[發(fā)明專利]光學(xué)傳感器、光學(xué)傳感系統(tǒng)及其制造方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910774102.1 | 申請日: | 2019-08-21 |
| 公開(公告)號: | CN110473887A | 公開(公告)日: | 2019-11-19 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 范成至;黃振昌;傅同龍;黃郁湘 | 申請(專利權(quán))人: | 神盾股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L27/146 | 分類號: | H01L27/146 |
| 代理公司: | 72003 隆天知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人: | 王宇航;黃艷<國際申請>=<國際公布>= |
| 地址: | 中國臺*** | 國省代碼: | 中國臺灣;TW |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 入射光 光學(xué)傳感器 平行 微透鏡 透明介質(zhì)層 傳感 像素 斜向 正向 光學(xué)傳感系統(tǒng) 光軸 基板 入射 透鏡 傳感目標(biāo) 制造 圖像 外部 | ||
1.一種光學(xué)傳感器,其特征在于,所述的光學(xué)傳感器包括:
一基板,具有多個傳感像素,排列成陣列;
一第一透明介質(zhì)層,位于所述基板的上方;以及
多個微透鏡,排列成陣列,并位于所述第一透明介質(zhì)層上或上方,其中所述多個微透鏡分別將從外界進入所述多個微透鏡的多個平行的正向入射光,通過所述第一透明介質(zhì)層而入射于所述多個傳感像素總數(shù)的一部分或全部的內(nèi)部,并將從外界進入所述多個微透鏡的多個平行的斜向入射光入射于所述多個傳感像素總數(shù)的一部分或全部的外部,借此傳感一目標(biāo)物的一圖像,所述目標(biāo)物產(chǎn)生所述多個平行的正向入射光以及所述多個平行的斜向入射光,所述多個平行的正向入射光平行于所述多個微透鏡的多個光軸,各所述平行的斜向入射光與各所述光軸夾出一個角度。
2.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)傳感器,其特征在于,所述角度介于5度到90度之間。
3.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)傳感器,其特征在于,所述的光學(xué)傳感器還包括:
一介電層組,位于所述基板上并覆蓋所述多個傳感像素;
一第一遮光層,位于所述介電層組上,并具有多個第一光孔,所述多個平行的正向入射光通過所述多個第一光孔,所述多個平行的斜向入射光不通過所述多個第一光孔;以及
一光學(xué)濾波層,位于所述第一遮光層上,并對所述多個平行的正向入射光與所述多個平行的斜向入射光執(zhí)行光線波長過濾動作,其中所述第一透明介質(zhì)層位于所述光學(xué)濾波層上,所述多個微透鏡位于所述第一透明介質(zhì)層上。
4.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)傳感器,其特征在于,所述的光學(xué)傳感器還包括:
一介電層組,位于所述基板上并覆蓋所述多個傳感像素;
一第一遮光層,位于所述介電層組上,并具有多個第一光孔,所述多個平行的正向入射光通過所述多個第一光孔,所述多個平行的斜向入射光不通過所述多個第一光孔;以及
一光學(xué)濾波板,位于所述多個微透鏡的上方,并對所述多個平行的正向入射光與所述多個平行的斜向入射光執(zhí)行光線波長過濾動作,所述多個微透鏡位于所述第一透明介質(zhì)層上。
5.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)傳感器,其特征在于,所述的光學(xué)傳感器還包括:
一透鏡遮光層,位于所述第一透明介質(zhì)層上,以及所述多個微透鏡之間的多個間隙中,以遮蔽從外界進入所述多個間隙中的多個平行的第二斜向入射光免于進入所述第一透明介質(zhì)層及所述多個傳感像素中。
6.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)傳感器,其特征在于,所述的光學(xué)傳感器還包括:
一介電層組,位于所述基板上并覆蓋所述多個傳感像素;
一第一遮光層,位于所述介電層組上,并具有多個第一光孔,所述多個平行的正向入射光通過所述多個第一光孔,所述多個平行的斜向入射光不通過所述多個第一光孔;
一光學(xué)濾波層,位于所述第一遮光層上,并對所述多個平行的正向入射光與所述多個平行的斜向入射光執(zhí)行光線波長過濾動作,其中所述第一透明介質(zhì)層位于所述光學(xué)濾波層上,所述多個微透鏡位于所述第一透明介質(zhì)層上;以及
一透鏡遮光層,位于所述第一透明介質(zhì)層上,以及所述多個微透鏡之間的多個間隙中,以遮蔽從外界進入所述多個間隙中的多個平行的第二斜向入射光免于進入所述第一透明介質(zhì)層及所述多個傳感像素中。
7.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)傳感器,其特征在于,所述的光學(xué)傳感器還包括:
一第二遮光層,位于所述第一透明介質(zhì)層上,并具有多個第二光孔,所述多個光軸分別通過所述多個第二光孔;以及
一第二透明介質(zhì)層,位于所述第二遮光層上,所述多個微透鏡位于所述第二透明介質(zhì)層上,其中定義所述多個微透鏡的其中一個為一目標(biāo)微透鏡,所述目標(biāo)微透鏡所具有的所述光軸定義為一目標(biāo)光軸,所述目標(biāo)光軸所通過的所述傳感像素定義為一目標(biāo)傳感像素,與所述目標(biāo)微透鏡相鄰的所述多個微透鏡定義為相鄰微透鏡,所述第二遮光層遮蔽從外界進入所述相鄰微透鏡的多個平行的第三斜向入射光免于進入所述第一透明介質(zhì)層及所述目標(biāo)傳感像素中。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個共用襯底內(nèi)或其上形成的多個半導(dǎo)體或其他固態(tài)組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導(dǎo)體組件并且至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的;包括至少有一個躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導(dǎo)體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發(fā)射并且包括至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導(dǎo)體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結(jié)點的熱電元件的;包括有熱磁組件的





