[發(fā)明專利]一種用于制定測(cè)試配置文件的工具及其應(yīng)用

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910808981.5
• 申請(qǐng)日: 2019-08-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112445694A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-03-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李成霞;成家柏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 杭州廣立微電子股份有限公司
• 主分類號(hào): G06F11/36
• 分類號(hào): G06F11/36;G01R31/26;H01L21/66
• 代理公司: 杭州豐禾專利事務(wù)所有限公司 33214
• 代理人: 王靜

1.一種用于制定測(cè)試配置文件的工具，其特征在于，包括創(chuàng)建模塊、編輯模塊和輸入輸出模塊；

所述創(chuàng)建模塊，能添加測(cè)試配置項(xiàng)；所述測(cè)試配置項(xiàng)用于測(cè)試機(jī)，進(jìn)行測(cè)試條件的設(shè)置和測(cè)試計(jì)劃的選定；

所述編輯模塊，能對(duì)測(cè)試配置項(xiàng)進(jìn)行修改、復(fù)制和刪除操作；

所述輸入輸出模塊，能對(duì)測(cè)試配置文件進(jìn)行導(dǎo)入和導(dǎo)出操作；所述測(cè)試配置文件中包括若干條測(cè)試配置項(xiàng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于制定測(cè)試配置文件的工具，其特征在于，所述測(cè)試配置項(xiàng)中包括信息：

識(shí)別ID：唯一的用于標(biāo)識(shí)的ID；

測(cè)試算法：獲取測(cè)試算法，定義測(cè)試的算法主體；

測(cè)試計(jì)劃：獲取測(cè)試計(jì)劃，提供晶圓信息和測(cè)試項(xiàng)；

晶圓說(shuō)明信息：從測(cè)試計(jì)劃提供的晶圓信息中選定晶粒和模塊；

測(cè)試說(shuō)明信息：從測(cè)試計(jì)劃提供的測(cè)試項(xiàng)中選定測(cè)試項(xiàng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于制定測(cè)試配置文件的工具，其特征在于，所述測(cè)試配置項(xiàng)中還包括探針臺(tái)晶圓產(chǎn)品信息：用于確定探針臺(tái)識(shí)別的晶圓型號(hào)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于制定測(cè)試配置文件的工具，其特征在于，所述測(cè)試配置項(xiàng)中還包括失效閾值信息：獲取失效閾值，用于篩選測(cè)試結(jié)果參數(shù)以區(qū)別顯示失效參數(shù)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于制定測(cè)試配置文件的工具，其特征在于，所述的工具能對(duì)測(cè)試配置項(xiàng)的信息進(jìn)行核查，當(dāng)檢查到存在問(wèn)題時(shí)，進(jìn)行問(wèn)題提示。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于制定測(cè)試配置文件的工具，其特征在于，所述編輯模塊還能對(duì)測(cè)試配置項(xiàng)進(jìn)行應(yīng)用順序的排序操作。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于制定測(cè)試配置文件的工具，其特征在于，所述輸入輸出模塊支持導(dǎo)入和導(dǎo)出不同格式的測(cè)試配置文件，以匹配不同的測(cè)試機(jī)臺(tái)；輸入輸出模塊還提供測(cè)試配置文件的格式編輯環(huán)境，格式編輯完成后即支持所編輯格式的測(cè)試配置文件導(dǎo)出。

8.一種制定測(cè)試配置文件的方法，其特征在于，先制定好測(cè)試算法和測(cè)試計(jì)劃，再利用權(quán)利要求1至7任意一項(xiàng)所述用于制定測(cè)試配置文件的工具，實(shí)現(xiàn)測(cè)試配置文件的制定。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種制定測(cè)試配置文件的方法，其特征在于，所述測(cè)試計(jì)劃使用生成測(cè)試計(jì)劃的工具進(jìn)行制定，所述生成測(cè)試計(jì)劃的工具用于制定測(cè)試計(jì)劃所需的說(shuō)明文件，并編譯生成測(cè)試計(jì)劃；所述測(cè)試計(jì)劃所需的說(shuō)明文件包括晶圓信息說(shuō)明文件和測(cè)試說(shuō)明文件，用于快速生成測(cè)試說(shuō)明文件的工具集成在所述生成測(cè)試計(jì)劃的工具中，用于制定測(cè)試說(shuō)明文件；

其中，所述的用于快速生成測(cè)試說(shuō)明文件的工具包括測(cè)試算法模塊、設(shè)計(jì)參數(shù)模塊、模板文件模塊和測(cè)試說(shuō)明文件生成模塊；

所述測(cè)試算法模塊，能導(dǎo)入測(cè)試算法文件，提供測(cè)試算法供模板文件選擇；

所述設(shè)計(jì)參數(shù)模塊，能導(dǎo)入設(shè)計(jì)參數(shù)文件；設(shè)計(jì)參數(shù)文件中包括若干行設(shè)計(jì)參數(shù)，每行設(shè)計(jì)參數(shù)包括待測(cè)器件的信息和待測(cè)器件在測(cè)試芯片中的參數(shù)；

所述模板文件模塊，提供模板文件編輯環(huán)境，能通過(guò)手動(dòng)編輯獲取模板項(xiàng)或者導(dǎo)入模板文件獲取模板項(xiàng)；模板文件中包括若干條模板項(xiàng)，每條模板項(xiàng)選擇測(cè)試算法，并提供用于生成測(cè)試項(xiàng)中信息的賦值關(guān)系式；

所述測(cè)試說(shuō)明文件生成模塊，能根據(jù)模板項(xiàng)選取對(duì)應(yīng)的測(cè)試算法，并根據(jù)模板項(xiàng)中的賦值關(guān)系式和導(dǎo)入的設(shè)計(jì)參數(shù)文件生成若干條測(cè)試項(xiàng)，實(shí)現(xiàn)測(cè)試說(shuō)明文件的生成；

其中，所述測(cè)試說(shuō)明文件中包括若干條測(cè)試項(xiàng)，每條測(cè)試項(xiàng)用于定義對(duì)待測(cè)器件執(zhí)行一項(xiàng)電性測(cè)試的條件信息。

10.一種測(cè)試機(jī)控制系統(tǒng)，用于控制測(cè)試機(jī)對(duì)待測(cè)器件進(jìn)行電性測(cè)試，其特征在于，利用權(quán)利要求1至7任意一項(xiàng)所述用于制定測(cè)試配置文件的工具制定測(cè)試配置文件后，所述測(cè)試機(jī)控制系統(tǒng)能獲取測(cè)試配置文件，通過(guò)應(yīng)用測(cè)試配置文件中的測(cè)試配置項(xiàng)自動(dòng)設(shè)置測(cè)試條件和選定測(cè)試計(jì)劃。