[發(fā)明專利]一種掩膜版和像素結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910734140.4
• 申請(qǐng)日: 2019-08-09
• 公開（公告）號(hào): CN110578112B
• 公開（公告）日: 2020-09-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉志喬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/04
• 分類號(hào): C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

1.一種掩膜版，其特征在于，包括用于在顯示面板的像素開口中制作子像素的掩膜開口；所述掩膜開口的面積大于對(duì)應(yīng)的像素開口的面積；所述像素開口包括至少一條內(nèi)凹的曲線邊；所述掩膜開口包括至少一條掩膜邊，且所述至少一條掩膜邊與至少一條曲線邊一一對(duì)應(yīng)，每一條掩膜邊的曲率小于其對(duì)應(yīng)的曲線邊的曲率。

2.如權(quán)利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述掩膜邊呈直線形。

3.如權(quán)利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述掩膜邊呈曲線形。

4.如權(quán)利要求3所述的掩膜版，其特征在于，所述掩膜邊呈圓弧形，所述圓弧的圓心角大于0°，且小于或等于30°。

5.如權(quán)利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述掩膜開口的形狀為軸對(duì)稱圖形。

6.如權(quán)利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述掩膜開口的形狀包括正多邊形或具有倒角的正多邊形。

7.如權(quán)利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述像素開口的形狀為軸對(duì)稱的八邊形，所述像素開口包括四條所述曲線邊，任意相鄰的兩條曲線邊通過第一直線邊連接，且所述任意相鄰的兩條曲線邊與另外相鄰的兩條曲線邊相對(duì)設(shè)置；

所述掩膜開口的形狀為軸對(duì)稱的八邊形，所述掩膜開口包括四條所述掩膜邊，四條所述掩膜邊與四條所述曲線邊一一對(duì)應(yīng)，任意相鄰的兩條掩膜邊通過第二直線邊連接。

8.如權(quán)利要求7所述的掩膜版，其特征在于，四條所述曲線邊的長(zhǎng)度和曲率相同；四條所述掩膜邊的長(zhǎng)度和曲率相同。

9.如權(quán)利要求7所述的掩膜版，其特征在于，所述第一直線邊與所述第二直線邊平行，且所述第一直線邊的長(zhǎng)度小于所述第二直線邊的長(zhǎng)度。