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[發明專利]多功能C4F7N/CO2混合氣體配氣系統、配氣方法在審

專利信息
申請號: 201910726123.6 申請日: 2019-08-07
公開(公告)號: CN110314565A 公開(公告)日: 2019-10-11
發明(設計)人: 祁炯;劉偉;王劉芳;劉子恩;顏湘蓮;趙躍;馬鳳翔;朱峰;王浩;何潔 申請(專利權)人: 國網安徽省電力有限公司電力科學研究院;國家電網有限公司;中國電力科學研究院有限公司
主分類號: B01F3/02 分類號: B01F3/02
代理公司: 合肥市浩智運專利代理事務所(普通合伙) 34124 代理人: 王亞洲
地址: 230000 安徽*** 國省代碼: 安徽;34
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 分壓混合 混合氣體 管路結構 混合管路 加熱汽化 配氣系統 換熱器 輸入口 并聯設置 配氣管路 輸出管路 定壓 加熱 輸出
【權利要求書】:

1.一種多功能C4F7N/CO2混合氣體配氣系統,其特征在于,包括C4F7N輸入口、CO2輸入口、C4F7N換熱器、CO2換熱器、C4F7N/CO2混合管路結構、C4F7N/CO2混合氣體輸出管路結構;

所述C4F7N換熱器用以對經所述C4F7N輸入口輸入的C4F7N進行加熱汽化;所述CO2換熱器用以對經所述CO2輸入口輸入的CO2進行加熱汽化;所述C4F7N/CO2混合管路結構用以對加熱后的C4F7N、加熱后的CO2進行混合,所述C4F7N/CO2混合氣體輸出管路結構用以輸出混合后的C4F7N/CO2混合氣體;

所述C4F7N/CO2混合管路結構包括C4F7N/CO2動態配氣管路結構、C4F7N/CO2分壓混合管路結構;

所述C4F7N/CO2動態配氣管路結構與所述C4F7N/CO2分壓混合管路結構并聯設置;其中,所述C4F7N/CO2動態配氣管路結構用以對加熱后的CO2、加熱后的C4F7N進行定量混合;所述C4F7N/CO2分壓混合管路結構用以對加熱后的CO2、加熱后的C4F7N進行定壓混合。

2.根據權利要求1所述的多功能C4F7N/CO2混合氣體配氣系統,其特征在于,所述C4F7N/CO2動態配氣管路結構包括第一電磁閥、第二電磁閥、第一熱式質量流量計、第二熱式質量流量計、緩沖混合罐、第一管道、第二管道;

所述緩沖混合罐上開設有第一進氣口、第二進氣口、第一混合氣體出氣口;

所述CO2換熱器的出氣口與所述第一進氣口之間通過第一管道連通,所述第一電磁閥、第一熱式質量流量計均設置在所述第一管道上;所述C4F7N換熱器的出氣口與所述第二進氣口之間通過第二管道連通,所述第二電磁閥、第二熱式質量流量計均設置在所述第二管道上;所述第一混合氣體出氣口與所述C4F7N/CO2混合氣體輸出管路結構的進氣端連通。

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