[發明專利]一種彎折狀態下具有電阻補償功能的電阻式柔性氣體傳感器及其制備方法在審
| 申請號： | 201910730078.1 | 申請日： | 2019-08-08 |
| 公開（公告）號： | CN110806429A | 公開（公告）日： | 2020-02-18 |
| 發明（設計）人： | 胡軍;謝波;王一濤;韓芳 | 申請（專利權）人： | 杭州市富陽區浙工大銀湖創新創業研究院;浙江固微科技有限公司 |
| 主分類號： | G01N27/12 | 分類號： | G01N27/12;G01N27/04 |
| 代理公司： | 杭州杭誠專利事務所有限公司 33109 | 代理人： | 尉偉敏;何俊 |
| 地址： | 311400 浙江省杭州市富*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 狀態 具有 電阻 補償 功能 柔性 氣體 傳感器 及其 制備 方法 | ||
1.一種彎折狀態下具有電阻補償功能的電阻式柔性氣體傳感器，包括絕緣柔性襯底，其特征在于：所述絕緣柔性襯底的上表面和下表面上分別設有至少一個傳感單元；每個所述傳感單元包括一對電極以及設于電極之間的氣體敏感材料薄膜，所述電極和氣體敏感材料薄膜均設于絕緣柔性襯底表面。
2.如權利要求1所述的電阻式柔性氣體傳感器，其特征在于，位于絕緣柔性襯底上表面和下表面的氣體敏感材料薄膜在形狀、尺寸和材質上相同或不相同。
3.如權利要求1或2所述的電阻式柔性氣體傳感器，其特征在于，位于絕緣柔性襯底上表面和下表面的電極在形狀、尺寸和材質上相同或不相同。
4.如權利要求1所述的電阻式柔性氣體傳感器，其特征在于，所述氣體敏感材料薄膜的原料包括Pd、Ag、SnO2、ZnO、碳納米管、石墨烯、MoS2、聚吡咯和聚(3,4-乙烯二氧噻吩)中的一種或多種。
5.如權利要求1所述的電阻式柔性氣體傳感器，其特征在于，所述導線的材質為銅。
6.如權利要求1所述的電阻式柔性氣體傳感器，其特征在于，所述絕緣柔性襯底為聚對苯二甲酸乙二酯。
7.一種如權利要求1-6之一所述電阻式柔性氣體傳感器的制備方法，其特征在于包括以下步驟：
1）制備絕緣柔性襯底；
2）電極的制備：在絕緣柔性襯底兩面分別制備電極；
3）氣體敏感材料薄膜的制備：采用納米顆粒束流沉積技術將氣體敏感材料分別沉積到位于同一表面的兩個電極之間；
4）電阻檢測：用導線配合導電銀漿將上下兩個表面的電極連接，形成串聯結構，串聯結構中還串聯有信號監控裝置，最后進行電阻檢測。
8.如權利要求7所述的制備方法，其特征在于，步驟2）中，電極的制備具體為：將掩模板設于絕緣柔性襯底上用于遮擋；然后加熱蒸發舟，使熱蒸發舟內的金屬原料揮發形成原子蒸汽沉積到絕緣柔性襯底的表面形成電極。
9.如權利要求7所述的制備方法，其特征在于，所述掩模板的材質為鉬。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于杭州市富陽區浙工大銀湖創新創業研究院;浙江固微科技有限公司，未經杭州市富陽區浙工大銀湖創新創業研究院;浙江固微科技有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201910730078.1/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種農業大棚蔬菜種植用縱向種植裝置
- 下一篇：一種無吊桿吊頂結構
