[發明專利]一種光刻膠組合物

有效

• 申請號: 201910726600.9
• 申請日: 2019-08-07
• 公開（公告）號: CN110441989B
• 公開（公告）日: 2022-08-23
• 發明（設計）人: 劉頌軍
• 申請（專利權）人: 滄州信聯化工有限公司
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/027;G03F7/16
• 代理公司: 石家莊國為知識產權事務所 13120
• 代理人: 李坤

1.一種光刻膠組合物，其特征在于，包括如下質量份數的原料組分：有機胺有機硅雙重改性酚醛樹脂10-20份，丙烯酸酯改性環氧樹脂5-10份，甲基丙烯酸共聚樹脂5-10份，抗收縮劑3-5份，三（2,3-二溴丙基）異氰酸酯0.5-1.0份，光活性劑2-5份，附著力促進劑0.3-0.8份，有機硅流平劑0.2-0.6份，添加劑0.1-0.3份和溶劑15-25份；

其中，所述抗收縮劑為具有核殼結構的改性納米二氧化鈦；

所述有機胺有機硅雙重改性酚醛樹脂的制備方法包括以下步驟：

將甲醛、鄰苯二酚和酸催化劑加入有機溶劑中，混合均勻，加入N-甲基順丁烯二酰亞胺和二甲基二甲氧基硅烷，混合均勻，加熱回流，反應6-10h，得有機胺有機硅雙重改性酚醛樹脂；

所述抗收縮劑的制備方法包括如下步驟：

將納米二氧化鈦加入聚乙烯吡咯烷酮溶液中，分散均勻，得納米二氧化鈦分散液；制備吡咯溶液，將所述吡咯溶液加至所述納米二氧化鈦分散液中，于5-10℃反應8-10h，過濾，洗滌，干燥，得所述抗收縮劑。

2.如權利要求1所述的光刻膠組合物，其特征在于，所述甲醛和鄰苯二酚的摩爾比為1:0.5-1.0，所述酸催化劑的加入量為所述鄰苯二酚質量的0.1-0.3%，所述有機溶劑的加入量為所述鄰苯二酚質量的150-200%。

3.如權利要求1或2所述的光刻膠組合物，其特征在于，所述N-甲基順丁烯二酰亞胺的加入量為所述鄰苯二酚質量的5-10%，所述二甲基二甲氧基硅烷的加入量為所述鄰苯二酚質量的3-5%。

4.如權利要求1所述的光刻膠組合物，其特征在于，所述聚乙烯吡咯烷酮溶液的濃度為3-5wt%，所述納米二氧化鈦分散液中納米二氧化鈦的質量分數為1-3%。

5.如權利要求1所述的光刻膠組合物，其特征在于，所述吡咯溶液的濃度為1-3wt%，所述納米二氧化鈦和吡咯的質量比為1:5-10。

6.如權利要求1所述的光刻膠組合物，其特征在于，所述光活性劑為質量比為1:3-5的2,3,4-三羥基二苯甲酮-1,2-萘醌重氮-5-磺酸酯和N-乙酰-4-硝基萘胺的混合物；和/或

所述附著力促進劑為γ-縮水甘油醚氧丙基三甲基硅烷；和/或

所述有機硅流平劑為聚醚改性聚二甲基硅氧烷。

7.如權利要求1所述的光刻膠組合物，其特征在于，所述添加劑為質量比為2-5:1的1,3-二甲基-2-咪唑啉酮和二季戊四醇六丙烯酸的混合物。

8.如權利要求1所述的光刻膠組合物，其特征在于，所述溶劑為質量比為1:2-5:1-2的乙二醇甲醚乙酸酯、丙二醇甲醚醋酸酯和1,3-丙烷磺內酯的混合物。