[發(fā)明專利]一種TFT用高純鋁蝕刻液

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910794116.X
• 申請(qǐng)日: 2019-08-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110484920A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-11-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 戈士勇;何珂
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江陰潤(rùn)瑪電子材料股份有限公司
• 主分類號(hào): C23F1/20
• 分類號(hào): C23F1/20
• 代理公司: 32380 江陰市輕舟專利代理事務(wù)所(普通合伙)
• 代理人: 曹鍵<國(guó)際申請(qǐng)>=<國(guó)際公布>=<進(jìn)入國(guó)

本發(fā)明公開(kāi)了一種TFT用高純鋁蝕刻液，其特征在于：配方由80％的磷酸(H₃PO₄)、10％的水(H₂O)、5％的硝酸(N₂O₅)和5％的醋酸(CH₃COOH)所組成。本發(fā)明在現(xiàn)有的設(shè)備的基礎(chǔ)上加裝了新型的混合桶，在混合桶內(nèi)設(shè)置有多個(gè)導(dǎo)熱攪拌棍，導(dǎo)熱攪拌棍可以在攪拌的過(guò)程中通過(guò)工作電機(jī)進(jìn)行加熱工作并且可以有效的轉(zhuǎn)動(dòng)，不僅可以有效的輔助將蝕刻液的生產(chǎn)原料混合在一起，同時(shí)可以對(duì)蝕刻液原料進(jìn)行加熱工作，有效的提高了蝕刻液的混合生產(chǎn)效率，同時(shí)可以有效的提高生產(chǎn)出的蝕刻液的蝕刻工作效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于蝕刻液相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種TFT用高純鋁蝕刻液。

背景技術(shù)

TFT(Thin Film Transistor)是薄膜晶體管的縮寫。蝕刻液是通過(guò)侵蝕材料的特性來(lái)進(jìn)行雕刻的一種液體，從理論上講，凡能氧化鋼而生成可溶性銅鹽的試劑，都可以用來(lái)蝕刻敷銅箔板，但權(quán)衡對(duì)抗蝕層的破壞情況、蝕刻速度，蝕刻系數(shù)、溶銅容量、溶液再生及銅的回收、環(huán)境保護(hù)及經(jīng)濟(jì)效果等方面。

現(xiàn)有的TFT用高純鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置技術(shù)存在以下問(wèn)題：現(xiàn)有的TFT用高純鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置在生產(chǎn)制造的過(guò)程中多簡(jiǎn)單的通過(guò)將TFT用高純鋁蝕刻液的原料混合攪拌在一起，然后通過(guò)生產(chǎn)原料之間的相互反應(yīng)制造產(chǎn)生蝕刻液，不僅生產(chǎn)工作的效率低而且生產(chǎn)出的蝕刻液蝕刻效率較低。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種TFT用高純鋁蝕刻液、生產(chǎn)工藝及其生產(chǎn)裝置以解決上述背景技術(shù)中提出的生產(chǎn)效率較低且產(chǎn)品工作效率較低的的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種TFT用高純鋁蝕刻液，其特征在于：配方由80％的磷酸(H₃PO₄)、10％的水(H₂O)、5％的硝酸(N₂O₅)和5％的醋酸(CH₃COOH)所組成。

生產(chǎn)工藝如下：

步驟一、選取原料，原料包括磷酸(H₃PO₄)、水(H₂O)、硝酸(N₂O₅)和醋酸(CH₃COOH)，使用者在選取原料時(shí)選用高純度無(wú)污染的原料進(jìn)行生產(chǎn)工作；

步驟二、使用者將不同種類的生產(chǎn)原料通過(guò)加料口(2)分別加入四個(gè)儲(chǔ)料桶(8)內(nèi)；

步驟三、使用者將生產(chǎn)裝置和外部工作電源連接，然后使用者啟動(dòng)生產(chǎn)裝置進(jìn)行生產(chǎn)工作；

步驟四、生產(chǎn)完成后，使用者將混合桶內(nèi)生產(chǎn)完成的原料通過(guò)出料口取出然后轉(zhuǎn)移至外部存儲(chǔ)設(shè)備內(nèi)。

一種TFT用高純鋁蝕刻液，采用一種TFT用高純鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置進(jìn)行生產(chǎn)，一種TFT用高純鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置包括底架板和儲(chǔ)料桶，所述底架板的頂部中間左側(cè)位置處設(shè)置有儲(chǔ)料桶，所述儲(chǔ)料桶的頂部位置處設(shè)置有傳輸管，所述傳輸管的頂部位置處與儲(chǔ)料桶相對(duì)應(yīng)的位置處設(shè)置有抽取泵，所述傳輸管的前端中間位置處設(shè)置有固定架，所述傳輸管的另一端位置處設(shè)置在混合桶的頂部左側(cè)位置處，所述混合桶的頂部位置處設(shè)置有工作電機(jī)，所述底架板的底部位置處設(shè)置有腳架。

優(yōu)選的，所述混合桶包括傳動(dòng)軸、導(dǎo)熱攪拌棍、出料口、穩(wěn)定軸和桶壁，所述桶壁的頂部中間位置處設(shè)置有傳動(dòng)軸，所述傳動(dòng)軸的下方位置處設(shè)置有穩(wěn)定軸，所述穩(wěn)定軸的右側(cè)位置處設(shè)置有導(dǎo)熱攪拌棍，所述桶壁的右側(cè)中間偏下位置處設(shè)置有出料口。