[發(fā)明專利]涂布系統(tǒng)和涂布方法

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• 申請日: 2019-08-28
• 公開（公告）號: CN110639724A
• 公開（公告）日: 2020-01-03
• 發(fā)明（設計）人: 劉達;許曉偉
• 申請（專利權）人: 昆山工研院新型平板顯示技術中心有限公司;昆山國顯光電有限公司
• 主分類號: B05B12/08
• 分類號: B05B12/08;B05B12/10;B05B9/04
• 代理公司: 31260 上海晨皓知識產權代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 成麗杰

本發(fā)明實施例涉及顯示技術領域，公開了一種涂布系統(tǒng)，包括：涂布噴嘴，用于向基板噴灑涂布液；粘度探測器，用于檢測涂布液的粘度值；涂布控制器，涂布控制器連接粘度探測器及涂布噴嘴，涂布控制器用于根據(jù)粘度探測器測得的粘度值調整涂布噴嘴的涂布液的噴出量。本發(fā)明實施方式中提供一種涂布系統(tǒng)和涂布方法，使得利用該涂布系統(tǒng)和涂布方法得到的膜層厚度均一性較佳。

技術領域

本發(fā)明實施例涉及顯示技術領域，特別涉及了涂布系統(tǒng)和涂布方法。

背景技術

在顯示面板的生產過程中，通常要采用涂布系統(tǒng)在基板上涂布形成襯底、光刻膠膜層等各種膜層。在具體生產中，涂布裝置通常采用噴嘴在基板上涂布相應的涂布液，例如：襯底材料、光刻膠等。涂布裝置的基本工作過程為：噴嘴以一定速度沿基板表面從基板的一側邊緣移動到相對的另一側邊緣，同時，噴嘴中以一定的速度吐出涂布液，隨著噴嘴的移動，涂布液就能涂布到基板的表面以形成相應的膜層。

然而，現(xiàn)有的涂布系統(tǒng)存在膜層厚度不均一的問題。

發(fā)明內容

本發(fā)明實施方式的目的在于提供一種涂布系統(tǒng)和涂布方法，使得利用該涂布系統(tǒng)和涂布方法得到的膜層厚度均一性較佳。

為解決上述技術問題，本發(fā)明的實施方式提供了一種涂布系統(tǒng)，包括：涂布噴嘴，用于向基板噴灑涂布液；粘度探測器，用于檢測涂布液的粘度值；涂布控制器，涂布控制器連接粘度探測器及涂布噴嘴，涂布控制器用于根據(jù)粘度探測器測得的粘度值調整涂布噴嘴的涂布液的噴出量。

本發(fā)明的實施方式還提供了一種涂布方法，應用于上述涂布系統(tǒng)，涂布系統(tǒng)包括：涂布噴嘴、粘度探測器、以及連接粘度探測器和涂布噴嘴的涂布控制器；涂布方法包括：利用粘度探測器檢測涂布液的當前粘度值；涂布控制器根據(jù)當前粘度值調整涂布噴嘴的涂布液的噴出量。

另外，涂布噴嘴包括：相對設置的兩個側壁，涂布液從兩個側壁之間噴出；涂布控制器連接涂布噴嘴的兩個側壁；涂布控制器用于調整涂布噴嘴的兩個側壁的間距，以調整涂布噴嘴的涂布液的噴出量。該方案中通過調整涂布噴嘴的兩個側壁的間距調整涂布噴嘴的涂布液的噴出量，給出了一種調整涂布噴嘴的噴出量的具體實現(xiàn)方式。

另外，還包括：與涂布噴嘴連接的供液管道；供液管道用于為涂布噴嘴供給涂布液；涂布控制器通過控制供液管道的供給量，以調整涂布噴嘴的涂布液的噴出量。該方案中通過控制供液管道的供給量來調整涂布液的噴出量，給出了另外一種調整涂布噴嘴的噴出量的具體實現(xiàn)方式。

另外，還包括：連接供液管道及涂布控制器的泵，泵用于將涂布液引至供液管道；涂布控制器還用于調整泵引出涂布液的輸出壓力值，以調整供液管道的供給量。該方案中通過控制泵引出涂布液的輸出壓力值來調整供液管道的供給量，給出了具體調整供液管道供給量的實現(xiàn)方式。

另外，還包括：與涂布噴嘴連接的儲液罐，儲液罐內存儲有涂布液；粘度探測器設置于儲液罐內；優(yōu)選地，粘度探測器為多個，多個粘度探測器分別設置于儲液罐的不同高度。該方案中通過將多個粘度探測器設置在儲液罐的不同高度上，從而檢測不同高度上涂布液的粘度值，使得得到的當前粘度值更加準確。

另外，涂布系統(tǒng)還包括：頻率控制器；頻率控制器連接粘度探測器；頻率控制器用于統(tǒng)計涂布液在歷史涂布過程中的粘度值變化數(shù)據(jù)，并依據(jù)粘度值變化數(shù)據(jù)控制粘度探測器的檢測頻率。該方案中頻率控制器依據(jù)粘度值變化數(shù)據(jù)控制粘度探測器的檢測頻率，使得既能夠保證該涂布系統(tǒng)涂布形成的膜層厚度均一性較佳，又能夠避免粘度探測器多次無用的檢測，降低了涂布系統(tǒng)的整體能耗。