[發明專利]一種碳化硅晶體專用整形一體機在審
| 申請號： | 201910762125.0 | 申請日： | 2019-08-19 |
| 公開（公告）號： | CN110405603A | 公開（公告）日： | 2019-11-05 |
| 發明（設計）人： | 顧青龍;陳輝;孔海寬;施爾畏 | 申請（專利權）人： | 安吉圓磨機械科技有限公司;中國科學院上海硅酸鹽研究所湖州先進材料產業創新中心 |
| 主分類號： | B24B27/00 | 分類號： | B24B27/00;B24B25/00;B24B5/12;B24B41/06;B24B49/12;B28D5/02 |
| 代理公司： | 北京正理專利代理有限公司 11257 | 代理人： | 陳君智;戴元毅 |
| 地址： | 313000 浙江省湖州市安吉縣梅溪鎮*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 碳化硅晶體 工作臺 砂輪 整形一體機 整形過程 床身 立柱 磨削 托板 檢測 自動化 操作臺 工作效率 活動移動 極性位置 氣動剎車 前后移動 外圓砂輪 傳統的 人工的 主軸頭 整形 推車 下刀 | ||
1.一種碳化硅晶體專用整形一體機，包括床身(1)，其特征在于，所述床身(1)上設有立柱(2)，立柱(2)上設有托板(3)，托板(3)上設有兩個主軸頭(4)，兩個主軸頭(4)上均設有砂輪(6)，砂輪(6)的下方設有位于床身(1)上的工作臺(7)，床身(1)的一側設有操作臺(9)，床身(1)的一側設有Y軸伺服電機(10)和X軸伺服電機，托板(3)上設有Z軸伺服電機(11)，兩個主軸頭(4)之間設有紅外線發射燈(14)。
2.根據權利要求1所述的一種碳化硅晶體專用整形一體機，其特征在于，所述紅外線發射燈(14)的下方設有聚光燈罩，床身(1)上設有真空吸盤(16)，真空吸盤(16)上設有碳化硅晶體(15)，床身(1)上設有激光接收儀(18)和激光發射儀(19)。
3.根據權利要求1所述的一種碳化硅晶體專用整形一體機，其特征在于，所述床身(1)上設有檢測頭伺服電機(13)，檢測頭伺服電機(13)的一側連接有手動調節裝置(12)，手動調節裝置(12)包括手輪、渦輪蝸桿減速器、垂直直線導軌和左右移動架，床身(1)的一側設有水箱(17)。
4.根據權利要求1所述的一種碳化硅晶體專用整形一體機，其特征在于，所述工作臺(7)上可以安裝電磁吸盤、真空吸盤和三爪卡盤等，快速安裝換型，主軸頭(4)的上方設有打刀氣缸(5)。
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