前級(jí)變頻增壓機(jī)(7)，并開(kāi)啟前級(jí)定頻增壓機(jī)(8)；

早上操作人員上班，啟動(dòng)客戶(hù)設(shè)備(1)前2小時(shí)：關(guān)閉四號(hào)氣動(dòng)閥(V7)，氬氣再次經(jīng)過(guò)后級(jí)增壓裝置(4)進(jìn)行增壓緩存，并且關(guān)閉前級(jí)定頻增壓機(jī)(8)，開(kāi)啟前級(jí)變頻增壓機(jī)(7)和后級(jí)變頻增壓機(jī)(18)，同時(shí)將前級(jí)變頻增壓機(jī)(7)和后級(jí)變頻增壓機(jī)(18)頻率調(diào)至50％，保證客戶(hù)設(shè)備(1)開(kāi)機(jī)時(shí)，氬氣有足夠的壓力與氣量。