[發明專利]N型太陽能電池硼擴SE結構的制備方法

在審

• 申請號: 201910807664.1
• 申請日: 2019-08-29
• 公開（公告）號: CN110707178A
• 公開（公告）日: 2020-01-17
• 發明（設計）人: 左嚴嚴;包健;徐冠群;廖暉;李明;白明華;張昕宇;金浩
• 申請（專利權）人: 晶科能源科技(海寧)有限公司;浙江晶科能源有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/223
• 代理公司: 33304 杭州永航聯科專利代理有限公司
• 代理人: 侯蘭玉

本發明涉及一種N型太陽能電池，特別涉及一種N型太陽能電池硼擴SE結構的制備方法，該方法包括如下步驟：利用印刷含有HF的刻蝕漿料的方式，在N型硅片硼擴面的電極柵線區域刻蝕掉BSG，得到刻蝕圖形，再進行二次硼擴散，在電極區域形成硼的重摻雜，在電極之間形成硼的輕摻雜，得到N型太陽能電池硼擴SE結構。含有HF的刻蝕漿料的用于刻蝕去除BSG。本發明將選擇性發射極技術應用于N型電池的生產中，通過在硼擴面印刷刻蝕漿料，去除電極柵線區域的BSG，再進行二次硼擴散，在電極接觸部分進行硼的重摻雜，在電極之間進行硼的輕摻雜，實現對發射區的優化，提高N型太陽能電池的光電轉化效率。

技術領域

本發明涉及一種N型太陽能電池，特別涉及一種制備N型太陽能電池硼擴SE結構的方法，屬于晶體硅太陽能電池技術領域。

背景技術

隨著化石能源的逐漸枯竭，清潔能源愈發受到人們的重視。光伏發電技術作為利用太陽能資源的主流技術，已經走向市場化和商業化。為更進一步推進光伏電池產品的利用和推廣，需要逐步提升電池效率，降低度電成本。晶體硅太陽能電池的發展方向是降低生產成本和提升轉化效率。眾多公司為制備高效電池，增強企業競爭力，紛紛采用新技術來提升電池的光電轉換效率。

近年來，光伏領域多家企業為提升公司的技術水平，增強企業產品的競爭力，著力研究開發高效晶硅電池。N型太陽能電池因光致衰減低，穩定性好，雙面發電等優良特性而受到廣泛關注。為實現太陽能電池的高效率，人們設計多種電池結構，其中一種是選擇性發射極結構。N型電池的制備引入選擇性發射極技術，通過在電極接觸部分進行重摻雜，在電極之間進行輕摻雜，實現對發射區的優化，這樣可以降低擴散層的復合，減少前金屬電極與硅片的接觸電阻，以增加太陽能電池的輸出電流和電壓，從而增加光電轉化效率。

人們對N型太陽能電池的研究熱度不減，但對于轉化效率的提升，進展緩慢且成效較低。選擇性發射極技術的應用能夠實現太陽能電池的高效率。選擇性發射極太陽能電池具有自身獨特的電池結構特點，傳統的實現工藝是采用光刻膜技術、反腐蝕技術來實現的，但過分復雜的工藝影響工藝效率，提高了生產成本，限制了其工業化的應用。

發明內容

為了制備N型高效電池，進一步提升N型太陽能電池的光電轉化效率，本發明提供了一種N型太陽能電池硼擴SE（選擇性發射極Selective Emitter，簡稱SE）結構的制備方法，該方法可提升N型太陽能電池的光電轉化效率，操作簡單、易行，便于產業化。

本發明解決其技術問題所采用的技術方案是：

一種N型太陽能電池硼擴SE結構的制備方法，該方法包括如下步驟：利用印刷含有HF的刻蝕漿料的方式，在N型硅片硼擴面的電極柵線區域刻蝕掉BSG，得到刻蝕圖形，再進行二次硼擴散，在電極區域形成硼的重摻雜，在電極之間形成硼的輕摻雜，得到N型太陽能電池硼擴SE結構。含有HF的刻蝕漿料的用于刻蝕去除BSG。

本發明將選擇性發射極技術應用于N型電池的生產中，通過在硼擴面印刷刻蝕漿料，去除電極柵線區域的BSG，再進行二次硼擴散，在電極接觸部分進行硼的重摻雜，在電極之間進行硼的輕摻雜，實現對發射區的優化，提高N型太陽能電池的光電轉化效率。

作為優選，該方法包括如下步驟：

步驟1，制絨后的N型硅片進行一次硼擴散，

步驟2，印刷刻蝕漿料，利用網版印刷的方式在N型硅片表面預設柵線區域涂覆含有HF的刻蝕漿料；網版設計與電極印刷網版互補，鏤空預設柵線部分，在硅片表面形成具有相應圖形的刻蝕漿料層，將與刻蝕漿料接觸的硅片上的BSG和氧化層腐蝕去除；

步驟3，清洗刻蝕漿料，待刻蝕完畢后，清洗去除掉刻蝕漿料，得到表面圖形化的硅片；