[發(fā)明專利]一種用于氮化鋁基片拋光的拋光液的制備方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201910764025.1
• 申請日: 2019-08-19
• 公開（公告）號: CN110437744A
• 公開（公告）日: 2019-11-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊大勝;施純錫
• 申請（專利權(quán)）人: 福建華清電子材料科技有限公司
• 主分類號: C09G1/02
• 分類號: C09G1/02
• 代理公司: 泉州市誠得知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 35209
• 代理人: 賴開慧

1.一種用于氮化鋁基片拋光的拋光液，其特征在于：所述拋光液包括如下組分：二氧化硅膠體、二氧化鈰磨料、有機(jī)胺、氧化劑、分散劑、羥丙基甲基纖維素、有機(jī)硅烷偶聯(lián)劑、表面活性劑、緩蝕劑、絡(luò)合劑、消泡劑、催化劑；

所述有機(jī)胺為乙二胺、三乙胺、乙醇胺、二甲胺、丙胺、異丙胺、環(huán)己胺中的任意一種，所述氧化劑為過氧化氫、次氯酸鈉、高錳酸鉀中的任意一種；

所述分散劑為纖維素衍生物、聚丙烯酰胺、十二烷基二甲基芐基溴化銨、脂肪酸聚乙二醇酯中的任意一種；

所述表面活性劑為壬基酚聚氧乙烯醚、失水山梨醇單水桂酸脂、椰油酸二乙醇酰胺中的任意一種；

所述緩蝕劑為喹啉類緩蝕劑、咪唑類緩蝕劑、吡啶類緩蝕劑中的任意一種；

所述絡(luò)合劑為馬來酸丙烯酸共聚物、二乙烯三胺五甲叉膦酸中的任意一種；

所述消泡劑為聚氧丙烯氧化乙烯甘油醚或有機(jī)硅消泡劑中的任意一種；

所述催化劑為負(fù)載型催化劑，包括五氧化二釩-白土催化劑、二氧化鈦-氧化鋁中的任意一種。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于氮化鋁基片拋光的拋光液，其特征在于：所述拋光液包括以下質(zhì)量分?jǐn)?shù)的組分：二氧化硅膠體25％～35％、二氧化鈰8％～12％、有機(jī)胺10％～15％、氧化劑5％～8％、分散劑0.8％～1.2％、羥丙基甲基纖維素1％～3％、有機(jī)硅烷偶聯(lián)劑0.5％～0.9％、表面活性劑0.7％～1.3％、緩蝕劑0.5％～1.0％、絡(luò)合劑0.4％～0.8％、消泡劑0.3％～0.5％、催化劑0.9％～1.8％，余量為水。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于氮化鋁基片拋光的拋光液，其特征在于：所述拋光液的pH值為9～12。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于氮化鋁基片拋光的拋光液，其特征在于：所述二氧化鈰的粒徑為100～300nm，二氧化硅膠體中二氧化硅磨料的粒徑為50～100nm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一權(quán)利要求所述的一種用于氮化鋁基片拋光的拋光液的制備方法，其特征在于：按質(zhì)量分?jǐn)?shù)稱取氧化劑、分散劑、羥丙基甲基纖維素、有機(jī)硅烷偶聯(lián)劑、表面活性劑、緩蝕劑、絡(luò)合劑、消泡劑、催化劑于水中，攪拌20～30min，然后加入二氧化硅膠體和二氧化鈰，繼續(xù)攪拌30～40min，最后再加入有機(jī)胺調(diào)節(jié)pH值。