[發明專利]一種激光SE電池的生產線

在審

• 申請號: 201910772103.2
• 申請日: 2019-08-21
• 公開（公告）號: CN110416368A
• 公開（公告）日: 2019-11-05
• 發明（設計）人: 符黎明;任常瑞;王敏;陳穎
• 申請（專利權）人: 常州時創能源科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明公開了一種激光SE電池的生產線，包括依次設置的：激光摻雜機，鏈式氧化爐，以及鏈式刻蝕機；這三個設備的輸送機構依次對接。硅片可由這三個設備的輸送機構接力輸送；激光摻雜機輸出的激光摻雜處理后硅片可直接輸入鏈式氧化爐，鏈式氧化爐輸出的熱氧化處理后硅片可進直接輸入鏈式刻蝕機。鏈式氧化爐中的硅片可在第二輸送機構的輸送過程中被氧化，故鏈式氧化爐可連續生產，可大大提高產能；且本發明不需要采用石英舟裝載硅片，可省去石英舟的插片和取片動作，可大大減少硅片的碎片發生率。

技術領域

本發明涉及光伏領域，具體涉及一種激光SE電池的生產線。

背景技術

SE（Selective Emitter選擇性發射極）太陽能電池制造過程中，需要采用激光摻雜機對金屬柵線（電極）與硅片接觸部位進行激光開槽重摻，但激光掃描過程中，激光開槽區域的PSG會被破壞，在后續的刻蝕步驟中（刻蝕步驟在刻蝕設備中實施），被破壞的PSG不足以保護激光開槽區域，激光開槽區域會被刻蝕液（如堿刻蝕液）腐蝕，以致短路電流、開路電壓和填充因子均低。

為了解決上述問題，需要在激光摻雜步驟和刻蝕步驟中間增加氧化步驟，通過氧化處理使激光開槽區域覆蓋氧化層，該氧化層可在硅片刻蝕（如堿刻蝕）過程中保護激光開槽區域，避免激光開槽區域被刻蝕液（如堿刻蝕液）腐蝕。

目前一般在管式氧化設備中實施上述氧化步驟，管式氧化設備需要采用石英舟裝載硅片，先將硅片插入石英舟，再將裝滿硅片的石英舟放入管式氧化設備的石英管中，石英管中通入氧氣，且在石英管外壁使用電阻絲加熱的方式給硅片加熱，從而在硅片表面形成氧化層（氧化層覆蓋激光開槽區域），氧化完成后，將石英舟從石英管中取出，再將硅片從石英舟匯中取出。

雖然管式氧化設備能夠實施上述氧化步驟，但使用管式氧化設備實施上述氧化步驟會存在較多缺陷：

1、產能低：管式氧化設備需要采用石英舟裝載硅片，而石英舟進出石英管需要時間，且石英舟從石英管中取出后需要經歷降溫過程，導致產能低，會成為光伏制造廠商的生產瓶頸。

2、硅片碎片率高：管式氧化設備需要采用石英舟裝載硅片，而將硅片插入石英舟是個復雜的動作，插片過程中可能會損傷硅片，且硅片氧化完成后，還需要將硅片從石英舟中取出，取片過程中也可能會損傷硅片，造成硅片碎片率高。

3、設備對接不方便：管式氧化設備需要采用石英舟裝載硅片，而石英舟需要配套插片設備和取片設備，不方便管式氧化設備與前道設備（激光摻雜機）、后道設備（刻蝕設備）對接。

發明內容

為了解決現有技術中的缺陷，本發明提供一種激光SE電池的生產線，包括依次設置的：

激光摻雜機，其對擴散處理后的硅片進行激光摻雜處理；

鏈式氧化爐，其對激光摻雜處理后的硅片進行熱氧化處理；

以及鏈式刻蝕機，其對熱氧化處理后的硅片進行刻蝕處理；

所述激光摻雜機設有：用于輸出激光摻雜處理后硅片的第一輸送機構；第一輸送機構為傳送帶或輥道；

所述鏈式氧化爐設有：用于輸送硅片的第二輸送機構；第二輸送機構為傳送帶或輥道；

所述鏈式刻蝕機設有：用于輸送硅片的第三輸送機構；第三輸送機構為輥道；

所述第一輸送機構的輸出端與第二輸送機構的輸入端對接，第二輸送機構的輸出端與第三輸送機構的輸入端對接。

本發明激光SE電池生產線的激光摻雜機、鏈式氧化爐和鏈式刻蝕機都設有輸送機構，這三個設備的輸送機構可依次對接，當這三個設備的輸送機構依次對接后，硅片可由這三個設備的輸送機構接力輸送；激光摻雜機輸出的激光摻雜處理后硅片可直接輸入鏈式氧化爐，鏈式氧化爐輸出的熱氧化處理后硅片可進直接輸入鏈式刻蝕機。