[發明專利]一種冷陰極電子槍控制系統和控制方法

在審

• 申請號: 201910731350.8
• 申請日: 2019-08-08
• 公開（公告）號: CN110592390A
• 公開（公告）日: 2019-12-20
• 發明（設計）人: 巫喬順;尹業華;劉斯堯;陸廣任;肖彥龍
• 申請（專利權）人: 云南昆鋼電子信息科技有限公司
• 主分類號: C22B9/22
• 分類號: C22B9/22
• 代理公司: 53100 昆明正原專利商標代理有限公司
• 代理人: 徐玲菊;亢能

1.一種冷陰極電子槍控制系統，其特征在于：包括控制器，與控制器連接的輸入端、氫氣控制器、氧氣控制器、上聚焦端、下聚焦端、X掃描端和Y掃描端，通過控制器控制氫氣控制器、氧氣控制器、上聚焦端、下聚焦端、X掃描端和Y掃描端，使得原料熔化為液態。

2.根據權利要求1所述的冷陰極電子槍控制系統，其特征在于：該系統還包括正負28伏電源，為系統提供正負兩種電壓電源。

3.根據權利要求1所述的冷陰極電子槍控制系統，其特征在于：控制器、氫氣控制器、氧氣控制器通過RS485總線連接在一起。

4.根據權利要求1所述的冷陰極電子槍控制系統，其特征在于：控制器、上聚焦端、下聚焦端、X掃描端、Y掃描端通過自定義信號線連接。

5.根據權利要求1所述的冷陰極電子槍控制系統，其特征在于：控制器設置有3個掃描內存，裝載有3個不同圖形參數，3個圖形區域的大小、位置、掃描時間片各自單獨設置，不影響其它掃描圖形。

6.根據權利要求1所述的冷陰極電子槍控制系統，其特征在于：控制器具有4組故障檢測信號，實時檢測掃描板、聚焦板、氣體板的電源和I/O信號故障。

7.基于權利要求1-6之一的系統的控制方法，其特征在于：包括如下步驟：

第一步、啟動正負28伏電源；

第二步、關斷氣體：調節氫氣控制器、氧氣控制器輸出值均為4ma；

第三步、啟動30kV高壓電源；

第四步、將氫氣控制器的輸出值緩慢從4ma調節到7ma，觀察高壓電源的電壓和電流是否穩定，如果穩定繼續調大氫氣流量，直到爐內槍對應位置出現電子束的紅斑；

第五步、調節聚焦：調節上聚焦輸出值為0.5A；在0.4-0.5A范圍內緩慢調節下聚焦，使得電子束紅斑盡可能小；

第六步、調電子束位置：調節X掃描端和Y掃描端移旋鈕，使得電子束紅斑位于原料正中心位置；緩慢調大氫氣流量，使得槍高壓電流到1A；

第七步、裝載掃描圖形：通過輸入端裝入冷陰極電子槍的P1圖形，調節X和Y縮放旋鈕，從而調整P1圖形的大小至合適；操作上位軟件，裝入冷陰極電子槍的P2圖形，調節X和Y縮放旋鈕，調整P2圖形的大小至合適；操作輸入端裝入冷陰極電子槍的P3圖形，調節X和Y縮放旋鈕，調整P3圖形的大小至合適；設置三個掃描圖形的時間分別為500毫秒、200毫秒、100毫秒；

第八步、熔煉金屬：緩慢調大氫氣流量，使得槍高壓電流高于6A；緩慢調大氧氣流量輸出值為6ma；原料開始熔化成為液態，電子槍進入正常冶煉狀態。